Устройство для контроля гибридныхиНТЕгРАльНыХ МиКРОСХЕМ пРи иХизгОТОВлЕНии Советский патент 1981 года по МПК H01L21/66 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГИБРИДНЫХ

ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ ПРИ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИИ

Изобретение относится к радиотех;Нике, конкретно к устройствам, для из готовления электрической аппаратуры, и может применяться для изготовления радиоэлектронных гибридных интеграль ных микроузлов. Известно, устройство для функциональной подготовки элементов микроузлов, содержащее механизм загрузки, координатный стол, исполнительный механизм, бункер готовых изделий, блок управления, схему сравнения, бло измерения, источник пробных сигналов усилитель и эталонный микроузел D1. Однако известное устройство не обеспечивае,т высокой производительности и качества изготовления сложных схем. Цель изобретения - повышение производительности и качества изготовления микросхем. Поставленная цель достигается тем чти устройство для контроля гибридных интегральных микросхем, содержащее механизм загрузки, координатный стол, исполнительный механизм, бункер готовых изделий, блок управления, схему сравнения, блок измерения, .источник пробных сигналов, соединенный с электрическим входом координатного стола, электрический выход которого соединен со входом блока измерения, а выход блока управления - со входом исполнительного механизма, снабжено механизмом временного соединения, установленным между механизмом загрузки и координатным столом и механически соединенным с ними, блоком сортировки, первый вход которого механически соединен с координатным столом, а второй вход механически соединен с выходом исполнительного механизма, блоком определения фазы и блоком определения а1тлитуды, входы которых соединены соответственно с первым и вторым выходами блока измерения, а выход блока определения амплитуды соединен с первым входом схемы сравнения, второй вход которой соединен с выходом источника пробных сигналов, и ключевой схемой, два входа которой соединены соответ.ственно с выходом блока определения фазы и выходом схемы сравнения, а выход со входом блока управления. На чертеже изображена блок-схема устройства. Устройство содержит установленные последовательно и соединенные йеханически механизм 1 загрузки, предназначенный для ориентации и подачи навесных элементов и подложек, механизм 2 временного соединения, предназначенный для временного соединения навесньцс элементов с эталонной подложкой и подложек с эталонным навесным элементом, координатный сто 3, на котором происходит временное присоединение подложек и навесных эл ментов, блок 4 сортировки, предназначенный для сортировки всех под. ложек и навесных элементов на группы по величине вносимого ими фазового сдвига, механизм 5 сборки, предназна ченный для механической сборки функциональных микроузлов, бункер 6 гото вых изделий, а также блок 7 измерения, соединенный с электрическим выходом координатного стола 3 и пред назначенный для измерения выходного сигнала с контролируемого микроузла и разложения его на квадратную и синфазную составляющие, блок В определения амплитуды, соединенный с пер вым входом блока 7 измерения, предна наченный для определения значения амплитуды выходного сигнала на разных частотах, блок 9 определения фазы, соединенный со вторым выходом блока 7 измерения и предназначенный для определения фазового сдвига выхо ного сигнала на разных частотах, схе му 10 сравнения, предназначеннзгю для сравнения поступающих на.ее входы сигналов, первый вход которой сое динен с выходом блока 8 определения амплитуды, второй - с электрическим входом координатного стола 3 и ёыходом источника 11 пробных сигналов предназначенного для подачи на вход контролируемого микроузла стийулиру ющих сигналов различной частоты, ключевую схему 12, два входа которой соединены с выходами соответственно схемы 10 сравнения и блока 9 определения фазы и работшощей как ключ, блок 13управления, вход которого соединен с выходом ключевой схемы 12, а выход через исполнительный механизм 14 - с блоком 4 сортировки. Блок 13 управления служит для управления исполнительным механизмом 14 в зависимости от величины сигнала, пропорционального фазовому сдвигу, поступающему на его вход. В свою очередь, исполнительный механизм 14устанавливает в блоке 4 сортировки требуемую группу сортировки. Устройство работает следующим образом. На координатном столе 3 устанавливается эталонная подложка, все значения напыленных элементов которой доведены до расчетных. Из механизма I загрузки механизм временного соединения 2 устанавливает поочередно все навесные элементы на эталонную подложку. При этом каждый раз с источника II пробных сигналов на вход образовываемого функционального микроузла поступают стимулирующие сигналы. .С выхода микроузла сигналы поступают в блок 7 измерения, а затем - в блоки 8 и 9 определения амплитуды и фазы выходного сигнала. С выхода блока 8 определения амплитуды выходного сигнала сигнал поступает на схему 10 сравнения, сюда же приходит сигнал с выхода источника пробных сигналов. Таким образом, в схеме 10 сравнения сравниваются амплитуды входного и выходного сигналов во всем диапазоне рабочих частот. При равенстве амплитуд со схемы 10 сравнения поступает сигнал на ключевзпо схему 12, которая открывается и сигнал с блока 9 определения фазы выходного сигнала поступает на блок 13управления. В зависимости от величины фазового .сдвига блок 13 управления вьщает сигнал на тот или иной электромагнит, установленный в исполнительном механизме 14, которьй устанавливает соответствующую группу сортировки в блоке 4 сортировки. Теперь навесные элементы с координатного стола 3 будут попадать, в зависимости от вносимого ими фазового сдвига, в соответствующую группу сортировки. После того. как все навесные элементы будут проконтролированы и рассортированы, на координатный стол 3 устанавливается эталонный навесной элемент. Из меха5низма 1 загрузки механизм временного соединения 2 поочередно устанавл вает все подложки к эталонному йавесному элементу. При этом также пр -йсходит контроль фазовых сдвигов, вносимых каждой подложкой, и сортировка по величине фазового сдвига. Механизм 5 сборки окончательно присоединяет соответствующие подложки и навесные элементы друг с другом, обеспечивая требуемый сзгммарный фазовый сдвиг изготавливаемого микроузла. Из механизма 5 сборки готовые микроузлы поступают в бункер 6 готовых изделий. Формула изобретения Устройство для контроля гибридных интегральных микросхем при их изготовлении, содержащее механизм загрузки, координатный стол, исполнительный механизм, бункер готовых изделий, блок управления, схему сра нения, блок измерения, источник пробных сигналов, соединенный с эле трическим входом координатного стол электрический выход которого соединен со входом блока измерения, а вы ход блока управления - со входом ис 8 нительного механизма, отличающееся тем, что,с целью повышения производительности и качества изготовления интегральных микросхем, оно снабжено механизмом временного соединения, установленным между механизмом загрузки и координатным столом и механически соединенным с ними, блоком сортировки, первый вход которого механически соединен с координатным столом, а второй вход механически соединен с выходом исполнительного механизма, блоком определения фазы и блоком определения амплитуды, входы ко тррых соединены соответственно с первым и вторым выходами блока измерения, а выход бло.ка определения амплитуды соединен с первым входом схемы сравнения, вто- . рой вход которой соединен с выходом источника пробных сигналов, и ключевой схемой, два входа которой соединены соответственно с выходом блока определения фазы и выходом схемы сравнения, а выход - со входом блока управления. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент США № 3453.781, кл. Н 01 С 17/00, 1966.