Предметный стол Советский патент 1980 года по МПК G12B1/00 

(54) ПРЕДМЕТНЫЙ СТОЛ

t

Изобретение относится к радиотехнике, и в частности к технологическому оборудованию в микроэлектронике.

Известно устройство для перемещения изделий, содержащее основание, 5 корпус, подвижную головку, состоящую из стойки, несущей планшайбу ССНедостатками устройства являются сложность конструкции и возможность только вертикального перемещения. 10

Наиболее близким по технической сущности является предметный стол, содержащий корпус, основание, подвижную стойку, планшайбу, механизм подъема стойки и механизм поворота план- |5 шайбы ри.

Недостатком этого устройства является Мсшое быстродействие.

Цель изобретения - повышение производительности.20

Указанная цель достигается тем, что в предметном столе, содержащем корпус, основание, подвижную стойку, планшайбу, механлзм подъема стойки и механизм поворота планшайбы, под- 25 вижная стойка и планшайбы снабжены ферромагнитными гребенками, а механизм подъема подвижной стойки и механизм поворота планшайбы выполнены в виде постоянных магнитов и П-образ-зо

,ных магнитопроводоБ, расположенных с возможностью взаимодействия с ферромагнитными гребенками.

На фиг. 1 изображен предметный стол, общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг. 1; на фиг. 4 - процесс работы устройства.

Предметный стол содержит основание 1, подвижную стойку 2 с планшайбой 3, механизм 4 подъема стойки и механизм 5 поворота планшайбы, состоящий из двух магнитов установленных в подвижной стойке 2. Подвижная стойка 2 прямоугольное сечение, на ней расположены гребенки 6, выполненные из ферромагнитного материала.

.На внутренней поверхности планшайбы 3 выполнены гребенки 7 также из ферромагнитнрго материала.

из магнитов механизма 4 подъема стойки и механизма 5 поворота планшайбы состоит из двух Магнитопроводов 8 (фиг. 1 и 2) обмоток управления 9 и постоянных магнитов 10, установленных в корпусе 11.

Полюс А магнита(фиг. 4)имеет две грани а. и а , а полюс В - by и Ьг

Расстояние между центральными линиями граней ау и а, Ь равно I (V.) где К - любое целое число а Р - период зубчатых структур 6 и 7 расположенных соответственно на подвижной головке 2 и планшайбе 3. Полюс В смещен по отношению к полюсу А на величину p(K±-yVj. Предкютный стол работает следующим образом. Для создания перемещения головки 2 (фиг. ij по оси в обмотку управления А (фиг. 4 а) магнитов 8 подается ток 1д, в результате чего увеличивается магнитный поток, созда ваемый постоянным магнитом 10(фиг. 4 в грани Cfj магнитопровода 8, а магнитный поток в грани 1у уменьшается до нуля. Зуб гребенки устанавливается против грани с/2 (фиг. 4 а) магнитопровода 8 механизма 4 подъема головки. При подаче тока ig в обмотку упра ления В С.ФИГ. 4 б) и отключении тока в обмотке А, магнитный поток, создаваемый постоянным магнитом пере ключается в грань в и стойка 2 перемещается вверх на 1/4 Р. При подаче тока J в обмотку управ ления А (фиг. 4 в) и отключении тока в обмотке В, магнитный поток, создаваемый постоянным магнитом переклюгается в грань 0. и стойки 2 перемещается вверх еще на 1/4 Р. При подаче тока 1 в обмотку в (фиг. 4 г) и отключении тока в обмот ке А, магнитный поток, создаваемый постоянным магнитом, переключается в грань Ь и стойка 2 перемещается вверх еще на 1/4 Р и т. д. Для создания перемещения стойки 2 вниз изменяется порядок коммутации обмоток управления. Поворот планшайбы 3 осуществляется аналогич но перемещению стойки 2. Силы притяжения создаваемые магнитными связями между планшайбой 3 и механизмом 5 поворота планшайбы, стойкой 2 и механизмом 4 подъема стойки, уравновешиваются давлением, создаваемым сжатым воздухом, поступающим в зазоры между планшайбой 3, стойкой 2 и соответствующими механизмами поворота и подъема, что обеспечивает постоянство этих зазоров, поворот планшайбы 3 и перемещение стойки 2 без трения. Формула изобретения Предметный стол, содержащий корпус, основание, подвижную стойку, планшайбу, механизм подъема стойки и механизм поворота планшайбы, о тличающийся тем, что, с целью повышения производительности, подвижная стойка и планшайбы снабжены ферромагнитными гребенками, а механизм подъема подвижной стойки и механизм поворота планшайбы выполнены в виде постоянных магнитов и Побразных магнитопроводов, расположенных с возможностью взаимодействия с ферромагнитными гребенками. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1,Патент США 3996517, кл. 324-158, 1972. 2.Патент США 3446065, кл. 73-105, 2 7,0 5 9 (прототип)

Ф1И.1

А-А

Ф.1