Способ испытания на герметичность замкнутых изделий Советский патент 1980 года по МПК G01M3/02 

Изобретение относится к технике испытаний на герметичность замкну-, тых изделий малого объема, особенно микроминиатюрных, и может быть использовано в электротехнической и радиотехнической отраслях промышленности .

Известны различные способы выявления негерметичности замкнутых изделий, например, когда готовые изделия помещают внутрь вакуумируемой камеры, соединенной с регистрирующей аппаратурой, при этом выявление негерметичности осуществляется по уровню давления в камере, достигае.мому к моменту завершения ее форвакуумной откачки за время цикла 1.

Недостатком этого способа является невозможность обнаружения больших течей в изделиях, особенно в микроминиатюрных, так как газ из них откачивается практически мгновенно.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является масс-спектрометрический способ испытания ,на герметичность замкнутых изделий,заключающийся в том, что изделие

помещают в контрольную камеру, заполняют ее пробным газом, подключают камеру к контрольно-регистрирующей аппаратуре и регистрируют проникновение газа из негерметичного изделия 2 .

Недостатком этого способа является то, что оказываются невыявленными изделия с большими течами из-за поtoтери ими индикаторного газа, во-первых, за время неизбежной в массовом производстве длительной вылежки испытуемых изделий на воздухе после герметизации или опрессовки их в

15 среде пробного газа до помещения изделия в контрольную Kaiyiepy, во-вторых, за время откач ки камеры с прибором форвакуумным и высоковакуумным насосами до момента

20 создания ее с масс-спектрометрическим анализатором течеискателя, Пробный газ при этом теряется особенно микроминиатюрными -изделиями, внутренний объем которых очень мал,

25 например до 1 мм.

Целью изобретения является расширение диапазона выявляемых (В сторону их увеличения.

30 Указанная цель достигается тем, что испытываемое изделие помещают в дополнительной, негерметичной камере, которую размещают и выдерживают в опрессовочной камере со средой пробного газа, затем герметизируют дополнительную камеру, изолируют ее от опрессовочной камеры и подключают к изолированному, предварительно вакуумируемому дополнительному объе му, подключенному к контрольно-регистрирующей аппаратуре. При зтом объем дополнительной камеры выбирают из соотношения, (VK-vj4(5...io;Vj, а величина изолированного, предварительно вакуумируемого дополнитель ного объема выбирается из соотношения (2XVK-VH)(V,-VJ, где - внутренний объем дополнительной камеры; V наружный объем испытываемо изделия; V, - внутренний объем испытываемого изделия; V - изолированный предварительно вакуумируемый дополнител вый объем, подключаемый к дополнительной камере и кон трольно-регистрирующей аппаратуре;Р - парциальное давление среды пробного газа в контроль ной камере; Р - минимальное, достоверно регистрируемое, изменение парциального давления пробного газа в изолированном объеме, подключенном к контрольно-регистрирующей апп ратуре , Способ осуществляется следующим способом. Герметично закрытая контрольная камера содержит дополнительную негер метичную камеру с изделием в среде пробного газа, например гелия.Датчик регистрации пробного газа, например диффузирнно-магниторазрядный датчик индикации гелия контактирует с изолированным, предварительно вакуумированным объемом. При герметич ном соединении дополнительной камеры с изолированным, предварительно вак умированным объемом пробный газ из этой камеры равномерно распределяет ся в объеме камеры и изолированном объеме. Причем никакой откачки газа при этом не производится и перед да чиком устанавливается определенное парциальное давление пробного газа. При контроле изделий предлагаемым способом подсоединение к изолированному объему, контактирующему с датчиком, дополнительной камеры, содержащей как герметичное, так и негерметичное изделие, вызывает из:Менение сигнала, датчика. Но сигнал датчика, вызываемый подсоединением негерметичного изделия, больше, чем при подсоединении камеры с герметичным изделием, так как при контроле негерметичного изделия на величину парциального давления пробного газа перед датчиком влияет и то количество пробного газа, которое вошло во внутреннюю по-, лость негерметичного изделия во время опрессовки. С тем, чтобы негерметичные изделия надежно выявлялись, выбраковывались, необходимо выбирать величину дополнительной камеры Vjj, и величину изолированного, предварительно вакуумируемого объема V из соотношений, приведенных выше. При испытании замкнутых изделий по данному способу существенно расширяется, .диапазон выявляемых течей в сторону их увеличения, так как испытуемое изделие находится в дополнительной камере, в среде пробного газа в процессе всего времени контроля герметичности, при зтом пробный газ, попавший в изделие, вообще не теряется , например, из-за неизбежной в производстве вылежки подготовленных для контроля из- . делий. Формула изобретения 1.Способ испытания на герметичность замкнутых изделий, заключающийся в том, что изделие помещают в контрольную камеру, заполняют ее прочным газом, подключают камеру к контрольно-регистрирующей аппаратуре и регистрируют проникновение газа из негерметичного изделия, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона выявляемых течей в сторону их увеличения, испытываемое изделие помещают в дополнительной негерметичной камере, которую размещают и выдерживают в опрессовочной камере со средой пробного газа, затем герметизируют дополнительную камеру, изолируют ее от опрессовочной камеры и подключают к изолированному, предварительно вакуумируемому дополнительному объему,подключенному к контрольно-регистрирующей аппаратуре, 2.Способ ПОП.1, отличающийся тем, что величина объема дополнительной камеры выбирается из соотношения ()4(5...10)V, а величина изолированного, предварительно вакуумируемого дополнительного объема выбирается из соотношения

(- 2)(v,-vj((VX.)де V --внутренний объем дополнительной камеры;

Уц - наружный объем испытываемого изделия;

Vp- внутренний объем испытывае- Ю мого изделия;

V - изолированный вакуумируемый объем, подключаемый, к дополнительной камере и контрольно-регистрирующей ап- е паратуре;

Р - парциальное давление среды пробного газа в контрольной камере;

минимальное, достоверно регистрируемое, изменение парциального давления пробного газа в изолированном объеме, подключенном к контрольнорегистрирующей аппаратуре. Источники информации, принятые во внимание при зкспертизе

1.Патент Франции 1379206, кл. G 01 L, 1971.

2.Способ обнаружения течей в микроминиатюрных герметизированных приборах. Электронная техника, сер.8 вып. 7, 1972, с.46-50 (прототип).