Коллимирующий монохроматор рентгеновского излучения Советский патент 1981 года по МПК G21K1/06 

Описание патента на изобретение SU873281A1

(54) КОШ1ИМИРУЩИЙ МОНОХРОМАТОР РЕНТГЕНОВСКОГО Изобретение относится к рентгенсГструктурному анализу,а более конкретн к монохроматорам рентгеновского излу чения . Известны монохроматоры рентгеновс кого излучения, содержащие плоский монокристалл и щелевую диафрагму,установленную по ходу отраженного от монокристалла рентгеновского пучка ul Известен также коллимирующий моно хроматор расходящегося рентгеновского пучка, выполненный в виде- изогнутого монокристалла, установленного относительно фокуса источника таким образом, что от него отражается параллельный пучок рентгеновских излучения Г21. Однако известные монохроматоры не обеспечивают высокой степени монохро матизации и коллимации рентгеновского изпучения. Наиболее близким техническим решением является устройство для монохроматизации рентгеновского излучения ИЗЛУЧЕНИЯ (Содержащее два последовательно расюложенных по ходу рентгеновских пучка плоских монокристаллов, используемое в трехкристальных рентгеновских спектрометрах Сз. Недостатками данного устройства являются: потеря интенсивности излучения в результате коллимации, причем, при последовательных отражениях от плоских кристаллов, интенсивность практически падает во столько раз, во сколько пучок становится близким к параллельному; высокие требования к точности и ориентировке атомных плоскостей кристаллов; высокие требования к взаимной юстировке используемых кристалл-монохроматоров. Цель изобретения - повьшение интенсивности пучка. Поставленная цель достигается тем, что в коллимирующем монохроматоре рентгеновского излучения, содержащем два последовательно расположенных по ходу рентгеновского пучка монокристалла, монокристаллы выбраны таким образом, что угловой диапазон дифракции первого монокристалла u.-t меньше углового диапазона дифракции второго монокристалла и , причем второй монокристалл выполнен изогнутым и установлен таким образом, что (V3) R - адиус изгиба в.торого монокрис.талла; i - расстояние от мнимого точечного источника рентгеновского излучения до второго монокристалла по центральному лучу отраженного пер вым монокристаллом пучка; f и направляющие косинусы падающего на второй монокристалл и отраженного от него центрального луча пучка рентгеновского излучения соответственно. На чертеже изображен коллимируюпщй монохроматор. Коллимация узкого пучка рентгенов ких лучей осуществляется следующим образом. На плоско-параллельный монокриста i с асимметричным отражением падает пучок рентгеновского излучения от. и точника S (острофокусная; трубка,ширина фокуса - 20 мк) . В результате дифракционного отражения от кристал ла 1 пучок попадает на изогнутый мо кристалл 2, Отраженный от первого монокристалла пучок имеет угловую и спектральную расходимости,, соотве ствующие угловому диапазону дифракц для данного дифракционного отражени f г , что эквивалентно наличи мнимого точечного источника . Вт ,рой изогнутый монокристалл 2 установлен таким образом, что Я|Ьо То 1Го-Г)1 где В - радиус изгиба кристалла 2; . -j расстояние от мнимого и точника S .до кристалла 2 по цент ральному лучу рентгеновского пучка; То и j-Vi - направляющие косинусы падающего на монокристалл 2 и отраженного от него центрального луча рентгеновского пучка. При этом от монокристалла 2 с ориентацией атомных Плоскостей ( 2) отражается строго параллельный пучок рентгеновс кого излучения. Существенно,что если выполняется условиел,, Ч & , отражение происходит без потери интенсивности излучения, отраженного от кристалла 1, Дифракционное уширение отражаемого от монокристалла 2 рабочего пучка определяется выражением)Предлагаемый монохроматор также позволяет увеличить интенсивность рабочего пучка в узком угловом интервале, тем самым сокращая время эксперимента по сравнению с двух(трех) кристальными коллиматорами с плоскими монокристаллами., Пример реализации. Для коллимации рентгеновского пучка использована схема, двухкристального рентгеновского спектрометра. Плоский монокристалл 1 кремния ориентирован так, что на нем происходит асимметричное отражение Су и плоскости (422) (лараметр асимметрии Ь 0,1). Угло- ва.й ширина пучка, отраженного от монокристалла 1, равна 4x10 рад., что |Соответствует расстоянию oLo от мнимого источника S до кристалла 2, равному 50 м, -при расстоянии дейст)зительный источник S - кристалл 1, равном 49,8 см, и расстояния от монокристалла 1 до монокристалла 2, равном 20 см (все расстояния берутся по центральному лучу). Отраженный от монокристалла 1 пучок падает на изогнутый по цилиндру монокристалл 2 с радиусом изгиба Р 2 , 42 м, ориентированный таким образом, что центральному лучу Э соответствует симметричное брэгговское отражение 422. Монокристалл 2 представляет высоко совершенный монокристалл кремния. В резух1ьтатв второго отражения угловой интервал рабочего пучка определяется дифракционным уширёнием S 4 0,2xlOt т.е, на. порядок меньше, чем область отражения от монокристалла 1. При этом отражение от монокристалла 2 происходит без потери интенсивности, поскольку В двухкристального спектрометра с двумя последовательными симметричным (422) и асимметричным (422) отражениями от плоских монокристаллов параметр асимметрии Ь 0,1, излучение, трубка БСВ-19, напряжение 25хв, ток 10 m А) получено, 55 Р абсолютной коллимации пучка 4 3x10 отношение числа квантов, отраженньпс вторым монокристаллом Мл -Л-)| к числу к вантов, отражен. - -/ч -ИШЧ ных первым монокристаллом N , составляет г 0,10-0,1 2 (при различных величинах входной щели спектрометра). В предложенном коллимирующем монохроматоре при тех же параметрах коллимации пучка это отношение составляет величину Р 0,56-0,85 Р 1АО-145 м). Формула изобретения Коллимирующий монохроматор рентгеновского излучения, содержащий два последовательно расположенных по ход рентгеновского пучка монокристалла, отличающийся тем, что, с целью повьшения интенсивности пучка, монокристаллы выбраны таким обра зом, что угловой диапазон дифракции первого Монокристалла (&,() меньше углового диапазона дифракции второго монокристалла (Aj ) i причем второй монокристалл выполнен изогнутым и установлен таким.образом, что . R/ о-Го(Го-Ть) где R - радиус изгиба второго монокристалла , Ьд - расстояние от мнимого точечного источника рентгеновского излучения до второго монокристалла по центральному лучу отраженного первыммонокристаллом пучка; Т о Т} 3 правляющие косинусы падающего на второй кристалл и отраженного от него центрального луча пучка рентгеновского излучения соответственно. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Хейкер Д. М, Рентгеновская дифрактометрия монокристаллов Л., Машиностроение, 1973 с.40-43, 2.Патент США 3982127,250-273, опублик. 1976. 3.Ковальчук М. В, и др. Трехкристальный рентгеновский спектрометр для исследования структорного совершенства реальных кристаллов - ПТЭ,. 1976, № 1, с. 195 (прототип).

Похожие патенты SU873281A1

название год авторы номер документа
Способ исследования структурного совершенства поверхностного слоя монокристалла 1980
  • Афанасьев Александр Михайлович
  • Александров Петр Анатольевич
  • Имамов Рафик Мамед-Оглы
  • Ковальчук Михаил Валентинович
  • Лобанович Эдуард Францевич
  • Фалеев Николай Николаевич
  • Болдырев Владимир Петрович
SU894500A1
Способ коллимации и монохроматизации рентгеновского излучения 1988
  • Кондрашкина Елена Андриановна
  • Степанов Сергей Александрович
  • Новиков Дмитрий Владимирович
SU1547036A1
Рентгенодифракционный способ исследования структурных нарушений в тонких приповерхностных слоях кристаллов 1984
  • Афанасьев Александр Михайлович
  • Афанасьев Станислав Михайлович
  • Завьялова Анна Аркадьевна
  • Имамов Рафик Мамед Оглы
  • Ломов Андрей Александрович
  • Пашаев Эльхан Мехрали Оглы
  • Федюкин Сергей Алексеевич
  • Хашимов Фаррух Рахимович
SU1257482A1
Рентгеновский спектрометр 1979
  • Чуховский Феликс Николаевич
  • Гильварг Александр Борисович
  • Глазунов Вячеслав Николаевич
SU842522A1
Способ определения структурных характеристик тонких приповерхностных слоев монокристаллов 1983
  • Александров Петр Анатольевич
  • Афанасьев Александр Михайлович
  • Головин Андрей Леонидович
  • Имамов Рафик Мамед Оглы
  • Миренский Анатолий Вениаминович
  • Степанов Сергей Александрович
  • Шилин Юрий Николаевич
SU1103126A1
Способ определения локальных и средних рентгенооптических характеристик монокристаллов 1981
  • Коган Михаил Тевелевич
  • Шехтман Виктор Михайлович
SU1057823A1
Способ контроля поверхностного слоя полупроводникового монокристалла и трехкристалльный рентгеновский спектрометр для осуществления способа 1980
  • Афанасьев Александр Михайлович
  • Завьялова Анна Аркадьевна
  • Имамов Рафик Мамед-Оглы
  • Ковальчук Михаил Валентинович
  • Лобанович Эдуард Францевич
  • Болдырев Владимир Петрович
SU894501A2
РЕНТГЕНОВСКИЙ РЕФЛЕКТОМЕТР 1999
  • Турьянский А.Г.
  • Пиршин И.В.
RU2166184C2
Способ измерения периода решеткиМОНОКРиСТАллОВ 1979
  • Ковальчук Михаил Валентинович
  • Ковьев Эрнст Константинович
  • Имамов Рафик Мамед Оглы
SU828041A1
Рентгеновский спектрометр дляСиНХРОТРОННОгО иСТОчНиКА излучЕНия 1979
  • Афанасьев Александр Михайлович
  • Имамов Рафик Мамед-Оглы
  • Ковальчук Михаил Валентинович
  • Ковьев Эрнст Константинович
  • Миренский Анатолий Вениаминович
  • Семилетов Степан Алексеевич
  • Шилин Юрий Николаевич
SU817553A1

Иллюстрации к изобретению SU 873 281 A1

Реферат патента 1981 года Коллимирующий монохроматор рентгеновского излучения

Формула изобретения SU 873 281 A1

SU 873 281 A1

Авторы

Чуховский Феликс Николаевич

Суходольский Владимир Васильевич

Гильварг Александр Борисович

Габриелян Карен Терханович

Петрашень Павел Васильевич

Даты

1981-10-15Публикация

1980-01-21Подача