Криогенная форвакуумная ловушка Советский патент 1991 года по МПК F04B37/08 F04F9/06 

(Л

тмин

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность ловушки. Внутри дополнительной камеры (ДК) Ь расположен клапан (К) 7, закрепленный на стенке основной камеры (ОК) 4 при помощи сильфона (С) 8. Полость С 8 заполнена газом и в ней размещен резервуар (Р).9. На стенках Р 9 размещен адсорбент (А) 10 и полость Р 9 сообщена с полостью сосу да 1 Дьюара. При охлаждении ОК 4 и Р 9 охлаждается А 10 и давление внутри полости С 8 понижается. Это приводит к деформации С 8 и отводу К 7 от бокового окна (БО) 6 ДК 5. В этом положении ловушка готова к работе. При отогреве ловушки давление в полости С 8 повышается, К 7 перекрывает БО 6, что надежно тащищает попадание паров рабочих жидкостей вакуумных насосов в реципиент. 2 з.п.ф-лы, t ил. а «

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям охлаждаемых ловушек, предназначенных для защиты откачиваемых объемов от паров рабочих жидкостей вакуумных насосов.

Цель изобретения - повышение надежности ловушки.

На чертеже представлена схема ловушки.

Криогенная форвакуумная ловушка содержит сосуд 1 Дьюара, вертикальный вакуум-провод для прохода откачиваемого газа, выполненный и виде верхнего и нижнего соосных патрубков 2 и 3 и размещенной в сосуде 1 между патрубками 2 и 3 и герметично соединенной с ними основной камеры 4, и расположенную в последней с зазором дополнительную камеру 5 с боковым окном 6 и соосным ему клапаном 7, закрепленным на боковой стенке основной камеры 4 при помощи сильфона 8 с герметичной ннутренней полостью, заполненной газом. Ловушка дополнительно содержит расположенный в полости силь- фона 8 резервуар 9, сообщенный с сосудом 1, а также адсорбент 10, расположенный в полости сильфона 8 и размещенный на наружной поверхности резервуара 9.

Ловушка работает следующим образом.

Герметичная внутренняя полость сильфона 8 заполняется газом до давления, достаточного для герметичного перекрытия клапаном 7 бокового окна 6 дополнительной камеры 5. В этом состоянии лоьушка готова к работе.

В рабочем режиме в сосуд 1 заливается хладагент (жидкий азот), что обеспечивает охлаждение верхнего и нижнего патрубков 2 и 3 и основной

ел

4 Ю

и дополнительной камер 4 и 5, а также реэррнуара 9 и размещенного на его поверхности адсорбента 10, Охлаж дрние резервуара 9 и адсорбента 10 приводит к понижению давления газа в полости снльфона 8. Под воздействием упругих сил сильфона 8 клапан 7 открывает окно 6, обеспечивая возможность прохода откачиваемого газа по вакуутЛп роводу.

При отеплении ловушки вследствие повышения дтвления газа в полости сильфона 8 клапан 7. перекрывает окно 6, разделяя вакуумУтровод на две зоны и предотвращая миграцию паров рабоче жидкости вакуумного насоса, сконденсировавшихся в зоне нижнего патрубка 3 л зону верхнего патрубка 2, т.е.

н направлении реципиента, t

Таким образом, обеспечивается высокая надежность завдиты реципиента от паров рабочих жидкостей вакуумных насосов. Одновременно исключается попадание паров коды н зону нижнего патрубка, т«е. к вакуумному насосу.

0

5

Формула изобретения

с зазором дополнительную камеру с боковым окном и соосным ему клапаном, закрепленным на боковой стенке основной камеры при помощи сильфона с герметичной внутренней полостью, заполненной газом, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности, ловушка дополнительно содержит расположенный в полости сильфона резервуар, сообщенный с сосудом.

3.Ловушка по п.2, о т л и ч а к - щ а я с я тем, что адсорбент разме- щен Hd наружной поверхности резервуара.