В магнитном электронном микросконе используются, как нравпло, объективы, состоящие из двух ферромагннтиых башмаков с одной немагнптпоЛ щелью. Прн ностеиенлом увеличении намагничивающего тока такой объектив создает иервое изображение на промежуточном экране микроскопа. Прн дальнейшем увеличении тока ноявляютоя последующие изображения. Однако, уже вторым изображением нрактически не нользуются, так как оно возникает при больших- намагничивающих токах и недостаточно высокого качества.
Онисываемый объектнв нмеет несколько щелей нз немагнитного материала, причем первое изображение возникает нрп меньшем намагничивании и с меньшим увеличением, чем у однощелевого нри той же конструкции ступени увеличения объектива мнкроскона. Изобранхения ноявятся нри меньших амнервнтках намагннчивающего тока, чем у однощелевого объектива и с большим увеличением. Прн этом разрешаютная сиособность повышается.
Схема получения изображения с применением многощелевого нолюсного иаконечипка предлагаемого объктпва приведена на чертеже, где U, б. в,.,.з, и-немагнитные зазоры в мпогощелевом наконечнике; J. 2,...п. п-г 1 - электронные тгзображення; КЛ-корпус лннзы; ОЛ-обмотка лнпзы; О-объектив; ПЭ-пучок электронов.
При тех же увеличениях, что и у однощелевого наконечника с применением многощелевого, представляется возможным сделать внутренний канал более широким, что позволяет увеличить перемещение объекта внутри наконечннка и, следовательно, расширить нлощадь нсследуемой в микроскопе поверхности объекта.
Предмет изобретения
Объектив магнитного электронного микроскопа, отлнчающнйся тем, что. с целью регулнрования увеличения нутем изменения тока нодЛ 51046--- 2 -. Maj-mi4)UiainiH. применяются полюсные наконечники лями пз немагнитного материала. с несколькими ще
ЯЛ ПЭ
