1
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения малых перемещений объекта.
Известен способ измерения малых перемещений объекта путем определения положения отверстия в тонкой непрозрачной пленке с помощью отраженного лазерного импульса 1 .
Однако этот способ не позволяет измерять перемещение исследуемого объекта,перемещающегося со сложной траекторией.
Наиболее близким к предлагаемому по теЛнической сущности является способ измерения малых перемещений объекта, заключающийся s том, что с объектом связывают отражатель, направляют на него пучок когерентного cBeia, регистрируют положение отраженного от отражателя световогопучг ка, по которому и судят о величине перемещения объекта
Недостаток данного способа заключается в том, что он не позволяет определить сложную траекторию перемещен ия каждой отдельной точки исследуемого объекта. Поэтому нет возмож- ности исследовать сдвиговые деформации г например, пьезокерамических
преобразователей, каждая отдельная точка которых перемещается с разной траекторией, причем величина этих сдвиговых деформаций, в зависимости от конструктивнЬюс параметров преобразователей и питающего напряжения, колеблется от 1 до 100 кГц.
Наиболее близким устройством по технической сущности для осуществле10ния способа является устройство для измерения малых перемещений объекта, содержащее отражатель,, связываемый с объектом, источник когерентного света, расположенный под углом к от15ражателю, и регистрирующий блок, на который падает отраженный от отражателя световой луч 2.
Недостатком этого устройства является невозможность сложной траек20тории перемещения каждой отдельной точки исследуемого объекта.
Цель изобретения - измерение сложной траектории перемещений каждой отдельной точки объекта.
25
Поставленная цель достигается тем, что в способе используют не менее двух отражателей, расщепляют иМи пучок когерентного света на число вза,имно перпендикулярных световых лучей,
30 соответствующее числу отражателей,
и по суммарной траектории перемещения определяют траекторию и величину перемещения исследуемой точки объекта .
Поставленная цель достигается тем что в устройстве для осуществления предлагаемого способа установлено |Не менее двух отражателей, каждый из которых вьшолнен в виде микроскопических кристаллов минерала, напылённых на тонкий слой клея, наносимого на исследуемую точку объекта.
На чертеже изображена принципиальная схема устройства для измерения малых перемещений объекта.
Устройство содержит отражатели 1 и 2 (не менее двух), источник 3 когерентного света и регистрирующий блок, на который падает отраженный от отражателя световой луч. Регистрирующий блок выполнен в виде экранов 4-6 и узлов обработки (на чертеже не показаны). Каждый отражатель выполнен в виде микроскопических кристаллов минерала, например корунда, напыленных на тонкий слой клея, наносимого на исследуемую Точку объекта 7. Источник 3 когерентного света подвижно установлен на стойке 8. Как известно, кристаллы минералов имеют зеркальные плоскости, величина которых- еще меньше самого кристалла, поэтому сечение отраженного от такой плоскости луча имеет еще меньшую, чем микроскопический кристалл, величину. Это позволяет получить на экранах 4-6 четкие траектории перемещений, величина которых несколько больше сечений лучей.
Устройство работает следующим образом.
При включении источника 3 когерентного света пучок этого света направляют на кристаллы минерала и перемещают источник 3 когерентного света по направляющей стойке 8, до тех пор, пока узлы обработки регистрирукицего блока не сигнализируют о появлении расщепленных лучей света на всех экранах 4-6. Тогда включается устройство, приводящее исследуемый объект в движение (На Чертеже не показано), и регистрируются траектории 9--11 перемещения исследуемой точки на экранах, по которым судят о траектории перемещения этой точки.
Формула изобретения
1. Способ измерения малых перемещений объекта, заключающийся в
том, что с объектом связывают отражатель, направляют на него пучок когерентного света, регистрируют положение отраженного от отражателя
светового пучка, по которому и судят о величине перемещения объекта, отличающийся тем, что, с целью измерения сложной траектории перемещений каждой отдельной
точки объекта, используют не менее двух отражателей, расщепляют ими пучок когерентного света на число взаимно перпендикулярных световых лучей, соответствующее числу отражателей., и по суммарной траектории перемещения определяют траекторию и величину перемещения исследуемой точки объекта..
2. Устройство для измерения малых перемещений объекта, содержащее отражатель, связываемый с объектом, источник когерентного света, расположенный под угломК отражателю, и ре- гистрирующий блок, на который падает отраженный от отражателя световой
луч, отличающееся тем, что в нем установлено не менее двух отражателей, каждый из которых выполнен в виде микроскопических кристаллов минерала, напыленных на тонкий
слой клея, наносимого на исследуемую точку объекта.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент США № 3810699, кл. G 01 В 11/26, 1974.
2. Патент Японии № 51-17062, кл. G 01 В 11/02, 1976 (прототип).
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ | 1999 |
|
RU2165070C2 |
ОПТИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ | 1999 |
|
RU2165069C2 |
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ОБЪЕКТА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ (ВАРИАНТЫ) | 2003 |
|
RU2258903C2 |
СПОСОБ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ МИКРОСКОПИИ | 2013 |
|
RU2536764C1 |
ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕФОРМАЦИЙ ПЛОСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕМЕНТОВ ТВЕРДОТЕЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ | 2009 |
|
RU2406070C1 |
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКОГО РАСПОЛОЖЕНИЯ ЛИНЗ И ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1993 |
|
RU2078305C1 |
Рефрактометр для прозрачных пластин | 1988 |
|
SU1631373A1 |
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ОБЪЕКТА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ (ВАРИАНТЫ) | 2015 |
|
RU2659720C1 |
Способ и устройство регистрации пространственного распределения оптических характеристик труднодоступных объектов | 2017 |
|
RU2655472C1 |
СПОСОБ ОПТИЧЕСКОЙ ТОМОГРАФИИ ТРЕХМЕРНЫХ МИКРООБЪЕКТОВ И МИКРОСКОП ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1999 |
|
RU2145109C1 |
Авторы
Даты
1981-07-15—Публикация
1979-10-02—Подача