1
Изобретение относится к электро измерительной технике и может быть использовано при создании устройств для измерения сопротивления прово- j дящих пленок в процессе производства интегральных микросхем.
Известно устройство для измерения сопротивления проводящих пленок содержащее подложкодержатель с ди- |Q электрической подложкой и нанесенными на нее токоведущими электродами, 1оединенными с измерительной схемой UjНедостатком данного устройства является низкая адгезия токоведущихэлектродов к диэлектрической подлож- ке, приводящая к отказу устройства при осаждении на нем пленки испаряемого материала из-за отслаивания токоведущих электродов. . 2
Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для измерения сопротивления проводящих пленок, содержащее подложкодержатель с диэлектрической подложкой и закрепленными на ней через адгезионный подслой металла токоведущими и измерительными электродами, выходы которых соединены со входами блока измерения L2J.30
Недостатком этого устройства является невысокая точность измерения из-за изменения толщины осажденной
пленки.
Целью изобретения является повышение точности измерений.
Для достижения этой цели устройство для измерения сопротивления проводящих пленок,содержащее подложкодержатель с диэлектрической подложкой и закрепленными на ней через адгезионный подслой металла токоведущими и измерительными электродами, выходы которых соединены с входами блока измерения, снабжено заслонками и дополнительным слоем диэлектрика, укрейленным на поверхности токоведущих электродов, а заслонки закреплены над поверхностью дополнительного слоя диэлектрика и токоведущими и измерительными электродами.
На чертеже представлена конструктивная схема предлагаемого устройства.
Оно содержит подложкодержатель 1 с диэлектрической подложкой 2, ад4езионный подслой 3, металла, токоведущие 4 и измерительные 5 электроды, блок 6 измерения, дополнительный слой 7 диэлектрика, например из двуо
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок | 1977 |
|
SU624177A1 |
| ЯЧЕЙКА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ ПЛЕНОК СЛОЖНЫХ ОКСИДОВ | 2005 |
|
RU2282203C1 |
| СВЧ ГИБРИДНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 2004 |
|
RU2287875C2 |
| Способ изготовления ионоселективного электрода с твердым контактом | 1980 |
|
SU989439A1 |
| Емкостный датчик давления и способ его изготовления | 1990 |
|
SU1727009A1 |
| Установка для диффузионной сварки | 2023 |
|
RU2809742C1 |
| Измеритель толщины диэлектрических материалов | 1982 |
|
SU1017907A1 |
| Устройство для измерения параметров листовых диэлектриков | 1979 |
|
SU885868A1 |
| ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ ВАРИКОНД | 2013 |
|
RU2550090C2 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПРОВОДЯЩЕЙ ПЛЕНКИ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ | 2012 |
|
RU2495370C1 |
