Способ получения вакуума и устройстводля ЕгО ОСущЕСТВлЕНия Советский патент 1981 года по МПК F04B37/08 

(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВАКУУМА

И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

I

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известен способ получения вакуума путем конденсации газа, последующей его десорбции и откачки десорбированного газа Г1 получении вакуума известным способом десорбирующий газ вновь конденйируется на холодных поверхностях насоса, что.увеличивает время достижения предельного вакуума и понижает, величину предельного вакуума.

Известны также устройтсва для получения вакуума, содержащие корпус с размещенга 1м в нем полости охлаждаемого экрана откачивающим элементом в виде сосуда, заполненного хладагентом, и диафрагму, установленную с минимальным зазором относительно сосуда 2j.

Установка диафрагмы предотвращает переконденсацию газа внутри насоса, однако ограничивает площадь

рабочего элемента насоса, что сокращает быстроту действия последнего.

- Целью изобретения является сокращение времени достижения предельного вакуума и повышение его величины при сохранении удельной быстроты откачки.

Это достигается тем что десорбированный газ отделяют от конденсирующегося и откачивают его одновременно с конденсацией.

Для зтого в полости зкрана устройства над сосудом соосно установлен

S открытый снизу стакан и диафрагма закреплена на нижнем торце последнего, причем стакан и сосуд установлены с возможностыо относительногр осевого перемещения, а к полости

0 стакана подключен насос.

Вакуумный насос выполнен в виде емкости, расположенный внутри сосуда с хладагентом. На чертеже схематически показано устройство для осуществления предло женного способа. Устройство для получения вакуум содержит корпус 1 с размещенным в нем в полости охлаждаемого экрана 2 откачивакщим элементом в виде сосуда 3, заполненного хладагентом, и диафрагму 4, установленную с минимальным зазором относительно сосуда 3, В полости экрана 2 над сосудом 3 соосно установлен открытьй снизу стакан 5, и диафрагма 4 закреплена на нижнем торце последнего, причем стакан 5 и сосуд 3 установлены с возможностью относительного осевого перемещения, а к полости стакана 5 подключен вакуумный насос, выполнен ный в виде емкости 6, расположенной внутри сосуда 3 с хладагентом и соединенной с полостью стакана 5 трубопроводом. Устройство работает следующим образом, Захолаживают экран 2 и заполняют сосуд 3 хладагентом.При этом стакан 5 находится в верхнем положении так, чтобы диафрагма 4 пример но на 1-2 см была расположена ниже уровня хладагента в сосуде 3. Откачиваемый газ поступает к поверхности конденсации, в качестве котор выступает вся наружная поверхность сосуда 3, расположенная ниже кромки диафрагмы 4.По мере выкипания хладагента в сосуде 3 стакан 5 или сосуд 3 перемещают по оси так, чтобы в течение всего цикла работы насоса уровень хладагента был на 1-2 см выше диафрагмы 4. При отеплегши верхних частей сосуда 3 происходит дессорбция сконденсированного ранее газа. Однако переконденсаЦия газа на поверхности конденсации не происходит, и газ поступает в вакуумный насос. Отделение десорбированного газа от конденсирующегося и откачка его одновременно с конденсацией сокращает время достижения предельного вакуума и повышает его величину. Формула изобретения 1.Способ получения вакуума путем конденсйгши газа, последующей его десорбции и откачки десорбированного газа, отли чающийся тем, что, с целью сокращения времени достижения и повышений величины предельного вакуума при сохранении удельной быстроты откачки, десорбированный газ отделяют от конденсируюп егося и отка чивают его одновременно с конденсацией. 2.Устройство для получения вакуума, содержащее корпус с размещенным в нем полости охлаждаемого экрана откачивающим элементом в виде сосуда, заполненного хладагентом, и диафрагму, установлен-ную с минимальным зазором относительно сосуда, отличающееся тем, что в полости экрана над сосудом соосно установлен открытый снизу стакан и диафрагма закреплена на нижнем торце последнего, причем стакан и сосуд установлены с возможностью относительного осевого перемещения, а к полости стакана Подключен вакуумный насос. 3.Устройство по п.2, о т л и ч а ю щ,е е с я тем, что вакуумный насос выполнен в виде емкости,расположенной внутри сосуда с хладагентом. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 643665, кл. F 04 В 37/08, 1976. 2.Авторское свидетельство СССР № 392262, кл. F 04 В 37/08, 1971.

. /