Изобретение относится к микрозлектронной технике, в частности к производству полупроводниковых приборов.
К комплектам фотошаблонов предъявляют повышенные требования, так как допуски на размеры элемептов и расстоянпя между ними составляют 1-2 мк. Точность совмещения всех элемептов одного фотошаблона с соответствующими элементами других фотошаблонов не должна выходить за пределы установленных допусков. Следовательно, контроль и проверка взаимного расположения элементов на поле фотошаблона и размеров самих элементов в технологическом процессе изготовления фотошаблонов имеют первостепенное значение.
Известен способ контроля фотошаблонов, полученных после мультиплицирования, нри котором проверку размеров элементов и их взаимного расположения производят с номощью универсальных оптических приборов МИИ-4, ЧП-2, УИМ-23. Проверяемый фотошаблон устанавливают на микроскопе и производят замеры размещенных на фотопластине элементов проектируемой иитегральной схемы, после чего судят о точности полученного фотошаблона. Этот способ очень трудоемкий, так как на проверку каждого фотошаблона и особенно такого, который содержит 200 и более
элементов, затрачивается много времени.
Кроме того, недостатком способа является отсутствие точного контроля расположения
одного элемента фотошаблона относительно другого при совмещении комплекта фотошаблонов для фотолитографии.
Целью изобретения является ум -пьшеппе трудоемкости контроля фотошаблонов.
Для этого, согласно предложенному способу, на взаимно перпендикулярных осях белка-оригинала наносят прозрачные и непрозрачные квадраты, расстояние центрами которы.х берут равным шагу мультиплицирования, умноженному на масштаб белка-оригинала, а разность линейных размеров квадратов, располол-генных на каждой оси, берут равной удвоенному допуску на совмещение комплекта фотошаблонов, умноженному на
масштаб белка-оригинала. Точность полученного фотошаблона определяют но фигурам, получившимся в результате наложения изображений прозрачных и непрозрачных квадратов.
На фиг. 1 изображен белок-оригинал, с которого получают промел уточный фотошаблон, а затем в натуральных размерах окончательный фотошаблон; на фиг. 2 - участок правильно изготовленного фотошаблона; на
1к1Кк
тШ
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Способ изготовления цветоделенных цветокорректированных фотоформ и устройство для его осуществления | 1983 |
|
SU1167572A1 |
| Л ПАТЕНТНО- <^ I '" Та«НЧЕС1САЯ ^^ ; БИБЛИОТЕКА | 1966 |
|
SU185205A1 |
| Способ коррекции фотошаблона теневой маски для цветной электронно-лучевой трубки | 1985 |
|
SU1275359A1 |
| Устройство для изготовления фотошаб-лОНОВ пЕчАТНыХ плАТ | 1979 |
|
SU847535A1 |
| Способ изготовления шаблона | 1988 |
|
SU1788532A1 |
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПРЕЦИЗИОННОГО ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОГО РИСУНКА НА ЦИЛИНДРИЧЕСКУЮ ПОВЕРХНОСТЬ ОПТИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ И ПРИСПОСОБЛЕНИЕ ДЛЯ КОНТАКТНОГО ЭКСПОНИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2012 |
|
RU2519872C2 |
| Способ изготовления фотошаблона на галогенсеребряной фотопластине | 1985 |
|
SU1325396A1 |
| Устройство для контроля фотошаблонов | 1980 |
|
SU884179A1 |
| Фотошаблон для многослойной печатной платы | 1983 |
|
SU1112443A1 |
| Способ получения издательского оригинала исправлений топографической карты | 1982 |
|
SU1052867A1 |
Составитель В. Гришин Редактор Т. 3. Орловская Техред А. А. Камышникова Корректор О. И. Волкова
Заказ 2175/15Изд. № 953Тираж 473Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Фиг 5
3I
/L
/
Фиг
Mil
|№ %||jfe|. ililj
Фиг.2
