1
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к устройствгил для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов, в том числе их радиусов кривизны и отступлений от заданной формы.
По основному авт. св. 593070 наиболее близким по технической сущности к изобретению является устррйство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов, содержащее последовательно расположенные источник когерентного излучения и светоделитель, систему формирования опорного пучка и систему формирования предметного пучка излучения, включающую блок освещения и сигнальйый канал, состоящий из отргикателя, рассеивателя и регистратора излучения, Причем рассеиватель установлен между блоком освещения и отраисателем на расстоянии меньшем фокусного расстояния отражателя fl.
Однако известное устройство обладает большими потерями излучения при двукратном прохождении его через рассеиватель, что приводит к ухудшенйю контраста интерферограмм и, таКИМ образом, к снижению точности измерений.
Цель изобретения - повышение точности измерений.
Поставленная цель достигается за счет того, что край рассеивателя, обращенный к оптической оси отражателя, выполнен прямолинейным, на расстоянии от нее, меньшем половины
10 диаметра отражателя, а плоскость, проходящая через .край и центр регистратора, образует с плоскостью рассеивателя двугранный угол, величина которого лежит в диапазоне от IC/Z
15 ДоТС .
На чертеже изображена принципиальная схема устройства для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов.
20
.Устройство состоит из последовательно расположенных источника 1 когерентного излучения, светоделителя 2, связанного оптически с систекюй 3 формирования опорного пучка
25 излучения и системой формирования предметного пучка излучения, включающей блок 4 освещения и сигнальный кансш, состоящий из отражателя 5у рассеивателя б, снабженного прямоли30
нейным краем А (перпендикулярен плоскости чертежа) и регистратора 7 излучения .
Отргикатель 5 установлен на подвижной каретке механизма 8 пространственного сдвига. Схема устройства построена таким образом, что рассеиватель 6 установлен перед отражателем на расстоянии d, меньшем фокусного расстояния отражателя 5,причем расстояние h от прямолинейного края А рассеизателя б до оптической оси отр кателя 5 меньше половины диаметра О отражателя 5. Регистратор 7 излучения расположен таким образом, что плоскость, проходящая через центр регистратора 7 излучения и прямолинейный край А рассеивателя б, составляет с этим рассеивателем гол ое,, величина которого находится в диапазоне от It/2 до .
Устройство работает следующим образом.
Поток излучения от источника 1 когерентного излучения через светоделитель 2, блок 4 освещения и рассеиватель 6 падают на отражатель 5, на место которого в процессе измерения устанавливают исследуемый зеркальный оптический элемент. Отраженный зеркальными элементом поток поступает на регистратор б излучения (как чере рассеиватель б, так и частично минуя его) одновременно с пучком излучения поступающим через систему 3 формировния опорного пучка излучения. После получения на регистраторе 7 излучения голограммл исследуемый зеркальны оптический элемент сдвигают прямолинейно механизмом 8 пространственного сдвига парашлельно прямолинейному краю А рассеивателя 6 на расстояние, меньшее половины диаметра этого элемента.
На этапе восстановления регистратор 7 излучения облучают опорным пучком излучения, а исследуемлй элемент потоком, прошедшим через блок 4 освещения. При рассматривании через голограмму, полученную на регистраторе 7 излучения на участке зеркального изображения В рассеивателя 6, видном через регистратор 7 излучения в , телесном угле Я. вне прямолинейного края А рассеивателя б, наблюдают интерференционную картину. В описываемом устройстве рассеиватель б закрывает только часть апертуры отражателя 5 и из точки, где размещен регистратор 7 излучения, вне рассеивателя б наблюдается участок
зеркального изображения рассеивателя
б в отраикателе, не закрытый рассеивателем б. Контраст полос на этом участке изображения рассеивателя высок, так как лучи, исходящие из точек упомянутого зеркального изобрс1жения
рассеивателя на регистратор излучения, не претерпевают двукратного рассеяния. Высокий контраст полос позволяет повысить точность измерений. . При экспериментальном опробовании
схемы описываемого устройства достигается увеличение контраста полос в З-б раз по сравнению с известным устройством и, соответственно, увеличение точности измерений составляет
30-80%.
Формула изобретения
Устройство для измерения геометрических параилетров зеркальных оптических элементов по авт. св. 593070, отличающееся тем, что, с повышения точности измерений, край рассеивателя, обращенный к оптической оси отргьжателя, выполнен прямолинейным, на расстоянии от нее меньшем половины диаметра отражателя, а плоскость, проходящая через край и центр регистратора, образует с
0 плоскостью рассеивателя двугранный угол, величина которого лежит в диа-. пазоне от 1C/2 до ТС .
Источники информации, с принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР 593070, кл.С 01 В 11/24, 1976 (прототип).
