(5) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| ОДНОПОТОЧНЫЙ ЧЕТЫРЕХСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС | 2014 |
|
RU2560133C1 |
| ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС С ОДНОПОТОЧНОЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОЙ ПРОТОЧНОЙ ЧАСТЬЮ | 2012 |
|
RU2490519C1 |
| КОМБИНИРОВАННЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС | 1995 |
|
RU2105905C1 |
| ДВУХПОТОЧНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС С ГИБРИДНЫМИ ПРОТОЧНЫМИ ЧАСТЯМИ | 2014 |
|
RU2543917C1 |
| ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ГИБРИДНЫЙ НАСОС | 2012 |
|
RU2561514C2 |
| Вертикальный турбомолекулярный насос | 1983 |
|
SU1121506A2 |
| Турбомолекулярный вакуумный насос | 1978 |
|
SU1352097A1 |
| Турбомолекулярный вакуумный насос | 1977 |
|
SU992837A1 |
| Подшипниковая опора вертикального вала | 1977 |
|
SU737658A1 |
| МЕХАНИЧЕСКИЙ НАКОПИТЕЛЬ ЭНЕРГИИ С МАГНИТНЫМ РЕДУКТОРОМ | 2015 |
|
RU2615607C1 |
I
Изобретение относится к вакуум ной технике, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных насосов.
Известны турбомолекулярные вакуумные насосы, содержащие разйещенные в корпусе роторы встречного Bf aщения Di.
Недостатком этих насосов является консольное расположение роторов относительно опор, что в значительной мере снижает надежность работы насосов.
Известны также турбомолекулярные вакуумные насосы, содержащие корпус и установленные в нем на валу внешний и внутренний роторы встречного вращения, снабженные приводными двигателями, причём внешний ротор установлен на валу посредством опор, выполненных в виде подшипников качения и расположенных по обе стороны от внутреннего ротора 2 .
Недостатками данного насоса являются невысокая надежность и большие габариты.
Целью изобретения является повышение надежности и уменьшение габаритов насоса.
Указанная цель достигается тем, что вал закреплен на корпусе, внутренний ротор установлен на валу посредством опор в виде подшипников
10 качения и приводной двигатель внутреннего ротора размещен между его опорами.
На чертеже изображен вертикальный разрез насоса.
15
Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и установленные в нем на валу 2 внешний и внутренний роторы 3 и t встречного вращения , снабженные приводными двигаЗйтелями 5 и 6, причем внешний ротор 3 установлен на валу 2 посредством опор 7 выполненных в виде подшипников качения и расположенных по
