(54) ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Тензопреобразователь | 1982 |
|
SU1073560A1 |
| Способ корректировки фотошаблонов при изготовлении резисторов на кристаллах | 1980 |
|
SU964490A1 |
| Способ изготовления тензометрического преобразователя | 1978 |
|
SU769370A1 |
| Полупроводниковый тензопреобразователь | 1983 |
|
SU1138750A1 |
| Способ настройки интегральных тензометрических мостов | 1988 |
|
SU1627826A1 |
| Способ изготовления тензометрического чувствительного элемента | 1982 |
|
SU1060933A1 |
| Тензометрический преобразователь давления и способ его изготовления | 1989 |
|
SU1615584A1 |
| Интегральный тензопреобразователь | 1989 |
|
SU1672244A1 |
| ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК СИЛЫ | 2003 |
|
RU2249189C1 |
| Интегральный тензодатчик | 1983 |
|
SU1097893A1 |
t
Изобретение относится к измерительной технике и может быть испольэовано при конструировании датчиков давления.
Известен тензометрический преобразователь, содержащий активные и балансировочные резисторы, соединенные в мостовую схему 1.
Недостатком этого устройства является то, что создание омического контакта металлизации производится через окна, расположенные на балансировочных резисторах, что ведет к увеличению температурной погрешности измерений.
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является тензометрический преобразователь, содержащий упругий элемент в виде мембраны с диффузионными тензорезисторами, соединенными по мостовой схеме, и диффузионные калибровочные резисторы, обеспечивающие балансировку мостовой схемы 2.
Недостатком указанного преобразователя является расположение окон (участков) под металлизацию непосредственно на калибровочных резисторах ( в зоне прохождения электрического тока), что снижает точность измерений.
Цель изобретения - повышение точности измерения.
Указанная цель достигается тем, что каждый калибровочный резистор снабжен приливом, а окно под метгшлизацию выполнено в этом приливе.
На чертеже изображен предлагаемый
10 преобразователь.
Устройство содержит упругую мембрану 1, на которой размещены диффузионные тензорезисторы R1, R2, R3 и R4, соединенные в мостовую схему, 15 и диффузионные калибровочные резисторы, представляющие собой магазин сопротивлений R5 - R8 и R9 - R12. Каждый калибровочный резистор снабжен приливом 2 внутри которого рас20положено окно 3 под металлизацию. Кроме того, калибровочные резисторы металлизированными перемычками 4-8 и 9-13.
Преобразователь работает следую25щим образом.
Начальная балансировка нуля мостовой схемы производится путем перерезания метсшлизированных перемычек 4-8 и 9-13, причем в то или иное 30 плечо схемы подключается необходи
