Предметный стол Советский патент 1982 года по МПК H05K3/00 H01L21/68 

(54) ПРЕ/ ЕТНЫЙ СТОЛ

Изобретение относится к электронике, в частности к технологическому оборудованию микроэлектроники, например к установкам зондового контроля и разделения на кристаллы полупровод ни ковь1х пластин.

Известен предметный стол технологического оборудования, содержащий основание, корпус, подвижную головку и механизм подъема подвижной головки Cl 3 .

Недостатками этого устройства являются его малое быстродействие, недостаточная точность и значительные габариты.

Наиболее близким к изобретению является предметный стол, содержащий основание, подвижную стойку, планшайбу и механизм поворота планшайбы и подъема подвижной стойки, содержащее ферромагнитные гребенки и электромагнитные элементы Г2.

Недостатками этого предметного; стола являются недостаточная точность вертикальных и угловых перемещений, большие габариты по вертикали, .а также малая нагрузочная способность и наличие затухающих колебаний механизма подъема подвижной стойки.

Цель изобретения - повышение точности перемещения и уменьшения габаритов.

Цель достигается тем, что в пред10метном столе, содержащем основание, подвижную стойку, планшайбу и механизмы поворота планшайбы и подъема подвижной стойки, содержащие ферромагнитные гребенки и электромагнитные

15 элементы, механизм подъема подвижной стойки выполнен в виде вертикально расположенной винтовой кинематической пары, одно звено которой жестко закреплено на основании, а на другом

20 закреплен диск, причем ферромагнитная гребенка механизма подъема подвижной стойки расположена на диске винтовой пары, а электромагнитные элементы механизма подъема подвижной стойки расположены на подвижной стойке. На фиг. 1 показан предметный стол на фиг, 2 - то же, вид А на фиг.1; на фиг. 3 - узел 1 на фиг . 1. Предметный стол содержит основани 1, подвижную стойку 2, установленную на направляющих 3 основания 1 и план шайбу Ц с шариковой опорой 5 Механизм поворота планшайбы Ц содержит ферромагнитную гребенку 6, располо.женную по окружности планшайбы t, и два электромагнитных элемента 7, установленных на подвижной стойке 2. Механизм подъема подвижной стойки 2 содержит расположенную вертикально винтовую пару с винтом 8 и гайкой 9, закрепленной на основании 1. На винте 8 закреплен диск 10, по окружности которого расположена ферромагнитная гребенка 11, а на подвижной стойке 2 расположены два электромагнитных элемента 12. Электромагнитные элементы 7 и 12 выполнены в виде постоянных магнитов с П-образными магнитопроводами, на которых размещены обмотки управления (не показаны). Предметный стол работает следующим образом. Для перемещения планшайбы в вертикальном направлении в обмотки электромагнитных элементов 12 подается управляющий сигнал, а в зазор между диском 10 и подвижной стойкой 2 сжатый воздух. В результате взаимодействия электромагнитных элементов 12 с ферромагнитной гребенкой 11 диск 10 вращается вместе с винтом 8 относительно гайки 9 и перемещается вдоль оси. своего вращения вверх или вниз. Силы магнитной связи между ферромагнитной гребёнкой 11 и электромагнитными элементами 12, уравновешенные давлением сх атого воздуха обеспечивают постоянство зазора между диском 10 и подвижной стойкой 2 и перемещение подвижной стойки 2 за диском 10. Поворот планшайбы k осуществляется в результате взаимодействия электромагнитных элементов 7 с ферромагнитной гребенкой 6 планшайбы k при подаче управляющего сигнала в обмотки электромагнитных элементов 7 и .сжатого воздуха в зазор между планшайбой и подвижной стойкой 2. Формула изобретения Предметный стол, содержащий основание, подвижную стойку, планшайбу и механизмы поворота, планшайбы и подъема подвижной стойки, содержащие Ферромагнитные гребенки и электромагнитные элементы, отличающ и и с я тем, что, с целью повышения точности перемещения и уменьшения габаритов, механизм подъема подвижной стойки выполнен в виде вертикально расположенной винтовой кинематической пары, одно звено которой жестко закреплено на основании, а на другом закреплен диск, причем Ферромагнитная гребенка механизма подъема подвижной стойки расположена на диске винтовой пары, а электромагнитные элементы механизма подъема подвижной стойки расположены на подвижной стойке. Источники информации, ринятые во внимание при экспертизе 1. Патент США № 3996517, л. 324-158, 1972. 2. Авторское свидетельство СССР о заявке № 2627366/18-21, л. Н 05 К 1/11, 12.06.78.

Фи9.Е