Интерферометр для контроля качествалиНз Советский патент 1981 года по МПК G01B9/02 

1

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля качества линз и может бЕЛТь использовано в производстве, оптических систем.

Известен интерферометр для контроля качества линз, содержащий источник света, расположенные последовательно по ходу его лучей светоделитель, объектив, компенсатор, эталонное сферическое зеркало и регистратор интерференционной картины 1 .

Недостатком данного интерферометра является сложность конструкции, обусд овленная необходимостью применения эталонного сферического зеркала, диаметр которого превышает Диаметр контролируемой линзы..

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к изобретению является интерферометр для контроля качества оптических деталей, например линз, содержгиций источник света, расположенные последовательно по ходу его лучей светоделитель, компенсатор и регистратор интерференционной картины 2.

Недостатками этого интерферометра являются сравнительно низкая точность контроля, обусловленная тем, что компенсатор вносит дополнительные аберрации в волновой фронт, отраженный от поверхности контролируемой линзы, а также узкий диапазон параметров контролируемых линз, поскольку один компенсатор позволяет контролировать, как правило, только одну линзу, а именно ту, для которой он

Id рассчитан.

Цель изобретения - повышение точности контроля и расширение диапазона параметров контролируемых линз.

Указанная цель достигается тем,

15 что интерферометр снабжен эталонной линзой, установленной за компенсатором, плоскопараллельной светоделительной пластиной, установленной перпендикулярно оптической оси интерфе20рометра за эталонной линзой так, что расстояние от светоделительной поверхности пластины до эталонной ,и контролируемой линз равны между собой.

25

На чертеже представлена принципиальная Ьхема одного из возможных вариантов интерферометра для контроля качества линз.

Интерферометр содержит источник

30 1 света, расположенные последовательно по ходу его лучей диафрагму 2, светоделитель 3, компенсатор 4, эталонную ликзу 5, плоскопараллельную светоделительную пластину 6 и регист ратор 7 интерференционной картины. Пластина 6 установлена перпендикуляр но оптической оси интерферометра так что расстояния от ее светоделительной поверхности ло эталонной линзы 5 и контролируемой линзы 8 равны между собой. Интерферометр работает следующим o6j3a3OM. Пучок света от источника 1 проходит диафрагму 2, светоделитель 3, компенсатор 4, эталонную линзу 5 и падает на плоскопараллельную светоделительную пластину 6, которая делит его на две части. Одна часть пуч ка преломляется поверхностью Б эталонной линзы 5, отражается от ее поверхности А и повторяет свой путь в обратном направлении. Другая часть преломляется поверхностью Б контролируемой линзы 8, отражается от ее поверхности А и повторяет свой путь в обратном направлении. Объединив шись на светоделительной пластине 6 обе части интерферируют между собой и поступают в регистратор 7 интерференционной картины. Поскольку обе части пучка проходят в плечах интерферометра одинаковые оптические пути, нет необходимос ти осуществлять полную компенсацию аберраций пучка лучей, подающего на светоделительную пластину 6, что позволяет значительно расширить диа пазон параметров контролируемых линз 8 и повысить точность контроля за счет, исключения ошибок, вносимых компенсатором в обратном ходе лучей. Таким образом, снабжение интерферометра эталонной линзой 5 и плоскопараллельной светоделительной пластиной б позволяет повысить точность контроля и расширить диапазон пара етров контролируемых линз. Формула изобретения Интерферометр для контроля качества линз, содержащий источник света, расположенные последовательно по ходу его лучей светоделитель, компенсатор и регистратор интерференционной картины, отличающийс я тем, что, с целью повышения точности контроля и расширения диапазона параметров контролируемых линз, он снабжен эталонной линзой, установленной за koMneHcaTopOM, плоскопараллельной светоделительной пластиной, установленной перпендикулярно оптической оси интерферометра за эталонной линзой так, что расстояния от светоделительной поверхности пластины до эталонной и контролируемой линз равны между собой. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское- свидетельство СССР 448347, кл. G 01 В 9/02. 2.Авторское свидетельство СССР №373519, кл. G 01 В 9/02, 12.03.73 (прототип).