Способ обработки отрицательных электро-дОВ элЕКТРОВАКууМНыХ уСТРОйСТВ Советский патент 1981 года по МПК H01J19/44 

(54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ОТРИЦАТЕЛЬНЫХ ЭЛЕКТРОДОВ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ УСТРОЙСТВ

рядом и кондиционирования микропробоями вакуума. Кривая 2 соответствует состоянию вакуумной изоляции после обработки предлагаемым способом. Из сравнения этих зависимостей видно что при увеличении длины промежутка предлагаемый способ позволяет существенно уменьшить коэффициент fb , что соответствует повышению электрической прочности вакуумного промежут ка.

На фиг, 2 показана схема устройства для реализации предлагаемого спсоба

Схема содержит электроды 3 и 4, расположенные нарасстоянии d друг от друга. Кроме того, в устройство мгут быть введены дополнительные электроды 5 и б.Дри проведении очистки на, электроды 3-5 подают отрицательный потенциал, а на электрод 6положительный, что приводит к осаждению на поверхность электрода 6 загрязненного поверхностного слоя металла электродов 3-5. Очистка электродов необходима для полного удаления пленок окислов и неметалличес-. ких включений, что обеспечивает необходимое качество сцепления напыляемого слоя с металлом электрода.

После очистки электрод 3 тренируют высоковольтными пробоями, для чего электрод 3 подключают к отрицательному полюсу источника, а электрод 4 - к положительному. Данная тренировка приводит к упрочнению поверхностного слоя материала электрода« Далее на электрод 3 напыляют металл электродов 5 и 4.

При напылении в тлеющем разряде электрод 3 подключают к положительному полюсу источника, а электроды 4 и 5 - к отрицательному, причем в цепь электрода 5 вклюггают ограничивающее сопротивление, величина которого в 100 раз больше, чем величина сопротивления в цепи электрода 4 что обеспечивает преимущественное распыление последнего электрода. Напыление проводят в чистом инертном газе при таких режимах тлеющего разряда, которые обеспечивают механическую прочность напьшенной пленки, превосходящую механическую прочность металла основного электрода.

Толщина пленки должна соответствовать наименьшему стабильному коэффициенту усиления напряженности поля Р при заданной величине промежутка d. Определение р производится путем снятия характеристик Фаулера-Нордгейма.

Предлагаемый способ позволяет значительно повысить надежность и безотказность работы высоковольтных электровакуумных приборов.

Формула изобретения

Способ обработки отрицателыатх электродов электровакуумных устройст включающий очистку; электрода и тренировку поверхности электрода высоковольтными пробоями, отличающ и .и с я тем, что, с целью повышения электрической прочности вакуумного промежутка, после тренировки высоковольтньши пробоями на поверхность электрода наносят ионным напылением слой металла с работой выхода не ниже работы выхода металла электрода до получения стабильного коэффициента усиления напряженности электрического поля.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 550702, кл. Н 01 J 21/00, 1977. .

2.Сливков И, Н. Электроизоляция и разряд в вакууме. М., Атомизда 1972, с. 44-55 и 74 (прототип).

О 0, 1ДММ

fpUiJ

U

(pui.Z