Устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов Советский патент 1978 года по МПК G01B11/255 G01B9/21 G01B11/24 G01B11/30 

го излучения через светоделитель 2, блок 4 освещения и рассеиватель 6 подается на отражатель 5, на место которого в процессе измерения устанавливают и-сследуемый зеркальный олтический элемент. Отраженный зеркальным элементом лотоК через рассеиватель 6 подается на регистратор 7 излучения одновременно с опорным лучком излучения, поступающим через систему 3 фор-мярования опорного пучка из.лучения. После получения на регистраторе 7 голограммы исследуемый зеркальный оптический элемент сдвигают механизмом 8 перпендикулярно оптической оси на расстояние, меньшее половины диаметра этого элемента. На этапе во:остановления регистратор 7 излучения облучают onqpHbiM лучком излучения, а исследуемый элемент потоком, прощедщим через блок 4 оовещения. При рассматривании через голограмму, пол1ученную на регистраторе 7, ловерхности рассеивателя 6 наблюдают интерфереппиопяую картину. Для идеального оптического элемента эта картина имеет вид прямолинейных эквидистантных полос, перлендикулярных направлению сдвига. Период полос является функцией величины сдвига радиуса кривизны отражателя 5, а также положения рассеивателя 6 относительно отражателя 5 и настройки блока 4 освещения. В случае, когда радиус кривизны отражателя 5 значительно больше расстояния от раосеивателя 6 до этого отражателя, формула для нахождения неизвестного радиуса кри-визны / исследуемого зеркального оптического элемента имеет вид: где а - величина сдвига. б - период полос интерференционной картины, л - длина волны излучения. Наличие локальных неоднородностей поверхности измеряемого зеркального оптического элемента проявляется в виде нарушений регулярности упомянутой интерференционной картины. Нх локальные радиусы кривизны можно вычислить по приведенной выше формуле, подставляя период полос, наблюдаемых в пределах апертуры данной неоднородности, а расположение этих неоднородностей на рдссеивателе соответствует их расположению на апертуре исследуемого зеркального оптического элемента. Формула изобретения Устройство для измерения геометрических параметров зеркальньЬх оптических элементов, содержащее последовательно расположенные источник когерентного излучения и светоделитель, систему формирования опорного пучка излучения и систему формирования предметного пучка излучения, включающую блок освещения и сигнальный канал, состоящий из отражателя, рассеивателя и регистратора излучения, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона измерения, рассеиватель установлен между блоком освещения и отражателем на расстоянии от последнего, меньшем фокусного расстояния отражателя. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1.Абруков С. А. Теневые и интерференционные методы исследования оптических неоднородностей. Казань, 1:958, с. 57-65. 2.Патент США № 3532431, кл. 356-106, 1970.

М(