(54) ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА | 1972 |
|
SU333732A1 |
| Устройство для измерения электрических параметров интегральных схем | 1980 |
|
SU906045A1 |
| Зондовое устройство для измерения электрических параметров изделий микроэлектроники | 1986 |
|
SU1536528A1 |
| ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА | 1990 |
|
RU2035131C1 |
| ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН | 2015 |
|
RU2618598C1 |
| ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ КРИСТАЛЛОВ | 1981 |
|
RU2076392C1 |
| Зондовая головка | 1977 |
|
SU661862A1 |
| УСТРОЙСТВО для ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ | 1973 |
|
SU399799A1 |
| Устройство для измерения электрофизических параметров слитков полупроводниковых материалов | 1982 |
|
SU1051624A1 |
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ СТРУКТУРЫ | 1997 |
|
RU2134468C1 |
1
Изобретение относится к измерению электрофизических параметров полупроводниковых материалов и может быть использовано в зондовых датчиках для измерения удельного сопротивления, например, германия и кремния контактными методами.
Известны зондовые головки, содержащие зонды, зондодержатели, механизм перемещения и регулировки давления зондов 1.
Эти зондовые головки позволяют повысить измерения за счет плавной регулировки усилия прижима зонда, но механизм регулировки давления зонда очень сложный.
Наиболее близкой к предлагаемой, по технической сущности является зондовая головка, содержащая размещенные в корпусе зонд, в виде заостренного стержня, зондодержатель, токоподвод и штеккер с регулировочным винтом 2.
Однако конструкцией известной, зондовой головки не предусмотрена возможность плавной регулировки усилия прижима зонда к поверхности кристалла полупроводникового материала, кроме того, на участке токоподвода от штеккера к зонду имеется три контактных перехода между различными металлами. Отсутствие плавной регулировки усилия прижима зонда к поверхности полупроводника может привести к искажениям измеряемых параметров полупроводников за счет неомичности контактов на границе металл-полупроводник при недостаточном прижиме зондов к поверхности пластины или к погрещности за счет изменения удельного сопротивления в местах контактирования зондов при избыточном давлении их на поверхность кристалла. Наличие многих контактных переходов из различных металлов в токоподводе приводит к дополнительной погрешности при прохождении тока за счет термоэлектронных явлений, а также снижает надежность токоподвода, что влияет на точность измерения.
Цель изобретения - повышение точности измерения.
Указанная цель достигается тем, что в зондовой головке, преимущественно для измерения электрофизических параметров полупроводниковых материалов, содержащей корпус, зонд с зондодержателем, токоподвод и штеккер с регулировочным винтом, зонд и токоподвод выполнены в виде единого Г-об
