Зондовая головка Советский патент 1979 года по МПК H05K1/04 G01R1/06 

-;. v.:i . - : --- ;Изобретение относится к радиотсехнике, а именно к конструктивному выполнению зондовой головки, преднайначенной для измерения электрофизических параметров твердых схем, быть использовано например, в микроэлектронике. Известна зондовая головка, включающая игольчатый подпружиненный isefri с Механизмом подвода его к койтактирующему элементу, и держатель, который посредством плоских пружин соеди нен с подвешенной На Диафрагме nttaifгой и связан при помощи гибкого троса с подпружиненным штоком 1}. Однако isxa головка обладает рядом недостатков, обусловливающих низкую точность измерения удельного, сопротивления полупроводниковых материалов (погрешность сходимости составляет ±60% при доверительной вероятности 0,95). При использовании ее в устройствах для измерения Удельного сопротивления по сопротивлению рассе кания необходима высокая точность ярспроиэведевйя расстояния мекду зон дами и контактной площади, зонда с образцом. Последнее преимущественно зависит от стабильности давления зон да на образец. Известная конструкция не обеспечивает стабильности давления зонда на образец ito следующим причинам: а)имеются .«евоспроизводймые потери на трение Качения в шарнирных соединениях обводных роликов, трение скольжения толкателя с поверхностью клинового ползуна и трения троса при его перекатываний по желобу б)возможны автоколебания 1э свободно подвешенной упругой системе под действием собственных колебаний и внешних возмущающих воздействий; в)имеется совокупность Нерегулируемых упруатих характеристик плоских пружин и пружин Сжатия. Известна зондовая головка в виде игольчатого щупа с держателем щупа, связанным с механизмом перемещения щупа и струной механизма подъемами опускания щупа на контактируе1«лйэле мент. При этом механизм перемещения ;Щупа снабжен горизонтально установленным напряженным пружинным параллелограммом, опирающимся на конец долого цилиндра, имеющего торцовую стенку, на которой в |1рлости цилиндра одним концом закреплена струна, противоположным концом соединенная с регулируемой планкой, связанной механизмом перемещения, к которому посредством пружины прикреплен другой конец цилиндра 2. Однако в данной конструкции настройка зонда на заданное давление сопряжена с большими трудностями. В каждом случае настройки зондана иное давление необходимо тарировать силы упругости напряженного прижимного параллелограмма, что значитель но усложняет регулировку давления зонда. Цель изобретения - упрощение рег лировки давления зонда - достигаетс тем, что зондовая головка, содержащая корпус с механизмом перемещения зонда в виде пружинного параллелограмма, на котором размещен держател зонда, и механизмом подъема и опуска ния зонда в виде струны, снабжена механизмом регулировки давления зой да с винтом и трибкой и разйеиённым внутри пружинного параллелогра№1а рычагом, один конец которого соединен с ним при помощи в|рировавиой пружины, а другой шарнирно закреплен в корпусе и подпружинен с возможностью взаимодействия с винтом механизма регулировки величины давления зонда. На чертеже изображена описываема зондовая головка. В корпусе 1 закреплены пластины пружинного параллелограмма 2, механизма перемещения зонда 3, несущего держатель 4 зонда, кинематически связанного посредством гибкой тяги 5 с механизмом 6 подъема и опускания зонда в виде бтруны. Механизм регули ровки величины давления зонда включа ет рычаг 7, одним концом соединенный с подвижным звеном 8 пружинного параллелограмма посредством тарированной пружины 9, а другим шарнирно закрепленный в корпусе и подтягиваемый пружиной растяжения 10 к сферичвс :ому концу винта 11 с трибкой 12 находящейся в зацеплении с зубчатым колесом 13 с делениями на торце, на которые указывает стрелка 14. Настройка и работа зондовой голов ки,- : , ; ; . Зная передаточное отношение рычаж но-зубчаюго механизма регулировки

661862 величины давления зонда, включающего рычаг 7, винт 11 с трибкой 12 и зубчатое колесо 13, и упругую характеристику тарированной п ужины 9, посредством винта 11 с трибкой 12 устанавливают колесо 13 на числЬ делений, соответствующее необходимой величине давления зонда на образец. Пружина 9 растягивается и вoздeйcтвyef силой упругой деформации на подвижное звено 8 пружинного параллелограмма 2,. удержйваемое в неподвижном положении гибкой тягой 5 механизма 6 подъема и опускания зонда. При нагреве струны механизма 6 зонд опускается и создает в точке контакта с образцом давление, равное упругой деформации тарированной пружины. Конструкция зондовой головки позволяет стабилизировать величину заданного давлений на зонд, расширяет диапазон регулировки давления, дает .возможность удобства регулировки и быстрой перенастройки на заданное давление. Формула изобретения Зондовая головка, содержащая корпус .с механизмом перемещения зонда в виде пружинного паралл.елограмма, на котором размещен держатель зонда, и механизмом подъема и опускания зонда в виде струны, отличающая с ятем, что, с целью упрощения регулировки давления зонда, она снабжена механизмов регулировки величины давления йонда с винтом и трибкой и размещенным внутри пружинного параллелограмма рычагом, один конец которого соединён с ним при помощи тарированной пружины, а другой шарнирно зак1эеплен в корпусе н подпружинен с возможностью взаимодействия с винтом механизма регулировки величины давления зонда..:.-. ...л Источник { информации, п инятыё во внимание при экспертизе 1.Авторское свийетельстйо СССР №190956, кл. G 01 R 1/06, 1965. 2.Авторское свидетельство СССР №553763, кл. Н 05 К 1/04, 1975.

661862

4/ х« „ If