(54) ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЬ ГЕТТЕРНОГО НАСОСА ДЛЯ ОТКАЧКИ ВОДОРОДА
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| ГЕТТЕРНЫЙ НАСОС КВАНТОВОГО ВОДОРОДНОГО ГЕНЕРАТОРА | 2001 |
|
RU2183768C1 |
| Магниторазрядный насос и способ его изготовления | 1979 |
|
SU886097A1 |
| НЕРАСПЫЛЯЕМЫЙ ЛЕНТОЧНЫЙ ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЬ И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ | 1994 |
|
RU2073737C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛАМПЫ ВЫСОКОГО ДАВЛЕНИЯ | 1992 |
|
RU2094892C1 |
| СПОСОБ УДАЛЕНИЯ АКТИВНЫХ ГАЗОВ И ИХ СМЕСЕЙ ИЗ ЗАМКНУТОГО ОБЪЕМА | 2004 |
|
RU2269838C1 |
| НЕРАСПЫЛЯЕМЫЙ ЛЕНТОЧНЫЙ ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЬ И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ | 1995 |
|
RU2116162C1 |
| Нераспыляемый газопоглотитель и способ его изготовления | 1981 |
|
SU1095265A1 |
| СПОСОБ ВАКУУМИРОВАНИЯ ГЕРМООБЪЕМА | 1998 |
|
RU2140015C1 |
| Способ изготовления нераспыляемого газопоглотителя | 1980 |
|
SU892521A1 |
| КОМБИНИРОВАННАЯ ОТКАЧИВАЮЩАЯ СИСТЕМА, СОДЕРЖАЩАЯ ГЕТТЕРНЫЙ НАСОС И ИОННЫЙ НАСОС | 2010 |
|
RU2520709C2 |
1
Изобретение относится к вакуумной технике.
Известно применение прессованного.порошка активного металла в качестве газопоглотителя геттерного насоса для откачки водорода. Газопоглотитель, выполненньш в виде таблеток из прессованного порошка активного металла, обладает большой удельной поверхностью и поглощает водород из откачиваемого объекта при комнатной температуре 1.
Однако при поглош.ении газопоглотителем водорода происходит образование гидридов металла, из которого изготовлен газопоглотитель, имеюш,их меньшую плотность и, соответственно, больший объем. Это приводит к разрушению поверхностного слоя газопоглотителя, в.ыражающемся в том, что гранулы спеченного порошка теряют связь между собой и запыляют откачиваемый объем.
Цель изобретения - увеличение ресурса работы газопоглотителя.
Эта цель достигается применением прессованной стружки активного металла в качестве . газопоглотителя геттерного насоса для откачки водорода.
Газопоглотитель, выполненный в виде таблеток из прессованной стружки, имеет волокнистую структуру, в связи с чем увеличение объема поверхностного слоя газопоглотителя не приводит к его разрушению и запылению объема.
Срок службы газопоглотителя из прессованной стружки активного металла больше, чем у известных газопоглотителей, и составляет более 25000 ч.
Предложенный газопоглотитель может
10 найти применение в-установках, где требуется откачка больших потоков водорода.
Формула изобретения
15
Применение прессованной стружки активного металла в качестве газопоглотителя геттерного насоса для откачки вддорода.
Источники информации,
20 принятые во внимание при экспертизе 1. Лысогоров О. С. Пористые газопоглотители. - Научно-технический сборник «Электронная техника, сер. 1, Электроника СВЧ, вып. 3, М., «Электроника н 1976.
