Способ активировки вторично-электронныхэМиТТЕРОВ из СплАВОВ HA OCHOBE МЕди Советский патент 1981 года по МПК H01J9/12 

Изобретение относится к технологи изготовления фотоэлектронныхприборов, содержащих-диоды из сплавных эмиттеров на основе меди. Известен способ согласно которому эмиттеры прогревают в колбах с после дующим окислением. Чередование прогрева и окисления проводят несколько раз. После монтажа в прибор эмиттеры подвергают прогреву и окислению Cl. Недостатком -такого способа являет ся длительное вхождение приборов в режим, нестабильность анодного тока, нелинейность световой характеристики. Известен также способ активировки вторично - электронных эмиттеров из сплавов на основе меди, содержащий предварительную вакуумную обработку, включающую операцию прогрева в диапазоне температур 20-0-500 С и финишную обработку эмиттеров, включающую операции прогрева и окисления 2 . Недостатком этого способа является низкая стабильность коэффициента вторичной эмиссии. Цель изобретения - повышение стабильности коэффициента вторичной эми сии. Указанная цель достигается тем,, что в способе активировки вторичноэлектронных эмиттеров из сплавов на основе меди, содержащем предварительную вакуумную обработку эмиттеров, включающую прогрев в диапазоне температур 200-500°С и финишную обработку ЭМИттеров,включающую прогрев и окисление,прогрев на стадии предварительной обработки проводят многоступенчато, при этом на каждой ступени значение произведения величины давления в конце прогрева на время прогрева находится в пределах ,15 Па/С, где N - число ступеней прогрева. С целью упрощения технологии на этапе предварительной обработки эмиттеры прогревают при температуре 190-2Ю С при давлениг в конце прогрева в диапазоне 2-10 7-10 Па в течение не менее 50-|0мин повышают температуру до 290-310 С и проводят прогрев при давлении в конце прогрева в диапазоне 8-LO 2, в течение не менее 5060 мин, повышают температуру до 390410С и проводят прогрев при давлений в конце прогрева в диапазоне 8-10 - 2,5-10 Па в течение но менее 50-60 -мин, повышают температуру