Устройство для контактной двусторонней фотопечати Советский патент 1974 года по МПК G03B27/20 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТАКТНОЙ ДВУСТОРОННЕЙ ФОТОПЕЧАТИ

создания вакуума кольцо 7 рукояткой 9 поджимается к кольцу 6. Далее производят экспонирование, вакуум отключают, раму 2 снимают и заготовку вынимают из устройства.

Рисунки фотошаблонов совмещаются под микроскопом за счет перемещения винтов 11. Для ориентации заготовок к корпусу рамы 1 прикреплены винтами четыре перенастраиваемых упора 14.

В процессе работы производят периодический контроль совмещенности рисунков. Повторно совмещают фотошаблоны через несколько десятков экспонирований, при необходимости проведения односторонней, двойной, тройной и т. д. фотолитографий раму 1 совмещают с несколькими рамами 2, которые используются в паре с ней при последующих экспонированиях.

Предмет, f изобретения

Устройство для контактной двусторонней фотопечати, содержащее расположен5 ные на подвижной и неподвижной рамах фотошаблоны с заготовкой между ними, .узел скрепления рам и вакуумное ;:уплотнение, отличающееся тем, что, с целью исключения смещейия заготовки 10 относительно фотошаблонов и возможности экспонирования заготовок разной толщины,, фотошаблоны установлены неподвижно, а .вакуумное уплотнение выполнено в виде соединенных резиновой мембраной двух 15 колец, закрепленных на рамах: жестко на неподви;кной и свободно - на подвижной, выполненной с призматическими направляющими, расположенными в фиксаторах неподвижной рамы.