Способ укладки в кассету и поштучной выгрузки из нее прямоугольных подложек,преимущественно микросхем,и кассета для осуществления способа Советский патент 1981 года по МПК H01L21/77 

(54) СПОСОБ УКЛАДКИ В КАССЕТУ И ПОШТУЧНОЙ

ВЫГРУЗКИ из НЕЕ ПРЯМОУГОЛЬНЫХ ПОДЛОЖЕК, ПРЕИМУЩЕСТВЕННО МИКРОСХЕМ, И КАССЕТА

1

Изобретение относится к способам укладии плоских прямоугольных пластин в кассету и их поштучной выдачи, а также к средствам для осуществления этого способа и к технологическому оборудованию для изготовления радио- . аппаратуры, в частности плат микросхем.

Наиболее близким к предлагаемому является способ укладки в кассету и поштучной выгрузки из нее прямоугольных полупроводниковых кристаллов включающий укладку их в стопу, их фиксацию от боковых смещений и выгрузку из стопы нижнего кристалла, с одновременным удержанием стопы .

Однако этот способ не может быть использован для подложек микросхем, уложенных в стопу.

Наиболее близкой к п|3едлагаемой по технической сущности является кассета для микросхем, содержащая корпус квадратного сечения с направляющими и две пары профилированных пластин, закрепленных на взаимно перпендикулярных осях 2.

Однако при поштучной выдаче микросхем происходит скольжение рабочей поверхности выдаваемой микросхемы ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ СПОСОБА

2

со столбом уложенных микросхем, что недопустимо в случае подложек.

Цель изобретения - повышение надежности процесса и исключение механических поврехедений.

Цель достигается тем, что в соответствии со способом укладки в кассету и поштучной выгрузки из нее прямоугольных подложек, преимущественно

10 микросхем, включающем укладку прямоугольных подложек в стопу, их фиксацию от боковых смещений и выгрузку из стопы нижней подложки с одновременным удержанием стопы, укладку

15 прямоугольных подложек в стопу осуществляют с разворотом в горизонтальной плоскости относительно друг друга на 90, а фиксацию от боковых смещений производят по боковым кром20кам, выступающим за пределы совмещаемых поверхностей, причем стопу прямоугольных подложек удерживают за выступающие от совмещаемых поверхностей во взаимно перпендикулярных

25 направлениях концы прямоугольных подложек.

Кассета для осуществления способа содержит корпус квадратного сечения с направляющими и две пары профили30рованных пластин, закрепленных на

взаимно перпендикулярных осях, при этом направляющие установлены в углах корпуса, а профилированные пластины выполнены -образной формы, при этом корпус размещен между их полками, причем профилированные пластины подпружинены к корпусу и установлены на его наружных стенках с возможностью поочередного взаимодействия каждой пары между собой.

На фиг. 1 схематически показана кассета,общий вид; на фиг. 2 - то же вид сверху; на фиг. 3 - схема укладки подложек в кассете.

Кассета содержит корпус квадратного сечения, образованный четырьмя стенками 1, направляющие 2 размещенные в углах корпуса квадратного сечения. На каждой стенке 1 с наружной стороны укреплен кронштейн 3. Кассета содержит две пары пластин 4 С -образной формы. Пластины могут поворачиваться в кронштейнах 3. В замкнутом положении пластины 4 удерживаются с помощью пружин 5. Для удержания стопы прямоугольных подложек 6 корпус размещен между полками пластин -образной формы.

На фиг. 3 обозначены совмещаемые поверхности S прямоугольных подложек выступающие за пределы совмещаемых поверхностей концы СХ прямоугольных подложек, боковые кромки b выступающих концов.

Кассета работает следующим образом.

Укладывают прямоугольные подложки в стопу с разворотом в горизонтальной плоскости относительно друга на. 90°, как показано на фиг.З. Затем стопу укладывают в кассету, фиксируя от боковых смещений по боковым кромкамfe. При этом стопа удерживается снизу нижними полками пластин 4 -образной формы.

При нажатии на верхние полки пластин 4 они поворачиваются в кронштейнах 3 и при выходе нижних полок пластин 4 за пределы прямоугольной подложки, последняя освобождается дл обработки. Стопа прямоугольных подложек опускается и следующая за освободившейся прямоугольная подложка, развернутая относительно нее на 9(Я , ложится на нижние полки другой пары пластин 4. При снятии усилия пластины под действием пружин 5 возвращаютря в исходное положение. Для выдачи очередной прямоугольной подложк 1 в одинаковом .с первой ориентированном положении небЬходимо повернуть кассету на 9сР и снова нажат на верхние полки уже другой пары

пластины 4. Если нет нужды в ориентрованной выдаче прямоугольных подложек, необходимо нажимать попарно то на одну, то на другую пару пластин 4 до полной разгрузки кассеты.

При применении предлагаемого изобретения осуществляется надежное отделение нижней подложки из стопы к выдаче прямоугольной подложки без повреждения ее рабочей поверхности.

Формула изобретения

1.Способ укладки в кассету и поштучной выгрузки из нее прямоуголных подложек, преимущественно микросхем, включающий укладку прямоугольных подложек в стопу, их фиксацию

от боковых смещений и выгрузку из стопы нижней подложки с одновременны л удержанием стопы, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности процесса и исключения механических повреждений, укладку прямоугольных подложек в стопу осуществляют с разворотом в горизонтальной плоскости итносительно друг друга на 90°, а фиксацию от боковых смещений производят по боковым кромкам, выступающим за пределы совмещаемых поверхностей, причем стопу прямоугольных подложек удерживают за выступающие от совмещаемых поверхностей во взаимно перпендикулярных направлениях концы прямоугольных подложек.

2.Кассета для осуществления способа по П.1, содержсццая корпус квадратного сечения с направляющими и две пары профилированных пластин, закрепленных на взаимно перпендикулярных осях, отличающаяся тем, что направляющие установлены

в углах корпуса, а профилированные пластины выполнены -образной формы, при этом корпус размещен между их полками, причем профилированные пластины подпружинены к корпусу и установлены на его наружных стенках с возможностью поочередного взаимодействия каждой пары между собой.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 505057, кл. И 01 L 25/10, 1976 (протртип).

2.Авторское свидетельство СССР

391763, кл. Н 05 К 13/02, 19.07.7 (прототип).

Фи&.г

фи.З