Координатная система для устройствпРОЕКциОННОй пЕчАТи Советский патент 1981 года по МПК G03B27/32 G03F1/02 

Изобретение относится к оборудова нию для производства изделий микроэлектроники, в частности к фотолитографическому оборудованию для изготовления полупроводниковых приборов а именно к устройствам, применяемым в оптико-механическом оборудовании для фотолитографии: в генераторах изображения, фотоповторителях, установках совмещения и мультипликации и др. Известны координатные системы в устройствах для изготовления фотошаблонов, содержащие двухкоординатный-стол с гнездом для крепления фотопластин, наборную диафрагму, про екционный объектив, дачтики перемещ ния кареток и систему управления I.1 Наиболее близкой к предлагаемой является координатная система для фотоповторителя, содержащая основан с проекционным объективом, анализирующие головки датчиков, перемещающийся в плоскости координатный стол несущий фотопластину, связанный с приводами по координатным осям и углу, и устройство управления, связ ное с приводами 2 . Однако такая координатная система имеет сложную конструкцию и не обеспечивает достаточной точности. Цель изобретения - упрощение конструкции и повышение точности. Указанная цель достигается тем, что координатная система для устройств проекционной печати, содержащая основание с проекционным объективом, анализирующие головки датчиков, перемещающийся в плоскости координатный стол, несущи:; фотопластину, связанный с приводами по координатным осям и углу, и устройство управления, связанное с приводами, снабжена блоком перемножения сигналов датчиков и закрепленными на основании симметрично относительно проекционного объектива двумерными дифракционными решетка «1И, оптически связанными с анализирующими головками датчиков, установленных на координатном столе симметрично относительно фотопластины, при зтом блок перемножения сигналов датчиков входами связан с выходами анализирукщих головок, а выходами - с приводами координатного стола.

: На фиг. 1 схематически показаню гареди1агаемое устройство, разрез; на фиг. 2 - то же, вид сверху.

Коордикатная система содержит основание 1 с проекционным объективом 2, двумерные дифракционные решетки 3 и 4, двумерные анализирующие головки 5 и 6,координатный стол 1, приводы 8-10 стола 7 по коордика;тным осям и углу соответственно, блок

11перемножения сигналов, устройство

12nporpaMhiHoro управления и фотОпластину 13.

Двумерные дифракционные решетки 3 и 4 ycтaE oвлeны на неподвижном основании 1 симметрично относительно проекционного объектива 2, ;оординатном столе 7,связанном с приводами 8 и 9 по координатным осям Х, Y соответственно и приводом 10 поворота, расположена фотопластина 13„ Симметрично относительно фотопластины

13установлены две ,двумерные анализирующие головки 5 и 6,которые оптически, взаимодействуя с дифракционными решетками 3 и 4 представляют собой два двумерных дачтика переэмещений.

Координатная система работает следующим образом.

При перемещении координатного стола 7 анализирующие головки 5 и б осуществляют выработку электрических сигналов, имеющих вид

4;

cos

S i п

Чсо S

S I П

vi;

Y-, sin

X

S i п

Х2.;

COS со S

2. Y.. де X

перемещение анализируюищей головки 5 относительно дифракционной : решетки по координатным осям-;

и Y., перемещение анализи рующей головки б отно-- сительно дифракционной решетки 4 по координатным осям.

Сигналы с анализирующих головок 5 6 поступают в блок 11 перемножения игналов, который обеспечивает выолнение операций

перемещение по координате Y, а треть пара сигналов поступает на вход привода 10, обес 1еггивс-ющего управлениестолом 7 по углу Ч , кроме того, призолэ 8-10 связаны с устройством 12 програм . управлеЕ ия 5 обеспечивакщего задание кеобход7, перемещеЕ1я.й и их скоростсй по программе работы у стройства.

Сиг/ьметричкое расположение решеток 3 и 4 отнссите.пы-{о проекционного объектиза 2 к аналкзи::, головок 5 н б датчиков откосителько фотопластины 13 приводит к тому., что при измекапий темпаратуры окружающей сре;MJ зьззывающай температурные дефорi-iauHH основания 1 - координатного стола 7; погреашости Е регистрации положанкя коордннач чо го стола 7 отсутстзуют

Де;йствите1ьно, вследствие расширения, например по оск Х-анализирующая голозка 5 датчиг а вырабатывает сигна.ль положения с погрешностью Д и roj;oBKf:. -- с погрб1иностью rj ,, то их сигЕ-:а,ль; имеют зид S I п (Х. - Д. ) ; cos (X,; + Дт ) ; sin (,( ) ; cos (Х - lidJ ;

а сигналы. посгупак; 1ие на привод по координате л - зи.ц

sin (X -i- X с -i- ii , ;

cos (Хл -- X,, -v i,; - li

При этом,- учитывая симметричность расположения анализирующих головок 5 и 6 и симметричность конструкции столс 1, Л1ОЖНО ожидать, что величина ii. - Дд стремится к . Выделение сигналов вида

S in (Y,f - Y) ;

cos (V vjj

обеспечивает удобство построения системы пр5-;вода по углу,, поскольку величина Y.; - Y2 характеризует поворот стола 7 относительно центра Фотопластины 13.

Таким образом, предлаг-аемая коордтйнатная система Hi/ieeT простую конструкцию и обладает более зысокиг11и точностнь-toi параметрг г.-ш за счет меньшей чувствительности к изменению условий эксплуатации, а именно к изменеки:о Т€:мпературы,,

Первая пара сигналов поступает на вход привода 8 обеспечивающего управление перемещением по координате Х, вторая пара сигналов поступает на вход привода 9, обеспечивающего

Координатная система для устройстт

проекциокной печати., содержащая основание с проекционны объективом, анализирующие ГОЛОЕ-КК датчиков, перемещающийсяг в плоскости координатный

стол, несущий фотопластину, связанный с приводами по координатным ccfisfi и углу, и устройство управления; связс1нное с приводами, о т л и ч а юи а я.; с я тем, что- с целью повьгшеЕия аочностн и упрощения конструкции;