(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНСШ
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Устройство для изготовления фотошаб-лОНОВ пЕчАТНыХ плАТ | 1979 |
|
SU847535A1 |
| Способ получения рисунков преимущественно печатных плат | 1980 |
|
SU951764A1 |
| Способ изготовления фотошаблона на галогенсеребряной фотопластине | 1985 |
|
SU1325396A1 |
| Способ репродукционной фотосъемки при изготовлении прецезионных фотошаблонов микроплат | 1989 |
|
SU1767471A1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА | 1982 |
|
SU1108901A1 |
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ ФОТОШАБЛОНОВ | 1971 |
|
SU309415A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ МЕТОДОМ ОБРАЩЕНИЯ И СОСТАВЫ ДЛЯ ПРОЯВЛЕНИЯ И ЧЕРНЕНИЯ | 1982 |
|
SU1083809A1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА ДЛЯ КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ С СУБМИКРОННЫМИ И НАНОМЕТРОВЫМИ ПРОЕКТНЫМИ НОРМАМИ | 2010 |
|
RU2470336C2 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ И ВОССТАНОВЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ГОЛОГРАММ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1991 |
|
RU2025760C1 |
| Микрофотонаборное устройство для изготовления фотошаблонов | 1972 |
|
SU447664A1 |
Изобретение относится к методам изготовления фотошаблонов печатных плат, интегральных схем и других приборов с использованием координатографов и может быть использовано в приборостроении,, электронной н радиопромышленности.
Известен способ изготовления фотошаблонов, включающий выполнение схемных элементов в увеличенном масштабе на фотооржпшале, фотографирование его с уменьшением на фотопленку 1.
Недостатком способа является его сложность, необходимость использования высокоточного оборудования.
Наиболее близким технически решением к предлагаемому является способ изготовления фотошаблонов, включающий позиционирование фотрпластины. относительно схемных злементов и их проецирование на фотопластину в уменьшенном масштабе, проявление фотопластины, позиционирование фотопластины относительно заготовки фотошаблона и экспонирование заготовки фотошаблона через фотопластину.
В способе создается библиотека схемных элементов, положение которых постоянно по отношению к установлешюй на фиксирсжаваое место заготовки фотошаблона.
При таком принципе построения бнблиотекн ;хемных элементов на промежуточном оригинале или библиотечном диапазоне-эталоне хранятся геометрические данные схемы: реперы фотошаблонов и гашупроводняковых пластин, конфнгурации резисторов, базовых, эквшер10ных коллекторных окон и т. п. Эти изображения проецируются через уменыианнцнй обьетстив на фотопластину поочередно и таким образом получается изофажение всего технологического слоя, которое используется как
15 уменьшенный оригинал для мультипликации 2.
Недостатком указанного способа являетсл низкая технологичность, вызваивая необходимостью последовательной взаимной юсти20ровки оси схемного элемента и центра выбранного участка фотопластины по тому же закоиу, по которому схемный элемент смещается меха низмом позиционирования, а также необходи- °
