Устройство для нанесения металлических покрытий на диски внешней памяти Советский патент 1985 года по МПК G11B5/85 

Изобретение относится к технике магнитной записи, а именно к устройствам для покрытия магнитных носителей информации парами металлов.

Известно устройство для косого напыления металлических покрытий на основу внешних накопителей информации путем испарения в вакууме металла покрытия t .

В известном устройстве угол наклона покрываемой подложки к оси потока испаряемого металла устанавливается с помощью кулачкового механизма. ; Недостатком данного устройства является сложность механизма перемещения и наклона подложки и большие размеры вакуумной камеры, обусловленные необходимостью обеспечения сравнительно больших расстояний между испарителями и подложкой при. косом напылении, необходимом доя получения равномерной толщины и одинаковых свойств покрытия по всей площади покрываемой основы носителя информации.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому является устройство, содержащееустановленные в вакуумной камере первый и второй испарители со своими подвижными заслонками, два нагревателя дисков и дискодержатель, установленный с возможностью вращения и кинематически связанный с механизмом вращения, при этом нагреватели установлены по разные стороны дискодержателя, а подвижные заслонки - между испарителями и ближайшим к ним из нагревателей, в котором выполнено первое радиальное отверстие z ..

Недостатком известного устройства является низкая производительность, вызванная наличием в нижнем, т.е ближайшем к испарителям,нагревап теле одного отверстия для конденса.ции на основе диска покрывающих его металлов.По этой причине напыление магнитного слоя может начаться только после окончания процесса напыления немагнитного слоя заданной толщины, т.е. после совершения дискодержателем нескольких оборотов. За это время немагнитное покрытие успевает окислиться, что отрицательно сказы.вается на магнитных Свойствах магнйтно1о слоя диска, так как окислившееся немагнитное покрытие снижает

величину коэрцитивной силы магнитного покрытия, выращиваемого в виде эпитаксиального слоя из немагнитного слоя диска.

5 Цель изобретения - повьшение про|Изводительности устройства и качества покрытия дисков за счет снижения времени между напылениями немагнитного, и магнитного слоев диска.

0 Цель достигается тем, что в устройство, содержащее установленные в вакуумной камере первый и второй испарители со своими подвижными заслонками, два нагревателя дисков и

5 дискодержатель, установленный с возможностью вращения и кинематически связанный с механизмом вращения, при этом нагреватели установлены по разные стороны дискодержателя, а подвижные заслонки г- между испарителями и ближайшим к ним из нагревателей, в котором выполнено первое радиальное отверстие, введен экран, причем в ближнем нагревателе выполнено

5 второе отверстие, экран установлен Неподвижно между первыми и вторьош испарителями и отверстиями ближнего нагревателя, а расстояние 6 между отверстиями выбирается из соотношения

-цОмин J

где h и k - расстояния соответственно между дискодержателем и ближним нагревателем 5и между последним и испарителем;

i - допустимое время окися

ления металлического

слоя магнитного покры0тия|

V- - минимально допустимое . значение скорости вращения диска;

мин в иимальная ширина от5верстий, определяемая

из соотношения

лини

...

U

п Макс

(Где максимальная скорость конденса19ш покрытия; . DH заданная толщина пркрытия.

На фиг. 1 представлена схема устройства; на г. 2 - нагреватель с отверстиями, разрез; на фиг. 3 схема для вывода расчетных соотношений элементов устройства. Устройство содержит вакуумную ка меру 1, в которой расположены первый испаритель 2 и второй испаритель 3, нагреватели 4 и 5 упомянуты испарителей, дис содержатель 6, механизм 7 вращения диска (не показан) , кинематически связанный с дис кодержателем 6, нагреватели 8 и 9 для диска, установленные по разные стороны дискодержателя 6, подвижные заслонки 10 и 11, установленные между испарителями 2, 3 и ближайгаим к ним (нижним по чертежу) нагревате лем 9, в котором-выполнены два одинаковых радиальных отверстия .12 и 13, расположенные на расстоянии друг от друга, которое выбирается из соотношения Ь i гОми . 5 где h и k расстояния соответственно между дискодержателем 6 и нагревателем 9 и между последни и испарителем 2 или 3; допустимое время окисл ния металлического сло магнитного покрытия; А WM« минимально допустимое ,значение скорости вращения диска; минимальная ширина отверстий, определяемая из соотношения V АМИИ nMotcc гдеМп макс максимальная скорость конденсации покрытия; заданная толщина покры тия . Отверстия 12 и 13 разделены экра ном 14 для исключения возможности смешивания потоков испаряемых метал лов на поверхности основы диска. Устройство работает следующим об разом. После достижения в вакуумной камере необходимого давления включают ся нагреватели 8 и 9 основы диска, закрепленной в дискодержателе 6 меж ду нагревателями 8 и 9. Основа диска (не показана) нагревается до заданной температуры, после чего включаются нагреватели 4 и 5 испарителей ;2 и 3 для плавления соответственно немагнитного и магнитного металлов. Далее включается механизм 7 вращения дискодержателя 6 с основой диска. После расплавления указанных металлов производят конкретные замеры скоростей их испарения. Затем открывают подвижную заслонку 10 над испарителем 2 для покрытия основы немагнитным металлом, например хромом, через отверстие 12 в нагревателе 9. Через время ut. открывается заслонка 11 над испарител1ем 3 для напыления на основу магнитного материала. Время dt - это время необходимое для поворота основы диска на расстояние а + И . Оно вычисляется следующим образомскорость вращения основы где диска, т.е. дискодержате ля 6; ширина отверстия 12 или 13; расстояние между отверстиями 12 и 13 (фиг. 2 и 3). После достижения заданной толщины немагнитного покрытия заслонку 10 закрывают. Через время it после этого акрывают заслонку 11 и конденсация магнитного покрытия также прекращатся, при этом достигается точное заимное наложение плоскостей обоих окрытий. После отключения нагреваелей 4, 5, 8 и 9 и остывания изготовенного диска выключают механизм 7 ращения дискодержателя 6. Использование изобретения, т.е. тдельных отверстий для напыления аждого слоя дискового носителя инормации, позволит сократить до миимума время между напылениями укаанных слоев путем уменьшения разера а +. 6 и резко сократить время кисления немагнитного (хромового, апример) подслоя диска, что привеет к увеличению коэрцитивной силы агнитного покрытия диска.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА ДИСКИ ВНЕШНЕЙ ПАМЯТИ, содержащее установленные в вакуумной камере- первый и второй испарители со своими подвижными заслонками., два нагревателя дисков и дискодержатель, установленН1 с возможностью вращения и кинематически связанный с механизмом вращения, при этом нагреватели установлены по разные стороны дискодержателя, а подвижные заслонки между испарителями и ближайшим к ним из нагревателей, в котором выполнено первое радиальное отверстие, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности устройства и качества покрытия дисков за счет снижения времени между напылениями немагнитного и магнитного слоев диска, в устройство введен экран, причем в ближнем нагревателе выполнено второе отверстие, :экран установлен неподвижно между первыми и вторыми испарителями и отверстиями ближнего нагревателя, а ,расстояние между отверстиями вы.бирается из соотношения h MKi(B«inV; y -a т« k - расстояния соответгде и ственно между диског держателем и ближним нагревателем и между у последним и испарите« лем; tj, - допустимое время окисления металлического слоя магнитного покрытия; минимально допустимое Ч значение скорости вращения диска; минимальная ширина отМ«К 4 4 верстия , определяемая изсоотношения N9 jvMKrt «ин ri Макс где V - максимальная скорость конденсации покрытияJ Bf, - заданная толщина покрытия.