Способ изготовления металлических трафаретных печатных форм Советский патент 1981 года по МПК B41C1/14 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ

ТРАФАРЕТНЫХ ПЕЧАТНЫХ ФОРМ Изобретение относится к радиоэлектро нике, в частности к изготовлению трафаретных форм повышенной разрешающей способности, предназначенных для формирования рисунка формы по толстопленочной технологии в производстве гибридных интегральных схем, а также плат печатного монтажа на нефольгированном диэлектрическом основании с помощью токопроводящих печатных паст. Известен способ изготовления металли ческих трафаретных печатных форм, заключающийся в последовательном получении на металлической подложке рисунков формы и растра путем формирования изображения из фотокопировального слоя и электрохимического осаждения металла с последующим удалением остаткод, копировального слоя и отделении подло/пки от изготовленной формы 1|. К недостатком названного способа следует отнести использование в качестве материала трафаретной формы металлического покрытия меди и никеля с прочностью на разрыв 40 кгс/мм, не обеспечивающей требуемой тиражестойкости формы, а также,боковое разрастание электрохимически осажденного металлического слоя (медьникель) в рисунках растра и формы вследствие использования жидкого фотокопировального материала, не обеспечивающего толщину слоя, сопоставимую с толщиной металличё ких слоев в рисунках растра и формы, кроме того, необходимость химического осаждения меди с целью создания проводящей поверхности для электрохимического осаждения металлического рисунка растра, усложняет процесс изготовления формы, требует применения драгоценного металла в качестве активатора химического меднения, является потенциальной причиной брака при последующем вытравливании химически осажденного слоя меди за счет высокого коэффициента подтравливания. Цель изобретения - упрощение способа и повышение качества изготавливаемых форм. Поставленная цель достигается тем, что в способе изготовления металлических трафаретных печатных форм, заключающемся в последовательном получении на металлической подложке рисунков формы и растра путем формирования изображения из фотокопировального слоя н электрохимического осаждения металла с последующим удалением остатков копировального слоя и от деления подложки от изготовленной формы, получение на металлической подложке рисунка растра осуществляют перед получением рисунка формы и после получения рисунка растра осуществляют предварительное удаление остатков фотокпировального слоя, при этом в качестве металла для электрохимического осаждения используют никель-кобальт, а в качестве материала для фотокопировальных слоев - фотокопироваль ный пленочный материал. На чертеже показана последовательность операций. Пример. На подложке 1 (см. чертеж), изготовленной из стали 1XI8H9T размером, 250x250 мм с чистотой поверхности 87-9, фотохимическим методом формируют копию растра 2. В качестве фотокопировального материала используется СПФ-2-20, позволяющий создавать растр с диаметром ячеек 100 мкм и перемычками 50-60 мкм. Металлический рисунок растра 3 создается осаждением сплава никель-кобальт с содержанием кобальта 20-25 вес. % до уров яя фоторезиста при плотности тока 3-.4 A/дм температуре 60°С и рН 3,3-3,8 иа сульфоматного электролита состава, г/л: Сульфаминокислый никель. 316 Сульфаминовокислый кобальт73 Никель хлористый2-4 Борная кислота30-40 Сахарин0,1 Лаурисульфат натрия0,7-1,0 Далее удаляют фотокопировальный слой 4 в хлористом метилене и осуществляют формирование копии рисунка формы 5 с помощью фоторезиста СПФ-2-40 или СПФ2. 60 толщиной мкм. Металлический рисунок формы 6 создают электрохимическим осаждением сплава никель-кобальт до уровня фотокопировального слоя из указанного электролита, удаляют фотокопировальный слой и снимают трафаретную форму 7 с подложки 1.: Применение предлагаемого способа позволяет изготавливать металлические печатные трафаретные формы толщиной 5070 мкм с линиями 50-60 мкм, четкой кром кой и повыщает качество трафаретной печатной формы за счет использования при ее создании высокопрочного сплава никелькобальт, что позволяет использовать их в работе с токопроводящими металлонаполненными печатными красками, обладающими абразивными свойствами, улучщает качество печатной формы устранением боковового разрастания при электрохимическом наращивании рисунков растра и формы за счет применения пленочного фотокопировального материала толщиной, соизмеримой с толщиной формируемых слоев рисунка растра и формы, упрощает процесс изготовления трафаретной печатной формы исключением операции химического осаждения меди вследствие того, что формирование рисунка растра предшествует созданию рисунка формы. Формула изобретения Способ изготовления металлических трафаретных печатных форм, заключающийся Э последовательном получении на металлической подложке рисунков формы и растра путем формирования изображения из фотокопировального слоя и электрохимического осаждения металла с последующим удалением остатков копировального слоя и отделении подложки от изготовленной формы, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа и повыщения качества изготавливаемых форм, получение на металлической подложке рисунка растра осуществляют перед получением рисунка формы и после получения рисунка растра осуществляют предварительное удаление остатков фотокопировального слоя, при этом Б качестве металла для электрохимического осаждения используют никель-кобальт, а в качестве материала для фотокопировальных слоев- фотокопировальный пленочный материал. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе I. Патент ФРГ № 2050285, кл. В 41 С 1/15, 1973 (прототип).