Электроннооптическая система Советский патент 1983 года по МПК H01J37/04 

00

со со

i4

ЭЛЕКТРОННООПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА, содержащая источник заряженных частиц, систему электронных линз и устройство изменения апертуры пучка, выполненное в виде пластины с отверстиями, отличающая- с я тем, что, с целью упрощения -• конструкции и повышения оперативное» ти настройки и юстировки, по ходу пучка симметрично относительно плоскости пластины установлены последовательно включенные электромагнит- ,ные отклоняющие системы.

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быт использовано в различных электронноЗондовнх устройствах.

Известны электроннооптические системы (ЭОС),- в которыхапертура пучка задается с помощью неподвижной пластины-диафрагмы с центральным отверстием 1 . Их недостатком является однорежимность по сечению пучка, что- заметно сниж,ает функцир.нальные возможности прибора.

Указанный недостаток устранен в ЭОС, снабженных подвижными диафрагмами с рядом различных отверстий 2. Однако использование подвижных диафрагм сопряжено со значительным усложнением конструкции прибора в целом и требует больших затрат времени на настройку и юстировку ЭОС.

Целью изобретения является упрощение конструкции и повышение оперативности настройки и юстировки электроннооптической системы.

Поставленная цель достигается т что в электроннооптической системе содержащей источник заряженных частиц, систему электронных линз и усройство изменения апертуры пучка, выполненное в виде пластины с отверстиями, по ходу пучка.симметрично относительно плоскости пластины установлены последовательно вклченные электромагнитные отклоняющие системы.

Па приведенном чертеже представлена схема электроннооптической системь.

Электроннооптическая система содержит: источник 1 заряженных частиц, например, электронную пушку, одну или несколько предварительных электронных линз 2, устройство для изменения апертуры пучка, которое состоит из пластины J с отверстиями, неподвижно установленной относительно оптической оси ЭОС и электромагнитных отклоняющих систем 4,5, установленных симметрично по обе стороны пластины 3 относительно плоскости пластины, конечную ф,ормирующую линзу 6 и исследуемый образец 7.

Электроннооптическая система работает следующим образом.

Пучок заряженных частиц, сформированный электронной пушкой 1, и предварительными линзами 2, попадает в устройство изменения апертуры пучка, где первая электромагнитная отклоняющая система 4 направляет пучок в одно из отверстий пластины 3, вторая электромагнитная отклоняющая система 5 возвращает пучок на оптическую ось системы, далее пучок, сформированный конечной формирующей линзой б попадает на исследуемый образец 7. Смена и юстировка задающих апертуру пучка отверстий в пластине осуществляется изменением величины тока в отклоняющих электромагнитных системах, включенных последов.ательно.

: та.

Описанная конструкция электроннооптической системы позволяет существенно повысить оперативность настройки и юстировки колонны ЭОС, так как смена задающих апертуру пучка отверстий в пластине осуществляется только переключением тока в отклоняющих электромагнитных системах. Исключение из состава колонны ЭОС системы механизмов перемещения пластины с отверстиями относительно оптической оси позволяет упростить конструкцию системы, сохранить целостность магнитопроводов и не нарушать тем самъал симметрию магнитного поля линзы.