Вакуумный затвор Советский патент 1981 года по МПК C23C13/08 

Изобретение относится к технике .нанесения покрытий в вакууме. Вакуу ные затворы лрименяются для гермети ческого перекрытия рабочих проемов вакуумных агрегатов. Это необходимо в технологических целях, например, при смене рулона металлической полосы без нарушения вакуума в сопряженных камерах. Известен вакуумный затвор, в котором при разгерметизации в положен за.слонки Затвор открыт, уплотнение перемещается из области разгермертизированного проходного отверстия затвора в противоположное J Недостаток известного устройства заключается в его низких эксплуатационных качествах. Наиболее близким к предлагаемому является вакуумный затвор, содержащи корпус с соосными входным и выходным отверстиями и упором, закрепленным на одном из его торцов, каретку и заслонку с отверстиями, соответствую щими отверстиям корпуса, причем заслонка закреплена на каретке, и уплотнение f2 . Недостатком такого устройства является низкая надежность работы. Цель изобретения - повьшение надежности работы. Указанная цель достигается тем, что в вакуумном затворе, содержащем корпус с соосными входным и выход- Ш)1м отверстиями и упором, закрепленным на одном из его торцов, каретку и заслонку с отверстиями, соответствующими отверстиям корпуса, причем заслонка закреплена на каретке, и уплотнение, корпус снабжен дополнительным упором, установленным на противоположном его торце, по периметру входного отверстия корпуса выполнена канавка, служащая для размещения уплотнения, а заслонка вьшолнена с выступом, концентрично охватывающим ее отверстие. На фиг.1 изображен вакуумный затвор в открытом положении , общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - разрез Б-Б на фнг.1; на фиг.4 - разрез В-В на 4иг.1; на фиг.З - вакуумный затвор в закрытом положении, продольный разрез. Вакуумный затвор содержит корпус 1 с соосными входным и выходным отверстиями 2. По периметру входного отверстия 2 корпуса 1 выполнена канавка с уплотнением 3 и предохранительным пояском 4 вокруг входного отверстия 2 С фиг. 1 и 2). Каретка 5с отверстием 6 передвигается на катках 7 вдоль корпуса при помощи гидроцилилдра 8 и кривошипно-шатунного механизма 9 по направляющим 10. Заслонка 11, имеющая основное 12 и дополнительное 13 уплотнения и отверстие 14, выполнена с выступом 15 концентрично охватывающим ее отверстие 14, посредством которого она смонтирована на шариковых опорах 16 встроенных в каретку 5, и поджата к ней пружинами 17 (фиг.З); клинья прямого хода 18 и обратного 19 закреплены на заслонке 11. Регулируемые упоры - левый 20 и правый 21, расположенные на торцах корпуса , служат для фиксации заслонки 1I относительно отверстий 2. Направляющие 22 на корпусе 1 и направляющие 23 на ка ретке 4 служат для транспортировки. В исходном положении Затвор открыт фиг. 1-4)каретка 5 находится в левом крайнем положении, при этом заслонка 11 прижата к левому упору 20, а гидроцшшндр 8 через кривошип но-вакуумный механизм 9 и каретку 5 перемещает шарики 16, которые с одной стороны упираются в корпус 1, а с другой давят на клинья прямого хода 18, в результате чего дополнительная уплотняющая плоскость 13 плотно прижимается к предохранитель ному пояску 4 на корпусе 1, предотвращая тем самым нагрев и запыление основной уплотняющей поверхности 12 и травмирование уплотнения 3, а направляющие 22 на корпусе 1 и направ лякицие 23 на каретке 5 совпадают. Вакуумный затвор работает следую щим образом. Каретка 5 вместе с заслонкой I1, гидроцилиндром 8 через кривошипно-ш тунный механизм 9 перемещается слев направо вдоль корпуса 1 затвора 4 на катках 7 по направляющим 10. По мере движения каретки 5 заслонка I 1 пружинами 17 прижимается к кар,етке 5, при этом между корпусом 1 и дополнительной уплотняющей плоскостью ,13 заслонки 11 образуется зазор. В дальнейшем каретка 5 и заслонка 11 двигаются как одно целое до момента контактирования заслонки 11 с правым упором 21. Заслонка 11 останавливается, а каретка 5, продолжая передвигаться, катит шарики 16 по клиньям обратного хода 19 и прижимает заслонку 1 1 основной уплотняющей поверхностью 12 к уплотнению 3,размещенному в корпусе 1, герметично закрывая отверстия 2 в корпусе затвора (фиг.5) . В положении Затвор закрыт механизмы двигаются аналогично предыдущему в обратной последовательности. Использование предлагаемого устройства позволяет увел1мить надежность и срок эксплуатаоди вакуумного автора без замены уплотнения 3 отверстия 2, а следовательно, уменьшить время простоя основного оборудования вакуумных установок.Упрощение конструкции сочленения каретки и заслонки также повышает надежность вакуумного затвора и уменьшает затраты на его изготовление и эксплуатацию. Формула изобретения Вакуумный затвор, содержащий корпус с соосными входным и выходным отверстиями и упором, закрепленным на одном из его торцов, каретку и заслонку с отверстиями, соответствующими отверстиям корпуса, причем заслонка закреплена на каретке, и уплотнение, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы, корпус снабжен дополнительным упором, установленным на противоположном его торце,, по периметру входного отверстия корпуса выполнена канавка, служащая для размещения уплотнения, а заслонка выполнена с выступом, концентрично схватывающим ее отверстие. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе I.POT А. Вакуумные уплотнения. М., Энергия, 1971, с.343-372, рис. 6-61, 6-62, 6-63. 2. Кружилин А. В. и др. Вакуумные прокатные станы. М., Машиностроение, 1973, с. 145-146,рис.102 (прототип).

бб

10

е- в

Т7

/л:ум- 1

н

г-

/5

/

75

г

г

-;в

/7

1