Устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов Советский патент 1980 года по МПК G01B11/24 G01B9/21 G02B27/28 

k - ,..1 ч;Й лзй «-Ч- & --

Sa, ,рассеив ателя SH регистратора 9 йзлу чёния. , ; Отражатель 6 уста;нрвле1Н на -под1ВйЖной каретке механизма 10 пррм аГнстветнЬго сдвига.. Схема устройства построена таким, образом, что, рассеиваТел з, i ycfaWSBAWneред отражателем б на .расстоянии rf, мёньшам фокусного ,расстояния отражателя 6, а пластина 7, выПолненНа,я,;из оптически активного, вещества, например,,железо-иттриевогограната, расположена м еждурэссеивателём.|5 и отражателем 5 параллейьно плоскости раюсеивателя .5 и выполнена таКИМ образом, что ее толш|ина/г подчиняется соотношению а /г- 45°, тле а- удельноевращение .ял(эск0:сти п0лярйза-ции бптй, ЧескиактивйоговеЩестаа, нап1)имер, .;ie 1о ттриёвого граната - Рассеисватель 8 вьтолнен в .йще стеклянной плосрпараллелыной пластины. 11 (см. фиг. 2), ,на одну из поверхностей кот(5рой нанесена пленка 12 полимера , вьшол неНная,на;Щ)имер, из полиоксиэтилона, ли«ейные моЯекуЛ г дбторой являются а-низотрапньши рассеиваюш:и|Яи элементами 13 ДЛЯ: когерейтного излучения источника /. Анизотроп,ные рассеивающие элементы 13. ориентировань в. плоскости пленки 72 полимера пёрпёндикуляр,но кплоскостя прляризации поляризатора 2, а их наибольший разме1р .(длина) Я «аходится в диапаз.рне ОДА, /г 1,5Я,, где Я.- длина .волны источника 1 когерентного излучения (лазера). Описываемое устройство работает следующим образом. ; . ; . , . , Пртак излучения от источника / коге-. рентного излучения Преобразуется поляризатором (2 в поток линейно поляризованНО, го излучения, ,который через светоделитель S, блок 4 освещения,; рассёи1вательi5 и пластину 7 выирляеннуюиз оптичесКиак тевн 5гРбЩ&сша;прдайг 5., на местокоторого в процессе измер.ения .устанавливают исследуемый зеркальньтй оптический элемент. Отражёйный этим, .элемёй.т.Рй поток излучения4e|ie3lri}iaC№Hy 7; вьгаолненную из оптически Ктйвного . вещества, и рассеиватёль 5 подается на регистратор 9 йзлучёнйя ЬД новремёййо с, опРрным пучкрм излучения, поступающим через систему; ф.ррмйр6ванй я Рг(орнРго пучка излучения. После ,полученй1Я на ре.гистраторе 9 голограммы исследуемый зеркальный оптический элемент сдетгают меха,низмом Уб горостращствённого сдвига : иЗШлЬжения, занимаемого йм 1вйрЪаеСсе регистрации гологра, : t-;-v-i-,d, «it-TSM .ч-. На этапе восстановления регистратор Р излучения облучакЬт опорным пуЧЙм.излучения, аисследуемый элемент - потоком, прошедшим через блок «5 освещения. При Наблюдений через грЛолрамму, полученную на .регистраторе 9 излучейид, на поверхности раосеивателя 6 наблюдают ийтерференTiwnHiHvtn K-flnTTTHv тго котоЬой оп.Ьепеляюг геометрические.; па раметры исследуемого оптического зеркального элемента. Анизотропные рассеивающие элементы .(линейные Молекулы полимера) ориентированы перпендикулярно,, плоскости поля- , ризации . поляризато,ра. 2. (Когда поток поляризованного когерентного излучения, .. прошедший- через ,блок 5 освещени.я, подается на рассеиватель 8, электрический ©ектор излучения лерпевдикулярен ж продольной осиайизйтропных рассеиваюших элементов/5 (молекул поли1мера.). Зффек.тивность рассеяния когерентного излучения - ОПределяется ,в этом случае, наименьшими размерами полиМера/прйчем этот pVsjvtep значительно меньше длины волнь А, ийточлйка , 1 6герёнтнрго излучения. Поэтому при прохождении;рассеивателя 8 когерент.ное излучение практически не исцыть|вает раЬсеянйя и без потери энергии прохо,дит ; к. исследуемому .зеркальному элементу через лл астииу 7, в результате чего рлоскость ,поляризации когерентного излучения .поворачивается на 45°, так как толщина h п.ластины 7 выбрана из услов.ия а-Л 45°., --.; - . -.., , |После отражения of зерк.ального элемента noYoK проходит через пластину 7 в противополож-ном направ.лёнйй,в результате; чегоплоскость поляризации излучения поворачивается еще на 45° и становится параллельной продольной.оси анизотропнь1х рассеивающих элементов J3. Эффективность рассеяния излучения на анизотропных рассеивающих элементах .13 (мо- лекалах полимера) в данном случае определяется длиной Я этих элементрв, которая выбирается близкой к длине волны Я источникакогерейтнога излучения всилу условця 0,.ЗЛ, /г 1 ,,51. Это условие обеспечивает эффективноё,рассеяние коге|рентного-.излученияна рассёдвателе . ,- , Таким, оёразом, ,при двукратном п,ро.хож,дений излучения через рас ейватель в предлагае,мом :устройстве/.Обеспёчивается. однократное эффективное рассеяние излучейия, B,pe3f льтаге ч;его ,яртери энёртии излучения , 1су1щественно .снижаются; чтр приводит к улучшению качества интерферограмм и, следовательно, .к првышению точности измерения. . ;,, Фо рiMу л а и 3 о бре те,и я Устройство для измерения геометричёсйих параметров зеркалшьгх оптических элементр1в по авт, св,ид. № 59307iO, о т л и.4 а ю,щ ее с я тем, что, сЦелью повышения . to Hdctnизмеренйя, оно снабжено пластиной, выполненной из оптически активного вещества, толЩина ft, которой выбирается из соотйошения а h 45°, где а - удельноеВращение плоскос.Ги поляризация оптдаески актйв1й4го вещбства, и раоиоложённой межпу от.оажателем и Оассеивателем

НИКОМ когеренгаого излучения и свётоде.лителем, и aHHaoT-ponHbiMH рассеивающими

элементами, расположенными, на р сСеива-51внима«ие при экспертизе:

теле и ориентированными, перпендикулярно,1. Авторское свидетельство СССР

плоскости ноляризации поляризатора, паи-№ 5Ш070, кл. G 01 В 11/124, G 01 В 9/021,

больший размер /Г которьгх выбирают в 1976 (прртотип). .

Источник информации, принятый во