Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1983 года по МПК F04D19/04 

(5+) ТУРБОМОПЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных насосов Известен турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с установленными на его внутренней поверхности статорными дисками, рас положенный по оси корпуса ротор, вы полненный в виде барабана с дисками и электродвигатель f1. Недостатком известного насоса является низкая надех ность вследствие возможного выхода из строя электродвигателя при прорыве атмосферы в корпус работающего насоса. Цель изобретения - повышение надежности и обеспечение длительной работы электродвигателя при атмосфе ном давлении. Указанная цель достигается тем, что насос снабжен приводным валом, связанным с .электродвигателем, и барабан посредством подшипников установлен на валу. На чертеже представлен насос, продольный разрез. Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с установленными на его внутренней поверхности статорными дисками 2, расположенный по оси корпуса 1 ротор, выполненный в виде барабана 3 с дисками , и электродвигатель 5. Насос снабжен приводным валом 6, связанным с электродвигателем 5, и барабан 3 посредством родшипников 7 и 8 установлен на валу 6. Насос работает следующим образом. При включении электродвигателя 5 вследствие трения в подшипниках 7 и 8 барабан 3 приводится во вращение. Чем ниже давление в объеме корпуса 1 насоса, тем меньше сопротивление вращению барабана 3 и, следовательно, выше скорость вращения, прибли