Устройство для очистки и сушки подложек Советский патент 1980 года по МПК B08B3/02 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ И СУШКИ ПОДЛОЖЕК

Изобретение относится к технологии очист)1Ш поверхностей от загрязнений и их сушки от влаги перед вакуумньв 1 нанесением тонкопленочных покрытий. Известно устройство для о чистки выполненное в виде перфорированной трубчатой головки, имеющей форму симметрично расположе шых контуров, соединенных в средней части V -образным коденом, шту цер для подвода моющего агента и держатели Г1. Недостатком известного устройства является невозможность сушки подложек пос провед«1ия вакуумной обработки перер нан сением на поверхность подложек тонкопле- ночных покрытий. Цель изобретения - обеспечение равномерного нагрева контуров электрическим током путем подачи напряжения на д жатепи-т око ввод ы.. Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для очистки и сушки подложек, вьтолненном в виде перфорированной трубчатой головки, имеющей форму симметрично расположенных контуров, соединенных в средней части V -образным коленом, штуцер для подвода моющего агента и держатели, контуры жестко соединимы между собой с образованием параллельной электрической цепи и выполнены из электропроводного материала.° На чертеже изображено устройство для очистки и сушки подложек. Устройство cocToitT из перфорированной трубчатой головки, вьтолне щой из электропроводного материала и имеюшей форму симметрично расположенных контуров 1, соединенных в средней части V -образньпч коленом 2. На 1/ЗО высоты V -образного колена 2, жестко укреплен штуцер 3 для подвода моющего агента. Для крепления устройства к передвижной каретке выполнены держатели 4 в ввдо колодок, охватьйваюших торцы трубок V -образного колена с проушинами 5, Креплешю держателей 4 к трубчатой головке осуществляется вш1та ми 6.