Кассета для упаковки плоских хрупких деталей Советский патент 1987 года по МПК B65D1/34 

Изобретение относится к технологическому оборудованию для массового производства изделий микроэлектроники, предназначено, в частности, для использования на различных технологических операциях, связанных с автоматическими приемом и выдачей хрупких плоских изделий, преимущественно шаблонов и полупроводниковых подложек.

Целью изобретения является повышение надежности упаковки деталей.

На фиг. 1 представлена кассета, общий вид; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1; на фиг. 3 - сечение Б-Б на фиг. 2; на фиг. 4 - положение детали в кассете; на фиг. 5 - положение носителя относительно детали при входе в паз кассеты; на фиг. 6 - положение деталей на носителе перед выгрузкой (загрузкой).

Кассета содержит торцовые стенки 1 с ручкой 2, боковые стенки 3, которь е находятся под углом, например 90°, друг к другу. Боковые стенки 3 имеют Г-образные выступы 4, выполненные со стороны окна загрузки 5, образованного боковыми стенками 3 и ложементами 6 для деталей 7 в виде поэтажно размещенных полок, образующих собственно держатель деталей. В выступах 4 выполнены пазы 8, количество которых определяется количеством ложементов 6. При этом пазы 8 в выступах смещены относительно плоскости ложементов 6 на величину, не превышающую толщину детали 7 (в противном случае деталь 7 выпадает). Ложементы 6 жестко закреплены между торцовыми стенками и параллельно оси окна загрузки 5, т.е. между боковыми стенками 3 и держателем деталей образован угол (окно), величина которого лимитирована размерами подложки.

На верхней торцовой стенке 1 укреплена ручка 2, обеспечивающая удобство переноса кассеты. Предложенная кассета может быть использована для проведения автоматизированных процессов с механизированной загрузкой (выгрузкой). Детали 7 извлекаются из кассеты носителями 9, установленными с возможностью вертикального и горизонтального перемещения от приводов (не указанных). Фиксирование кассеты в процессе ее загрузки (выгрузки) осуществляется по фиксирующим отверстиям 10 (в ответной части имеются щтыри).

Пример использования кассеты на операции отмывки деталей: процесс загрузки (выгрузки) осуществляют автоматически.

Включают привод (не указан) носителей 9, которые входят в окно, образованное ложементом 6 и дополнительными боковыми стенками 3 кассеты. Затем привод отключают. От другого привода (не указан) носители 9 вертикально поднимаются, приподнимая деталь 7 на уровень паза 8 в Г-об0

5

0

5

0

5

0

5

разном выступе боковой стенки 3. Затем включают привод носителей 9, посредством которых деталь 7 передается на позицию обработки, где осуществляют ее обработку (отмывку). В это время кассета опускается на один щаг. Носители вновь заходят в окно между боковой стенкой и держателем и т.д. Процесс разгрузки (выгрузки) повторяется.

С позиции обработки носителя 9, выполненные с зеркальным отображением носителей на разгрузке (выгрузке), подходят под деталь 7, приподнимают его, выгружают из держателя на операции обработки, после чего перемещают в кассету. Деталь 7 через пазы 8 в боковых стенках 3 поступает на держатель с ложементами 6. Носители 9 опускаются, опуская деталь 7 на ложементы 6, и посредством привода уходят в исходное положение. Процесс загрузки повторяется.

Выполнение боковых стенок под углом друг к другу обусловлено необходимостью исключения погрешности, вызванной непараллельностью их. Кроме того, возможно создание транспортного устройства, позволяющего транспортировать подложку за нерабочую часть. В случае параллельных боковых стенок сделать это не представляется возможным - устраняется эффект трения боковых поверхностей подложки с боковыми стенками кассеты, т.е. отсутствуют дополнительные источники пыли, что отражается на проценте выхода годных.

Выполнение в боковых стенках Г-образ- ных выступов обусловлено необходимостью надежного удержания подложек в кассете при транспортировке. Кроме того, выполнение Г-образных выступов позволяет транспортному устройству забирать подложку непосредственно из кассеты. Параллельные стенки этого сделать не позволяют, так как подложку захватить невозможно.

Выполнение пазов в выступах необходимо для разгрузки (загрузки) подложек из кассеты (в кассету). Смещение плоскости ложементов относительно пазов позволяет осуществить надежное удержание подложек в кассете при ее транспортировке.

Формула изобретения

Кассета для упаковки плоских хрупких деталей, содержащая торцовые и боковые стенки, образующие онно для загрузки, и 50 ложементы для деталей, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности упаковки деталей, боковые стенки кассеты расположены под углом одна к другой и имеют Г-образные выступы с пазами под детали со стороны окна загрузки, а ложементы закреплены между торцовыми стенками со смещением относительно пазов под детали на выступах.

55

ВаЪА

LW-r4 -- ----rr- - -lFrW J.

ВаЪА

Фиг.2

Изобретение относится к технологическому оборудованию для массового нроиз- водства изделий микроэлектроники и предназначено, в частности, для использования на различны.х технологических операциях, связанных с автоматически.м приемом и выдачей хрупких плоских изделий, преимущественно шаблонов и полупроводниковых подложек. Цель изобретения - повышение надежности упаковки деталей. Кассета содержит торцовые стенки 1 с ручкой 2 боковые стенки 3, которые находятся под углом, например 90°, одна к другой. Боковые стенки 3 имеют Г-образные выступы 4, выполненные со стороны окна загрузки 5, с пазами 8 под детали со смещением относительно плоскости ложемента 6 на величину, не превышающую толщину детали. Количество пазов 8 определяется количеством ложементов 6, которые жестко закреплены на боковых стенках 3 параллельно оси окна загрузки 5, т.е. между дополнительными боковыми стенками 3 и держателями деталей образовано окно. Фиксирование кассеты в процессе загрузки (выгрузки) осуществляется по фиксирующим отверстиям 10. 6 ил. с (Л со

Фиг.:5

ФигЛ

Фиг. 5

Фиг. б