Эжекционное распыливающее устройство,преимущественно для вязких жидкостей Советский патент 1982 года по МПК B05B7/06 B05B7/30 

1

Изобретение относится к распылению и нанесению жидкостей на поверхность изделий и может найти применение в приборостроении, например, при нанесении тонких защитных пленок на поверхность полупроводниковых пластин перед лазерным скрай- 5 бированием.

Известен центробежный распылитель жидкости с вертикальным приводным валом, на конце которого закреплен распылительный диск, снабженный расположенным над JQ ним дополнительным диском с упругой манжеткой. В устройстве предусмотрена возможность очистки распылительной щели в процессе распыления. Это обеспечивается тем, что дополнительный диск выполнен с расположенной со стороны распылительного 15. диска полостью, которая герметично закрыта манжеткой и заполнена газом 1.

Однако указанный распылитель является центробежным и предусматривает радиально направленное распыление. Это делает его 20 непригодным для нанесения жидкостей на поверхность малой площади, в частности для нанесения защитных пленок на полупроводниковые пластины.

Наиболее близким к предлагаемому является эжекторное распыливающее устройство, преимущественно для вязких жидкостей, содержащее корпус с патрубком подачи эжектирующей среды, камерами эжектирующей и эжектируемой сред и соплом, охватывающим выходной патрубок эжектируемой среды, и установленную в камере эжектируют щей среды эластичную мембрану с отверстием для размещения выходного патрубка эжектируемой среды 2.

Устройство обеспечивает дозирование подачи распыляемой среды пониженного давления в выходной патрубок, но при этом характеризуется сложной конструкцией, а при использовании его для распыления вязких жидкостей не предупреждает закупорку и изменения диаметра канала выходного патрубка за счет высыхания на его стенках остатков жидкости, что приводит к необходимости систематической очистки канала, снижает эффективность дозирования и увеличивает расход распыляемой жидкости.

Цель изобретения - упрощение конструкции и предупреждение закупорки выходного патрубка эжектируемой среды. Для достижения этой цели в эжектируемом распыливающем устройстве, преимущественно для вязких жидкостей, содержащем корпус с патрубком подачи эжектирующей среды, камерами эжектирующей и эжектируемой сред-И соплом, охватывающим выходной патрубок эжектируемой среды, и установленную в камере эжектирующей среды эластичную мембрану с отверстием для размещения выходного патрубка эжектиру емой среды, эластичная мембрана выполнена с размещенным в сопле и контактирующим с его внутренней поверхностью в нерабочем положении утолщением вокруг упомянутого отверстия, обжимающим выходной патрубок эжектируемой среды с перекрытием его среза в нерабочем положении. На чертеже представлено предлагаемое устройство, разрез. Эжекционное распыливающее устройство, преимущественно для вязких жидкостей, содержит корпус 1 с патрубком 2 подачи эжектирующей , соединенным, например, с магис-тралью сжатого воздуха (не показана) и соплом 3. В стенках корпуса 1 наружными кромками закреплена эластичная мембрана 4, образующая с корпусом 1 камеру 5 эжектирующей среды (сжатого воздуха). В верхней части корпуса 1 имеется камера 6 эжектируемой среды (преимущественно вязкой жидкости) с входным 7 и выходным 8 патрубками вязкой жидкости, последний из которых жестко закреплен в перегородке 9, образующей вместе с эластичной мембраной 3 и корпусом 1 глухую камеру 10, заполненную воздухом. Эластичная мембрана 4 выполнена с отверстием для размещения выходного патрубка 8 вязкой жидкости, который охватывается соплом 3. Эластичная мембрана 4 выполнена с размещенным в сопле 3 и контактирующим с его внутренней поверхностью в нерабочем положении утолщением 1 вокруг упомянутого отверстия, обжимающим выходной патрубок вязкой жидкости с перекрытием его среза в нерабочем положении. Устройство работает следующим образом. В камеру 6 через входной патрубок 7 загружают вязкую жидкость, например натуральный латекс. Патрубок 2 подключают к магистрали сжатого воздуха. До поступления сжатого воздуха в полость 5 мембрана 4 не деформирована. Ее утолщение 11 контактирует с внутренней поверхностью сужающегося участка сопла 3, перекрывая срез выходного патрубка 8 вязкой жидкости. При подаче сжатого воздуха в полость 5 давление в ней повышается. Это приводит к деформации эластичной мембраны 4 и перемещение ее к камере 10. При растяжении мембраны 4 утолщение 11 выходит из сужающегося участка сопла 3. Между поверхностями утолщения 11 и сопла 3 образуется зазор, через который сжатый воздух устремляется из полости 5 в расширяющийся участок сопла 3. Одновременно утолщение 11 открывает срез выходного патрубка 8. В зазоре между поверхностью сужающегося участка сопла 3 и утолщением 11 формируется поток воздуха, который создает разрежение в выходном патрубке 8, что приводит к подсосу жидкости (латекса) из камеры 6 в сопло 3, смешиванию его со сжатым воздухом и распылению через расширяющийся участок сопла 3 на поверхность полупроводниковой пластины. Таким образом, предлагаемая конструкция устройства обеспечивает автоматическое управление открытием и закрытием выходного патрубка 6 вязкой жидкости, достигаемое простыми средствами - подводом и отключением эжектирующей среды. Кроме того, обеспечиваемое устройством закрытие среза выходного патрубка по окончании распыления исключает пересыхание в нем остатков жидкости, что упрощает эксплуатацию устройства, повышает точность дозировки и уменьшает расход материала. Предлагаемое устройство просто по конструкции и надежно в работе при распылении вязких жидкостей. Формула изобретения Эжекционное р- - вающее устройство, преимущественно- i .;-идкостей, содержащее корпус хоп подачи эжектирующей среды, t- 1 эжектирующей и эжектируемой сред и соплом, охватывающим выходной патрубок эжектируемой среды, и установленную в камере эжектирующей среды эластичную ме.мбрану с отверстием для размещения ль ходного патрубка эжектируемой среды, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и предупреждения закупорки выходного патрубка эжектируемой среды, эластичная мембрана выполнена с размещенным в сопле и контактирующим с его внутренней поверхностью в нерабочем положении утолщение.м вокруг упомянутого отверстия, обжимающим выходной патрубок эжектируемой среды с перекрытием его среза в нерабочем положении. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 725713, кл. В 05 В 3/12, 1978. 2.Авторское свидетельство СССР № 653430, кл. F 04 F 5/04, 1977 (прототип) .

f/ ////////7

//////// /