Камера для испытания изделий на герметичность Советский патент 1981 года по МПК G01M3/02 

1

Изобретение относится к устройствам для испытания на герметичность изделий типа силовых полупроводниковых приборов и может быть использовано в радиотехнической, электротехнической и других отраслях промышленности.

Известна камера для испытания на герметичность замкнутых объемов, содержащая крышку и корпус, образующие рабочую вакуумируемую полость, причем наружная поверхность корпуса выполнена расширяющейся в сторону, противоположную крышке, а толщина стенки корпуса - уменьшающейся в ту же сторону. Стенка корпуса в поперечном сечении выполнена с выступом со стороны вакуумированной полости по высоте не доходящим до торца рабочей поверхности корпуса. Кроме того, стенка корпуса выполнена с двумя выступами, образующими дополнительную вакуумируемую полость, сообщающуюся с вакуумной системой через штуцер 1.

Недостатком известной камеры является то, что в камере невозможно проверять полупроводниковые приборы на герметичность, так как нельзя создать избыточное давление. Исключается также возможность использования электропроводной рабочей среды, требуемой по технологическому циклу испытания силовых полупроводниковых приборов.

Наиболее близкой к изобретению является камера для испытания изделий на герметичность, содержащаяся в полуавтоматической линии комплексной проверки полупроводниковых приборов. Камера выполнена в виде разъемного полого корпуса, предназначенного для размещения испытуемого изделия и содержащего каналы подвода и отвода рабочей среды, внешние и внутренние контакты, электрически связанные между собой и предназначенные для подключения испытуемого изделия к измерительной системе, внешние герметизирующие элементы мест подвода и отвода рабочей среды 2.

Недостатками данной камеры являются ненадежность и сложность герметизации

мест подвода и отвода рабочей среды из камеры при ее поступлении на позицию контроля герметичности.

Цель изобретения - повышение надежности испытаний.

Указанная цель достигается тем, что герметизирующие элементы камеры выполнены в виде упругих крышек с каналом подвода рабочей среды, а камера снабжена гидравлическими парами в виде плунн еров, взаимодействующих с упругими крышkaMH; при этом рабочие полости плунжеров соединены между собой кольцевым каналом, сообщенным с внутренней нолостью корпуса и каналом подвода рабочей среды.

Кроме того, в камере канал подвода рабочей среды выполнен в форме трубки Вентури, к расширяющейся части которого подсоединен кольцевой канал, а герметизирующие элементы выполнены с возможностью их расширения в направлении перемещения плунжеров.

На фиг. 1 представлен общий вид камеры, продольный разрез; на фиг. 2 - поперечное сечение камеры.

Камера для испытания изделия на герметичность состоит из разъемного полого корпуса 1, содержащего каналы подвода 2 и отвода 3 рабочей среды, контакты - внешние 4 и внутренние 5, электрически связанные между собой, упругие герметизирующие элементы 6, гидравлические пары в виде плунжеров 7, соединенные между собой кольцевым каналом 8. Канал 8, в свою очередь, соединен с каналом подвода рабочей среды, выполненным в виде трубки Вентури, и через нее - с внутренней полостью 9 корпуса камеры, где размещено испытуемое изделие 10. В рабочем положении камера закрывается с помощью замка 11 и удерживается в единой линии при проведении испытания, а открывается с помощью пружины 12 после опрессовки изделия.

Камера работает следующим образом.

Для проверки герметичности изделие 10 загружают внутрь корпуса таким образом, чтобы контакты изделия вступили во взаимодействие с контактами 5 камеры. Закрывают ее и устанавливают на позицию испытаний, например, в специальный патрон 13, к которому подведены источники рабочей среды и ее слива, а также система измерения (не показаны), при этом каналы подвода 2 и отвода 3 рабочей среды совпадают с каналами подвода и слива на патроне 13. Подают в камеру рабочую токопроводящую жидкость, проникающую под действием избыточного давления в имеющиеся неплотности испытуемого прибора. Одновременно с этим рабочая жидкость, действуя на плунжер 7, деформирует упругие крышки 6 и прижимает их к внутренней поверхности патрона, тем самым герметизируя места соединения каналов подвода 2 и отвода 3 рабочей среды с ответными местами на патроне. Кольцевой канал соединен с расширяющейся частью канала подвода, выполненного в виде трубки Вентури с тем, чтобы обеспечить повышенное давление рабочей среды, поступающей под плунжер, еще в процессе заполнения внутренней полости камеры. После опрессовки изделия токопроводящая жидкость сливается через канал 3, полость 9 просушивается воздухом, поступающим через канал 2 и с помощью подключенной через контакты 4 и 5 измерительной аппаратуры определяется герметичность изделия, по изменению его типовых параметров.

Таким образом, повышается рациональность использования рабочей среды не только для технологических целей (в качестве индикаторов негерметичности), но и для создания дополнительной герметизации элементов устройства, этим самым повышается надежность испытаний и ускоряется процесс испытания.

Формула изобретения

1.Камера для испытания изделий на герметичность, выполненная в виде разъемного полого корпуса, предназначенного для размещения испытуемого изделия и содержащего каналы подвода и отвода рабочей среды, внешние и внутренние контакты, электрически связанные между собой и предназначенные для подключения испытуемого изделия к измерительной системе, внешние герметизирующие элементы мест подвода и отвода рабочей среды, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности испытаний, герметизирующие элементы выполнены в виде упругих крышек с каналом подвода рабочей среды, а камера снабжена гидравлическими парами в виде плунжеров, взаимодействующих с упругими поршнями, при этом рабочие полости плунжеров соединены между собой кольцевым каналом, сообщенным с внутренней полостью корпуса и каналом подвода рабочей среды.

2.Камера по п. 1, отличающаяся тем, что канал подвода рабочей среды выполнен в форме трубки Вентури, к расщиряющейся части которого подсоединен кольцевой канал.

3.Камера по п. 1, отличающаяся тем, что герметизирующие элементы выполнены с возможностью их расширения в направлении перемещения плунжеров.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 308324, кл. G 01М 3/04, 1966.

2.Авторское свидетельство СССР по заявке № 2626149/21-18, кл. Н OIL 21/00, 07.06.78 (прототип).

6

j