Способ контроля герметичности Советский патент 1982 года по МПК G01M3/02 

(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ

t

Изобретение относится к испытательной технике, в частности к контролю герметичности замкнутых изделий.

Известен способ контроля герметичности замкнутых изделий, заключaJO цийcя в том, что испытуемое изделие помещают в контрольную камеру, вакуумируют ее, соединяют камеру с датчиком давления и о герметичности изделия судят по уровню давления в систетле измерения, достигаемому к . моменту завершения откачки 11}.

Данный способ имеет ограничение по верхнему пределу обнаруживаемых течей в неге метичных изделиях. Это вызвано тетл, что через крупные дефекты газ откачивается практически

сразу.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому эффекту является способ контроля герметичности замкнутых изделий, например полупроводниковых приборов, заключакйцийся в том, что испытуемое изделие опрессовывают при повЕ шенном давлении пробного газа, выдеркивают изделие на воздухе для десорбции пробного газа с поверхности изделия и помещают его в контрольную камеру для последуклцей, индикации пробного

газа, вытекающего из. изделия,с помощью масс-спектрометрического анализатора 2. .

Этот способ обладет высокой чувствительностью при поиске малых течей, но не позволяет выявлять изделия с большими течами, так как пробный газ успевает вытечь из изделия до помещения его в контрольную камеру за

10 время, необходимое для десорбции пробного газа с поверхности изделия после опрессовки.

Цель изобретения - расширение Диапазона выявляемых утечек в сторону

15 больших течей.

Эта цель достигается тем, что в способе контроля герметичности замкнутых издели а, например полупроводниковых приборов, заключающимся в

20 том, что испытуемое изделие опрессовывают при повышенном давлении пробного газа, выдерживают изделие на воздухе для десорбции пробного газа с поверхности изделия и помещают его

25 в контрольную камеру для последующей индикации пробного газа, непосредственно перед помещением в контрольную камеру испытуемого изделия подвергают его дополнительной крат30ковреаленной опрессовке в пробном газе при давлении 0,1-5 атм в течение времени 1-15 с.

Способ осуществляется следуквдим образом.

Замкнутые изделия спрессовывают при повышениом давлении (to 48 ч.

5 атм)

РО атм; или t., J ч, р Затем изделия выдерживают на возду.хе, как правило, не менее 10 мин для десорбции с их поверхности пробного газа. Через большие течи проб- ный газ за это время теряется из изделия. Поэтому непосредственно перея помещением в контрольн камеру испытуемое изделие подвергают детюлнительной кратковременной опрессовке в пробном газе при давлеяая 0,1-5 атм в течение времени i15 с. Затем изделие помещают в контрольную камеру для индикации пробного газа, вытекающего из негеряметйчного изделия.

Указанный режим дополнительной опресоовкн обеспечивает надежное пройикновение провяого газа в изделия с грубьмн течами и в то же время величина потоков десорбции пробного газа сразу после опрессовки незначителна и кемешает достижеишо тзсокой чувствительности исгштавий Это дает возможность ие аьвдерживать на BOSдухе изделия после дополнительнсйй опрессовки, а пехметцать их в контрольную камеру, сводя к минимуму потери пробного газа из изделия через грубые течи.

Благодаря дополнительной опрессовке существенно расширяется диапазон выявляемых утечек в сторону больших

течей.

Предлагаемый способ дает возможность существенно сократить стоимость испытательного оборудования, занимаемые им производственные площади, расход потребляемой оборудованием элект.роэнергии.

формула изобретения

Способ контроля герметичности замкнутых изделий, например полупроводниковых приборов, заключающийся в том, что испытуемое изделие опрессовывают при повшпеннсм давлении пробного газа, вьшерживают изделие на воздухе для десорбции пробного газа с поверхности изделия и помещают его в контрольную камеру для последуквдей индикации пробного газа, вытекающего из изделия, о т л и ч а root я и с я тач, что, с целью расширения диапазона выявляе 4вюс утечек в сторону больших течей, непосредстз ано перед помещением в контроль ную камеру испытуемого изделия подвергают его ж полнитёльной кратковременной опрессовке в пробном газе при давлении 0,1-5 а-ш. в течение времени 1-15 с.

Иет%}чняки информации, пр|{нятые во Бйимаиие пря экспертизе

1.Патент Фракции № 1379106, кл. 6 01 L, 1963.

2.Левина Л.Б., Хавким Л.П. Влияние р&кямов опрессовки в гелии на пороговую чувствительность масссиектр л«етрических испытаний на герметичность эадшнутЕис оболочек.

Эиектронная техника. 1977, сер. 2, шш. 7(177) (прототип).