Способ осуществления несамостоятельного разряда Советский патент 1982 года по МПК H01J17/00 

го ВЧ разряда при различных плотностях .тока электронного пучка,

В качестве рабочего газа используют, например, азот при давлении 90 Тор, ионизирующее излучение осуществляет пучок электронов с энергией 100 кэВ и с плотностью тока 1-10 мкА/см, а частота высококачественного напряжения 7-8 МГц. Сущность изобретения заключается в том, что замена постоянного поля на высокочастотное с указанными выше характеристиками устраняет пррэлектродные слои в плазме, являющиеся областями самостоятельной ионизации и выполняющими роль эмиттера заряженных частиц. Дело в том, что при ,:Не успевает произойти экранировка приложенного напряжения/ вызванная дрейфом электронов, приводящих к формированию катодного слоя. ЗначениеЯ зависит от амплитуды прикладаемого высокочастотного напряжения, мощности внешнего ионизатора, давления и состава газа. Причем с повышением газового давления условия для выполнения неравенства облегчаются из-за увеличения С, При устранении приэлектродных слоев устраняются предпосылки для зарождения приэлектродных неустойчивостей в плазме, а также области повышенного паразитного энерговыделения .

Экспериментальная проверка предлагаемого способа осуществляется в чистом азоте при давлении 90 ТОр. Один из электродов разрядной камеры есть выходным окном ускорителя электронов. Пучок электронов с энергией 100 кэВ вводится в камеру чере алюминиевую фольгу то пциной 20 мкм. Диаметр электродов составляет 40 мм расстояние между ними - 30мм. К электродам прикладывается переменное напряжение частотой 7,5 МГц. Длительность импульса тока электронного ускорителя составляет на полувысоте импульса 600 мкс.

На чертеже приведены начальные участки вольт-амперных характеристик несамостоятельного ВЧ разряда, полученные при различных плотностях тока электронного пучка (jy,) вместе с начальными участками аналогичных характеристик несамостоятельного разряда в постоянном поле, полученными при близких значених тока электронного пучка. Как видно из сравнения кривых, при близких плотностях тока электронного пучка величина тока ВЧразряда значительно превосходит величину тока разряда в постоянном поле.

Формула изобретения

1. Способ осуществления несамостоятельного разряда с электронной проводимостью в газах, заключакяцийся в подаче напряжения на катод и анод

разрядной камеры и воздействии на

рабочий газ внешнего ионизирующего излучения, отличающийся, тем, что, с целью повышения удельной мощности разряда и его стабильности, на электроды разрядной камеры подают высокочастотное напряжение с периодом меньшим времени формирования катодного слоя.

2. Способ по П.1, отличающ и и с я тем, что, в качестве рабочего газа используют азот при давлении 90 Тор, ионизирующее излучение ос тцествляет пучок электронов с энергией 100 кэВ и с плотностью

тока 1-10 мкА/см, а частота высокочастотного напряжения 7-8 МГц.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1). В.Л. Грановский. Электрический ток в газе, М., Наука, 1971, с. 47-98.

2). Б.П.Велихов, В.Д.Письменный, А.Т.Рахимов. Несамостоятельный газовый разряд, возбуждающий непрерывные COi-лазеры. Успехи физических наук, т.122, 1977, с.419 (прототип).

,

о.г