Устройство для контактной двустороннейфОТОпЕчАТи Советский патент 1981 года по МПК G03B27/20 

1

Изобретение относитсй к кинофототехнике, а именно к устройствам для контактной двусторонней фотопечати.

Известны устройства для контакт- ной двусторонней фотопечати, содержащие нижнюю и верхнюю рамки с эакрепленнь1ми в них совмещенными фотошаблонами, между которыми располагаются экспонируемые заготовки С Недостатком таких устройств является то, что фотошаблоны закрепляются в рамках неподвижно с помощью клея, что создает повышенную трудоемкость в работе при необходимости их быстрой и частной смены-. Кроме того, при дополнительном совмещении прецизионных фотошаблонов не обеспечивается зазор между фотошаблонами.

Известны также устройства для контактной двусторонней фотопечати, содержащие верхний и нижний держатели фотошаблонов с механизмом перемещения держателей, относительно друг друга 2 .

Недостатком этих устройств является то, что жесткие базы не исключают недопустимого трения маскирующих покрытий и не обеспечивают точного совмещения прецизионных фотошаблонов из-за неизбежного влияния

колебания температуры, загрязнения базовых поверхностей и деформации фиксирующих элементов.

Цель изобретения - обеспечение равномерного зазора.-межлу фотошаблонами при юстировке совмещения фотошаблонов.

Для достижения указанной цели держатели фотошаблонов выполнены в виде скоб, а в механизм перемещения фотошаблонов дополнительно введены элементы их перемещения в вертикальном направлении, выполненые в виде подпружинейных к нижнему дер5жателю винтов-шестерен, связанных между собой упругим зубчатым венцом.

На фиг. 1 схематически показано предлагаемое устройство, вид в плане; на фиг. 2 - сечение А-А на

0 фиг. 1; на фиг, 3 - верхний держатель, вид со стороны крепления фотошаблона;, на фиг, 4 - нижний держатель с элементами совмещения; на фиг. 5 сечение Б-Б на фиг. 1.

5

Устройство для контактной двусторонней фотопечати состоит из двух нижнего 1 и верхнего 2 держателей фотошаблонов в виде скоб, связь которых между собою позволяет пере0мещать их относительно друг друга.

Горизонтальное перемещение держателе относительно друг друга обеспечивается микрометрическими винтами 3 механизма перемещения, которые завернуты в нижний держатель 1 и к которым подпружинен верхний держатель 2. Перемещение держателей фотошаблонов относительно друг друга в вертикальном направлении обеспечивается элементами в виде четырех полых винтов-шестерен 4 , которые вворачиваются в верхний держатель 2 и к которым подпружинен нижний держатель 1 пружинами 5 с помощью прижимов 6 пластины 7, жестко связанных с ним.

Для уменьшения сил трения контактирование двух держателей осуществляется через шарики 8.

Устройство работает следующим образом.

Фотошаблоны 9 и 10 задвигеиотся в гнездо держателей по направлению стрелок К (фиг. 1) винтами 11, освобождают пружины 12, которые прижима1ЛИ 13 фиксируют их. Каждый фотсяиаблон опиЕ)ается на два выступа 14, расположенных в гнездах держателей. Выступы 14 верхнего и нижнего держателей располагаются крестообразно, что позволяет при базировании фотошаблонов относительно друг друга самоустанавливаться под действием четырех пружин 5, суммарное усилие которых превышает силы трения, фиксирующие фотошаблоны. После фиксации фотошаблонов в гнездах держателей поворотом винтов-шестерен 4 связанных между собою упругим зубчатым венцом 15, сближают фотошаблоны 9 и 10, обеспечивая контактирование их и базирование относительно друг друга. Затем обратным поворотом винтов-шестерен 4 создают необходимы зазор между шаблонами и производят совмещение. При этом параллельность между шаблонами обеспечивается одновременным поворотом винтов-шестерен 4р связанных между собою зубчатым венцом, на одинаковый угол.

После совмещения фотошаблонов увеличивают зазор между ними и вставляют заготовку 16. Винтами-шестернями 4 сближают фотошаблоны до контакта с заготовкой, фиксируют ее фотошаблонами и производят двустороннее экспонирование. Максимальное вертикальное перемещение держателей после совмещения фотошаблонов не превышает практически 1 мм (определяется толщиной заготовки) и не оказывает влияния на рассовмещение фотошаблонов, что дает возможность после смены заготовок не совмещать фотошаблоны повторно.

Использование предлагаемого устроства позволяет изготавливать прецизионные маски, производить двустороннюю совмещенную фотолитографию подложек, повышает производительност на операции совмещения.

Формула изобретения

Устройство для контактной двусторонней фотопечати, содержащее верхний и нижний держатели вотошаблонов с механизмом перемещения держателей относительно друг друга, отличающееся тем, что, с цель обеспечения равномерного зазора между фотошаблонами, держатели фотошаблонов выполнены в виде скоб, а в механизм перемещения фотошаблонов дополнительно введены элементы их перемещения в вертикальном направлении, выполненные в виде подпружиненных к нижнему держателю винтов-шестерен, связанных между собой упругим зубчатым венцом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 442448, кл. G 03 В 27/20, 1972.

2.Авторское свидетельство СССР № 279339, кл. G 03 В 27/20, 1969 (прототип).

ФИ8.1

.Ik

Фиг.Ъ

П