Пленкообразующий состав для стекловидных покрытий Советский патент 1980 года по МПК C03C17/30 

(54) ПЛЕНКООБРАЗУЩИЙ СОСТАВ ДЛЯ СТЕКЛОВИДНЫХ ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к пленкообразующим составам, используемым для получения легкоплавких стеклообразных пленок с высокой химической и диэлектрической прочностью и может быть применено в электронной технике, а именно для защиты тонкопленочного поглотителя СВЧ энергий на основе пирографита при монтаже и пайке ЭВП, а также для обеспечения более надежного контакта между спиралью замедляющей линии и поглотит лем СВЧ энергии при работе ЛБЕ. Известен состав для получения за щитных стеклопокрытий, включающий алкоксисилан и гидроокись или алкок сид металла Щ. Однако при нагреве происходит гидролиз алкоксилана с образованием пленки двуокиси кремния с высокой температурой плавления 1713°С. Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату предложенному является пленкообразу щий состав, включающий спиртовый раствор алкоксисоединения (трибутоксиванадила) с азотнокисльлм кальци ем и трибутилфосфатом для получения пленочных активных элементов 2 , Пленкообразующий состав, включающий трибутоксиванадил,при гидролизе образует пленку пятиокиси ванадия с примесью пятиокиси фосфора. Пятиокись ванадия является диэлектриком, но легко восстанавливается углеродом при температуре плавления с образованием низших окислов ванадия и окиси углерода. Выделяющаяся окись углерода окисляет детали прибора, кроме того, ПЯТИОКИСЬ при температуре плавления диссоциирует по уравнению V-Og г V03 + V02 поэтому пленка становится электропроводной. Таким образом, получить диэлектрическое покрытие из данного пленкообразующего раствора при относительно низкой температуре плавления с высокой химической стойкостью и диэлектрической прочностью невозможно. Цель изобретения - увеличение диэлектрической прочности, химической стойкости и снижения температуры плавления пленки. Для достижения этой цели пленкообразующий состав для стекловидных покрытий, включающий алкоксисоединенйе и азотнокислый кальций, дополнительно содержит азотнокислый литий, борную кислоту, хлорокись гафния и

пирт этиловый, а в качестве алкоксиоединения тетраэтоксисилан при слеующем соотношении компонентой, вес.%

35-40

Тетраэтоксисилан 1,5-2 Азотнокислый кальций 1,5-2 Азотнокислый литий 2,5-3 Борная кислота 0,5-1 Хророкись гафния Остальное Спирт этиловый

Введение дополнительных компонентов в пленкообразующий состав дает возможность получить легкоплавкие стеклообразные пленки и увеличить их химическую стойкость и диэлектрическую прочность.

Предложенный пленкообразующий состав получают смешивани.ем спиртовых растворов компонентов с подкисленным спиртоводным раствором тетраэтоксисилана, в котором сохраняется определенное соотношение воды, спирта и соляной кислоты, необходимое для Обеспечения нужной степени гидролиза тетраэтоксисилана.

В табл. 1 приведены предложенные пленкообразующие составы.

Таблица 35 38,5 40

1,5 1,7 2

2,5 2,75 3

700-770

При плавлении окисел диссоциирует, пленка электропроводящая

восстанавливается углеродом при температуре плавления с образованием низших окислов и окиси углерс5да

AaHHtde показывают, что пленки, полученные из предложенного пленкообразующего растйора, имеют высокую диэлектрическую прочность и химическую стойкость при низкой температуре плавления,

Продолжение табл. Т

to Спирт этиловый,

54,5 52

абсолютированный 59

Состав наносится на подложку известным способом с последующей термообработкой на воздухе при 150200с.

Пленки, полученные из пленкообразующего раствора, имеют состав, приведенный в табл. 2.

Таблица 2

1 74,15 13,15 5,37 3,47 3,86

30 2 72,76 13,11 5,5 2,67 5,96

3 71,15 13,3 6,04 2,94 6,57

В табл. 3 приведены физико-химические свойства пленок, полученные из предложенных и известного пленкообразующих растворов.

Т а б л и ц а 3

550-600 5:600

Не восстанавливается углеродом при 800°С

Формула изобретения Пленкообразующий состав для стекловидных покрытий, включающий алкоксисоединение с азотнокислым кальцием, отличающийся тем, что, р. целью увеличения диэлектрической 5 77298 прочности, химической стойкости и снижения температуры плавления пленки, он дополнительно содержит азотнокислый литий, борную кислоту, хлорокись гафния и спирт этиловый, а в качестве алкоксисоединения тетраэток- сисилан при следующем соотношении компонентов, вес.%: Тетраэтоксисилан 35-40 Азотнокислый кальций 1,5-2. 36 , Азотнокислый литий 1,5-2 Борная кислота 2,5-3 Хлорокись гафния 0,5-1 Спирт этиловый Остальное Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент США 3811918,кл.117-47, 1977. 2. Авторское свидетельство СССР № -458523, кл. С 03 С 17/28, 1973.