Способ контроля герметичности замкнутых изделий Советский патент 1978 года по МПК G01M3/00 

Изобрегение относится к исаытатвпь ной технике, а именно к способу контро- пя гермегичности замкнутых издепий с помощью масс-спектрометрического течеискателя.

Известен способ конгропя герметичноеги замкнутых изделий, по которому издвг ПИЯ предваритепьно пибо заваривают в атмосфере, содержащей пробный газ, пибо опрессовывают, помещая издепие в пробный газ, затем переносят издепие в вакуумную камеру и схтределяют утечку фобного газа в ней с помощью масс-спектрометрического течеискатепя ц .

Этот способ обладает высокой чувстви- тепьностью при поиске малых течей, но не позвопяет выявлять изделия с большими течами, так как пробный газ успевает вытечь из изделия до помещения его в вакуумную камеру либо за время откачки камеры до момента кон тропя.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому аффекту является способ контропя герметичности замкнутых изделий, например корпу-

сов полупроводниковых приборов, по которому-на стадич сборки внутрь, контролируемого изделия, например, в карман, сое- диненный через.капилляр с полостью издепия, помещают вещество, замедляющее истечение пробного газа из изделия, путем насыщения этого вещества пробным газом затем издепие заполняют пробным газом, после чего переносят его в вакуумную ка.меру, утечку пробного газа в которую из издепия определяют с помощью масс-спектрометрического течеискатепя ГзП .

Данный способ позвопяет расщирить диапазон измерений в сторону больщих течей. Однако в технологический процесс производства изделий необходимо ввести допопнительные операции по размещению и закреппению сорбента внутри издепия. Особые трудности представляет введение сорбента в изделия с малыми объемами, например в попупроводниковые приборы. Кроме того, выдепение пробногг) газа из сорбента из герметического, издепия мо- ;жет нарушить газовое равновесие полупровоцникового прибора и привести к изменению его характеристик. Цепь изобретения - упрощение способа контроля герметичности замкнутых иадепий. Эта цель достигается благодаря тому, что предлагаемым способом в качест ве вешества, замедляющего истечение пробного газа из изделия, используют воду, насыщенную пробным гаэом. например гелием, а заполнение изделия пробным Стазом осуществляют помещая изделие в воду. Способ осуществляют-следующим образом. Замкнутые изделия погружают в воду, насьщ1енву1о гелием, которая проникае при этом только внутрь негерметичных из делий. Затем их переносят в вакуумную камеру. В вакууме из :воды выделяется гелий, обнаруживаемый с помощью массспектрометрического течекскателя. Применение предлагаемого способа поз воляет вьщвигь изделия с большими течами, ранее не обнаружив екиыми при опрессовке изделий в гелии. Формула изобретения Способ контроля герметичности замкнутых изделий, например корпусов полупроводниковых приборов, в широком диапазоне измеряемых утечек с использованием вещества замедляющего истечение пробного газа из изделия, путем насыщения этого вещества пробным газом, по которому изделие, заполняют пробным газом, а затем, переносят изделие в вакуумную камеру, утечку пробного газа в которую определяют с помощью масс-спектрометрического течеискателя, отличающийся тем, что, с целью упрощения в качестве вещества, замецляющегб истечение пробного газа из изделия, используют воду, насыщенную пробным газом, а за полнение .изделия пробным газом осуществляют, помещая в нее изделие. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1.Барышникова Н. Г. и др. Масоспектрометрический метод контроля гер. метичности. Электронная техника, сер. 8 NO 7, 1972. 2.А&горское свидетельство СССР № 3236R4. кл. q 01 N 31/22, 1969.