Устройство для стабилизации температуры резистивных испарителей Советский патент 1981 года по МПК G05D23/19 

Изобретение относится к приборостроению, в частности, к устройствам стабилизации температуры нагретых тел в вакууме, например резистивных испарителей, при меняемых в вакуумной технологии для получения пленочных покрытий. По о ;новному авт. св. № 618729 известно устройство, содержащее источник тока накала испарителя источник постоянного напряжения и металлический электрод, подключенный к положительному полюсу исгочтшка постоянного напряжения . отрицательный полюс которого подключен к резистивному испарителю, являющемуся вторым электродом 1. Однако известное устройство обладает ограниченным двапазонсм рабочих температур испарителя, а также дополюггельным расходом МОЩНОС1-И. Цель изобретения - расширение области применения устройства. Поставленная цель достигается тем, что устройство содержит соединенные послед жательно блок формирования сигнала ошибки и установленный в цепи накала испарителя регулятор тока, причем вход блока формирования сигнала ошибки подключен к источнику постоянного напряжения. На чертеже приведена блок-схема предагаемого устройства. Устройство содержит резистивный испаритель 1, источник 2 тока накала, металлический электрод 3, источник 4 постоянного напряжения, блок 5 формирова,ния сигнала, ошибки и регулятор 6 тока. Устройство работает следующим обраПри отборе электроде 3 амвттирова ных испарителетд 1 электронов появляется электрический сигнал, зависящий от температуры испарителя, в цепи электрода 3 и источника 4 постоянного напряжения, этот сигнал попадает в блок 5 формирования сигнала: ошибки, где сравнивается с , сигналом задания и преобразуется в СИРнал разбаланса. Далее сигнал разбаланса попадает в устройство 6 регулирования

тока, воздействуя на с чему регулятора он обходимым изменениям испарителя.

В связи с тем, что в предлагаемом устройстве ток эмкссин электронов можно выбрать значительно ниже, чем по извест нему (яаменен T®NmepaTypbi испарителя осуществляется непосредственно изменен ем тока накала испарителя), снижается потребляемая мошиость. За счет снижения тока эмиссии снижается нижний предел рабочих температур устройства, т.е. расширяется диапазон рабочих температур уст ройства.

Формула изобретения

Устройство для стабилнэашш темпера туры резистивных испарителей по авт. св. № 618729, отличающееся тем, что, с целью расширения области применения устройства, оно содермоп сое диненные последовательно блок формирования ошибки и установленный в цепи накала испарителя регулятор тока, причем вход блока Армирования изгнала ошибки подключен к источнику постоянно го напряжения.

Источники информации,

принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР NO 618729, кл. G 05D 23/19, 1978.