Способ осаждения ферромагнитногопОКРыТия НОСиТЕля зАпиСи Советский патент 1981 года по МПК H01F41/20 C23C14/14 H01F10/14 H01F10/16 

Изобретение относится к технике осаждения металлических покрытий в вакууме, а конкретно к технологии осаждения ферромагнитных покрытий носителей .записи. Известен способ осаждения магнит ных покрытий на основу путем одновр менного испарения и осаждения в вакууме по направлению, совпадающему с нормально- к основе, ферромагни ного и немагнитного материалов 1J. Данный способ не позволяет полу.чить носители записи с высокой.разрешающей способностью ввиду низкой коэрцитивной силы ферромагнитного покрытия (не более 10 Э), обусловленной нормальным осаждением ферромагнитного материала. наиболее близким по технической сущности к изобретению является способ осаждения ферромагнитного покрытия носителя записи путем ваку умного термического нанесения нескольких слоев на основу под углами относительно нормали .к поверхности обновы, превышающими 60 , причем угол между проекциями направ лений потока осаждаемого материала на основу для смежных слоев 180г601 Полученное по этому способу ферромагнитное покрытие обладает при достаточной величине коэрцитивной силы (несколько сотен эрстед) низким значением коэффициента выпуклости (0,50,6) петли гистерезиса, что снижает его разрешающую способность. Этот недостаток проявляется особенно сильно при суммарной толщине магнитного слоя, превышающей 500 А, т.е. при толщинах, наиболее приемлемых для магнитной записи. Цель изобретения - повышение разрешающей способности носителя записи. Цель достигается тем, что наносят слой одинаковой то.гадины, а толщина каждого слоя не превышает 50 А. На фиг. 1 приведена проекция схемы устройства, служащего для осаждения ферромагнитного покрытия на дисковый носитель записи; на фиг.2 то же, вид А на фиг, 1, Устройство содержит диск 1 с приводом 2 вращения, испаритель 3 ферромагнитного материала, экран 4 с окнами 5 и 6, расположенный между вращающимся диском 1 и испарителем 3. Стрелками 7 обозначены направления осаждения потока пара на диск.