Сверхвысоковакуумный клапан Советский патент 1980 года по МПК F16K31/02 

,я, а другим концом свободно установлено Л пазе направляющей спирали 16, .имеющей раз-рыв в зоне бакового отверстия корП}€а ;. В:нутренняя часть кольцевого канала экрана 14 и нижняя часть фигурной шайбь: /5 герметично покрыты материалом, калример, серебром, хорошо Смащ заемым Mt:таллом-уллотннтелем, расположенны м ме/кду ними.

Уплотнителем могут быть металлы, например .ннднй -нлИ олово.

Сверхвы-соковакуумный клапан ipa6oraет следующим образом. При включении электродвигателя 6 .начина-ет в|ращаться внешний ДИСК 7 с магнитными элементами 8, которые через гар.м-ет1нч,ную немагнитную стенку фланца -5 воздействуют на малнитные элементы И, заставляя .последние вращаться вместе с внутрен1Н им диском W, через водило /2 приводится .в движение кронштейн и соответственно экран 14, одновременно кронштейн /1-Я перемещаясь по пазу направляющей спирали, будет совершать nocTynaiCvibHoe движение вниз вмесге с экраном 14.

Герметизирующий экран 14 н фигурная шайба /5 находятся в спаяном состоялкп, что предохраняет внутреннюю кольцевую поверхность экрана от окисления.

Одновременно с включением электродвигателя 6 включается и система лагрева 4, обеспечивающая .ра сплавление металлауплотнителя 2. ГерметизяруюЩИй экрал 14, совершая вращательно-поступательное движение вниз, опускается в расплавленный металл-уплотнитель 2 до солрикосноления кольцевого буртика фигурной шайбы 15 со кольцевой .ванны корпуса /. Прн этом происходит расплавление спая между фигурной шайбой .75 и экраном 14, .который открывается от фигурной шайбы и опускаемся .до дна ванны, образует зазор, достаточный для доступа чистого неокисленного ме талла-уплотаителя к .неокисленной поверхности внутреннего кольцеаого канала акрана, обеспечивая герметизацию соединения. После каса.НгИ-я экрана 14 дна ваины прекращается возвратно-поступательное двил ение его и соответствующая токовая защита отключает питание электродвигателя

6. Одновременно отключается система нагрева 4 и в кольцевой канал корпуса подается охлахадающая лчидкость 5.

Процесс отк рыт|Ия клапана происходит в Следующем порядке. Включается система нагрева 4 и расплавляется .металл-уплотнктель .2, затем включается электродвигатель 6, который обеспечивает вращение внешних диоков 7, 10 в обратном направлении .и соответственно вращательно-поступательное движение экрана 14 вверх. Экран 14 поднимается до соприЕ основения с фигурной шайбой 15 и вместе с ней выходит из расплавленного металла-уплотнителя. Дв ижение экрана происходит до упора кронштейна 13 в ограничительный буртик водила 12, далее отключается электродвигатель и система налрева 4, а в кольцевой канал корпуса подается охлаждающая ж идкость.

Св.ерхвысоковакуумный клапан обладает болышим ресурсом (не .менее 1000 рабочих циклов) и высокой 1надежностью герметизации вакуумных систегн.

Фор м у л а ::; 3 о б р е т е н и к

Сверхвысоковакуу.м.ный клапан, в корпусе которого размещены кольцевая ванна с металлом-уплотнителем и системой нагрева и герметизирующий экран с кольцевым кана.лом, соединенный с .механизмом подъема, снабж-енным электродвигателем, о т л ичающийся тем, что, с целью повышения надежности работы в кольцевом канале герметиаирующего экрана установлена фигурная шайба с буртиком, обращенным в сторону мета.лла-уплотнителя, а механизм подъема выполнен в виде кронштейнов, закрепленных одни.м ко.н|цом ,на герметизирующем экране и направляющих спиралей с продольными пазами, в которых закреплены другие концы кронштейнов. (

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1.Пипко Л. И., Пл.нсковский В. Я. и др. Конструирова.ние и расчет вакуумных систем. «Энергия, 1970, с. 123.

2.Рот А. Вакуумные уплотнения. «Энергия, 1971, с. 348-349.