Устройство для транспортирования полупроводниковых пластин Советский патент 1980 года по МПК H01L21/68 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

1

f

Изобретение относится к технологическому оборудованию для изготовления полупроводниковых приборов, в частности к устройствам для транспортирова- НИН полупроводниковых подложек при их химической обработке.

Известно устройство для транспортирования полупроводниковых пластин, выполненное в виде параллельно расположенных валиков с проточками, соединеЕ шых с приводом вращения и установленных под опорными элементами кассет так, что ребра деталей входят в проточки валиков .

Такая конструкция предполагает наличие специальной кассеты, в которой осуществляется обработка пластины, что требует вспомогательных операций загрузки- вьарузки и тем самым значи тельно сникает производительность.

Кроме того, транспортирование полу проводниковых пластин с помощью ДВУХ параллельно расположенных валиков с винтовыми проточками ненадежно.

Наиболее близким по технической сущности к предложенному является устройство для транспортирования полупроводниковых пластин, содержащее два валика с винтовыми проточкак и, соеди5 ненные с пр тодом вращения 2.

Недостатком известного устройства является низкая надежность транспортирования пластин.

Цель изобретения - повышение надежtoности транспортирования пластин.. Цель достигается тем, что в устройстве для транспортирования полупроводниковых пластин, содержащем два валика с винтовыми проточками, соединенные с при15водом вращения, оси валиков развернуты в трех плоскостях пол углом одна относительно другой.

На фиг. 1 схематически изображена установка химической обработки полу20проводниковых пластин; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. I.

Установка содержит камеры травления 1, промывки и сушки 2. В камерах

I и 2 размещены узлы транспортирования, каждый из которых выполнен в виде двух валиков 3 и 4 с винтовыми проточинами, соединенных с приводом вращения (на чертеже условно не показан). Оси валиков развернуты в трех плоскостях под углом одна относительно другой. При этом угол, образованный отрезками, проходящими через центры валиков 3 и 4, составляет 130-140 , а вертикальная плоскость симметрии каждой проточки совпадает с вертикальным расположением пластины 5 в упомянутой канав7се.

Камеры 1 и 2, снабжены загрузочной щелью 6 и перегрузочной щелью 7 с направлшошими. Под вашлсами 3 в камере 1 установлены цилиндрической формы щетки 8, выполненные, например, из фторопласта. Подача рабочих компонентов осуществляется с помощью форсунок 9, 10 и II.

Установка химической обработки с использовагшем предлагаемого устройств для транспортирования полупроводниковых пластин работает следующим образом.

Обрабатываемые пластины 5 через загрузочную шель 6 поступают в ка меру травления 1, где они попаЬают в проточки синхронно вращающихся валиков 3. Перемоцаясь, поступательно и одновременно вращаясь вокруг собственной оси, пластины 5 подвергаются обработке травителем, распыляемым из форсунок 9. После того, как пластины 5 достигают торцов вализсов 3, они соскальзывают с упомянутых торцов и попадают на вращающиеся щетки 8, которые проталкивают пластину 5 в направптощйе перегрузочной щели 7. Пластины 5, попадающие .в камеру 2, подвергаютс обработке соответствующими рабочими компонентами. Таким образом, происходит непрерывный процесс обработки пластин 5, поштучно загружаемых через щель 6 в камеру 1,

Такое выполнение устройства для

транспортирования полупроводниковых пластин позволяет изготавливать валки с проточками, соизмеримыми по ширине с толщиной пластины, и располагать ее при этом строго в вертикальном положе0 НИИ. Это обеспечивает надежную, бесперебойную транспортировку пластин вдоль валиков. Кроме того, при транспортировании пластин на двух валиках, оси которых развернуты в трех плоскостях под углом

5 одна относительно другой,, уменьшается площадь контактирования влажной поверхности пластины (например, прошедшей химическую обработку) с торцами валиков, а следовательно, уменьшаются силы

0 поверхностного натяжения, препятствующие соскальзыванию обработанной пластины с торцов валиков, и тем самым исключается залипание пластин на данном участке.

Формула изобретения

Устройство для транспортирования цолупроводншшвых пластин, содержащее 0 два валика с винтовыми проточками, соединенные с приводом вращения, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности транспортирования пластин, оси валиков развернуты в трех 5 плоскостях под углом одна относительно другой.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР 0 № 259604, кл. -4801 3/00, 197О.

2.Авторское свидетельство СССР № 5О1435, кл. Н OlU 7/68, 1976 (прототип).