Способ обработки электровакуумных приборов Советский патент 1982 года по МПК H01J9/04 

(Sk) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ Изобретение относится к технологии изготовления электровакуумных приборов (ЭВП) , в которой предусмотрена или целесообразна обработка откачиваемого прибора с напуском водорода в откачиваемый прибор. Такая обработка позволяет провес ти дополйительную финишную очистку внутренних поверхностей прибора от загрязнений, что приводит к повышению стабильности параметров (в первую очередь параметров катода на сроке службы). Кроме того, обработка прибора с напуском водорода позволяет в ряде случаев сократить вре мя обезгаживания приборов на посту. Известны способы обработки ЭВП с напуском водорода в откачную систему, когда всэдород напускается непрерывно разбавляя атмосферу откачиваемых газов, или порциями Г21, периодически вымывая выделяю щиеся газы. ПРИБОРОВ Эти способы широко распространены, но они не обеспечивают достаточную воспроизводимость эмиссионных параметров катодов, поскольку напускаемый водород расходуется, главным образом, на очистку откачной системы и лишь частично на очистку откачиваемого прибора, при этом продукты реакции (водяные пары, летучие окислы) могут попадать на обрабатываемый катодИзвестны способы обработки ЭВП путем пропускания из источника водорода сквозь прибор на этапе откачки Прибор специально приспособлен для такой технологии, имеет два штенгелй: сквозь один из них водород вводится в прибор, сквозь другой откачивается, очищая таким образом сначала поверхности прибора, а затем уже поверхности откачной системы З Воспроизводимость эмиссионных параметров катодов обрабатываемых приборов возрастает, но на уровне вы38соких параметров она остается недостаточной, т.е. полностью очистить прибор удается не всегда. .u3 того наличие дзух штенгелей увеличивает габариты прибора и соответстЕенно, снижает (Троцент выхода их по герме тичностИ; укелимивает стоимость прибора, расход waгериалов и т„До Для осушествления этого способа необходим с ткачные посты со специальной конструкцией гребенки 3 имеющей по два гнезда под каждый откачиваемый прибо штангели от прибора удлинены и изог нуты, что увеличивает сопротивление вакуумпровода и, соответственно, удл няет время откачки. Затруднена также напайка и отпайка прибора на посту Приборы, имеющие только один штенгель, обрабатывать известным способом нельзя Целью изобретения является повы шение стабильности эмиссионных параметров прибора и упрощение технологии откачки. Поставленная цель достигается те что согласно способу обработки ЭБП путем пропускания водорода из источ ника водорода сквозь прибор на этапе откачки источник водорода вводят в прикатодное пространство прибора и выводят из него после окончания обработки. Предлагаемый способ осуществляет ся на крупногабаритных приборах,тех нология изготовления которых преду„:-;атривает бесштенгнельную (камерi-:y;o; откачку,; вводя генератор водо pO;4d ,:. прикатодное пространство об psoav.iir.raro прибора, которое наход -Г|С,; ,мея.:ду катодом и ближайшим электродом от него, а затем извлекай генератор после окончания обработки. Осус:.:. :-.;ггь .;;:гд.пагаемый способ мож;:- Idiu.o .:.: ;;.о;;.ством предварител кого насыщения деталей катодного узла водородом, который, выделяясь при термической обработке узла, спо co6ctByeT очистке прибора в целом. Однако такое решение не всегда опти мально из-за плохой управляемости процессом и трудностями контроля (в деталях узла трудно запасти коли чество водорода, достаточное для обработки прибссд, :Jдeлeниe водоро во времени спадза/ не обеспечивая необходимого режу-ма очистки, а после окончания сб::;зботки неизвестно СКОЛЬКО водорода еще осталось в деталях узла). Наиболее предпочтительным является такое осуществление предлагаемого способа, когда водород впускают в прикатодное пространство через открытый конец трубки, соединенной с источником водорода, которую вводят в прибор на период обработки через откачной штенгель и выводят после проведения обработки В данном способе значимость операций, очистки поверхностей различна и последовательна - сначала и в большой степени очищается прикатодное пространство, затем и в меньшей степени - другие электроды и оболочка прибора и наконец - вакуум-провод откачной системы. При использовании напуска водорода сквозь трубку удалось обрабатывать с лучшим качеством приборы, имеющие всего один штенгель, т.е распространить технологию с потоком водорода на приборы, для которых такая технология не предназначена. Таким образом, несущественно изменив скорость откачки (заполнением части пространства штенгеля), можно расширить номенклатуру приборов, обрабатываемых по прогрессивной технологии, а в приборах, испс)льзующих ее, снизить габариты и улучшить качество, удалив второй (ставший ненужным) штенгель„ Выполнение требования - впускать водород в прибор именно через открытый конец трубки, позволяет легко управлять потоком водорода, расположив нагреваемый диффузионный натекатель за пределами гнезда гребенки. Пример. Предлагаемый способ опробовался на модернизированном откачном постуо .Суть модернизации заключается в использовании водородного натекателя, состоящего из трубки, открытым концом вводимой в прибор, а другим укрепленной на основании нагреваемого элемента., сквозь который пропускается сетевой водород Посредством сильфона трубка может перемещаться внутри штенгеля откачиваемого прибора Способ осуществляется в следующей последовательности Устанавливают прибор на пост При этом трубка натекателя находится внутри гнезда гребенки и не мешает напайке Длина штенгеля прибора выбирается

такой, чтобы при вдвинутой трубке ее открытый конец попадал в прикатодную область прибора. Включают насосы и проводят откачку по заданному режиму. Сжимают сильфон и вводят трубку своим открытым концом внутрь .прибора, в его прикатодную область. Включают нагрев натекателя водорода и устанавливают поток (в нашем случае контроль его осуществляется по заранее проградуированной зависимости потока от мощности нагрева). Осуществляют обработку прибора (с прогревом под печью, обезгаживанием электродов, активированием и т.д.) согласно технологической карте на прибор. Разжимают сильфон, удаляя трубку из прибора и штенгеля„ Производят отпай прибора с поста.

Предлагаемый способ позволяет повысить воспроизводимость эмиссирнных параметров от прибора к прибору и увеличить их срок службы при отборе тока повышенной плотностио

Формула изобретения

Способ обработки электровакуумных приборов путем пропускания водорода из источника водорода сквозь прибор на этапе откачки.отличающийся тем, что, с цепью повышения стабильности эмиссионных параметров прибора и упрощения технологии откачки, источник водорода вводят в прикатодное пространство и выводят из него после окончания обработки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Подкопаева Н.Н, и др. Влияние среды в процессе разложения карбонатов на свойства око1дных катодов. Электронная техника, сер, k, i373 вып. 1, с, 76-87.

. 2. Патент Великобритании 1Г852750, кл. 39(1), опублик. I960.

3. Киселев А.Б. и др. О применени водорода при откачке Э8П с оксидным катодом. Электронная техника, сер. 1, 1377, с. 80-89 (прототип).