Устройство для контактной двусторонней фотопечати Советский патент 1981 года по МПК G03B27/62 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ KOHTAKTHCrfl ДВУХСТОРОННЕЙ Изобретение относится к фототехнике-, а именно к контактной двухсторонней печати на противоположных сторонах фотоппастины, и может быть использовано при изготовлении интегральных печатных схем полупроводниковых приборов, прецизионных масок, деталей электровакуумных при боров и в других областях. Известно устройство для контактной двухсторонней фотопечати, содержащее перемешаемые по направляющим рамю с укрепленными на вих предварительно совмещенными фотошаблонами, между когго рыми помешают пластину СIj. Однако йЬижение по скользящим направпяюшим не может обеспечить фотошаблонам требуемую в современной электронике субмикронную точность совмещения. Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство для контактной двухсторонней фотопечати, содержащее два фотошаблона с размешенной между ними пластиной, устанавлива.ёмых в раскрывающейся обойме, верхняя

ФОТОПЕЧАТИ и нижняя части которой соединены между собой упругим элементом, выполненным в виде гибкой металлической пластины Г23 Недостатком данного устройства является то, что при отсутствии скользящих перемещений держателей фотошаблона упругий элемент, расположенный по одну сторону фотошаблонов, вызывает их взаимное перемещение в горизонтальной плоскости и достигакшее величины, равной ± 4 - 1О мк, Kptnvie того, при изменении толщины пластины, зажимаемой между фотошаблоиами, нарушается их параллель ность друг , что приводит к образованию между ними клинообразного зазора, снижающего точность воспроизведения совмешаемых {жсунков и вызывающего дополнительные перемещения фотошаблонов. Цель изобретения - увеличение .точности совмешения фотошаблонов с пластинами разной толшины и упрошение конструкции. Указанная цель достигается тем, что в устройство для контактной двухсторонней фотопеча, содержащим два фотошаблона с размещенной между ними пластиной, соединенных между собой с одной стороны ynfiynHM элементом, введен допол нитепьньШ упругий элемент, соединяющий фотошаблон со стороны, противоположной основному упругому элементу, при этом упругие эПементы, расположенные на нерабочих участках поверхностей фотошаблонов, выполнены в виде Y -образных пластинчатых пружин с параллельными между собой линиями перегиба и установлены симметрично по отношению кфотошаблонам, причем толщина пластин превьпдает толщину сомкнутых упругих элементов. На чертеже изображено устройство, обший вид. Устройство состоит из фотошаблонов 1 и 2, упругих элементов в виде Y -образных пластинчатых пружин 3 и 4, прикрепленных к противоположным нерабочим участкам фотошаблонов 1 и 2, например с помощью эпоксидного клея, и представляющим собой согнутые полоски металлической фольги, например латунной или коваровой, удвоенная толщина которой менее ТОШ1ШНЫ пластины 5. Устройство работает следующим образом. Между фотошаблонами 1 и 2 помещается пластина 5 с нанесенными на обе стороны фоточувствительным лаком, фотошаблоны 1 и 2 смыкаются и через них .пластина 5 облучается светом, после че, го вынимается и передается на операции выявления рисунка. В связи с тем, что V -образные пластинчатые пружины 3 и 4 установлены симметрично по обе сторо ны фотошаблонов 1 и 2 и их линии изгиба параллельны, а толщина в сомкнутом состоянии менее толщины пластины 5, пр жатие фотошаблонов 1 и 2 к пластине 5 происходит равномерно по всей ее плоско поверхности независимо от толщины. Конструкция V-образных пластинчатых пружин 3 и 4 их расположение и креплекие к сопряженным поверхностям фотошаб лонов 1 и 2, касающимся пластины 5, ис ключает относительные перемещения фото шаблонов 1 и 2 при воздействии на них сдвиговых усилий. Использование изобретения позволяет не менее чем в 10 раз увеличить точность совмещения рисунков фотошаблонов при контактной двухсторонней фотопечати на пластине за счет уменьшения величины сдвига фотошаблонов между собой до 0,2 мк, а также позволяет обеспечивать , плотный контакт фотошаблонов с пластиной независимо от ее тошщны, что дает возможность работать без перестройки у стройства с пластинами разной толщины без снижения точности совмещения рисунков фотошаблонов. Кроме того, простота конструкции устройства обеспечивает надежность его работы и практическую неизменяемость точности совмещения от количества совмещений. ФОрмура изобретения Устройство для контактной двухсторонней фотопечати, содержащее два щаблона с размещенной методу ними пластиной, соединенных между собой с одной стороны упругим элементом , отличающееся тем, что, с целью увеличения точности совмещения фотошаблонов с пластинами разной толщины и упрощения конструкции, в него введен дополнительный упругий элемент, соединяющий фотошаблон со стороны, противоположной основному упругому элементу, при этом упругие элементы, расположенные на нерабочих участках поверхностей фотошаблонов, выполнены в виде V -образных пластинчатых пружин с параллельными между собой .линиями перегиба и установлены симметрично по отношению к фотошаблонам, причем « толщина пластины превышает толшину сомкнутых . упругих элементов. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Электронная техника, 1976, сер. 7, вып. 7(77), с. 75. 2.Heinz R-A-iChuss a.T.,Sctiroedei c.M. ВоиЪЪе -Siaea PViototitogvaplf - Sotid State Techv oeoev -1978,л/-8,с.е5-бС7.

( /

S1

//

Т

V