Электродуговой испаритель металлов Советский патент 1982 года по МПК C23C13/08 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для получения различныхэлектропроводящих покрытий и тонких пленок.

Известен электродуговой испаритель, предназначенный для нанесения покрытий, в котором поджиг дугового разряда осуществляется путем импульсного испарения проводящей пленки с поверхности изолятора, разделяющего поджигающий электрод и катод- l .

Недостатком указанного испарителя является низкий срок службы испарителя вследствие разрушения изолятора.

Наиболее близким к предлагаемому является электродуговой испаритель, содержащий катод, анод в виде спирали, охватывающей катод, поджигающий электрод с изолятором, размещенным между поджигающим электродом и катодом 2 .- .

Недостаток известного испарителя заключается в том, что катодные пятна дуги возникающие на границе изолятор-катод, не уводятся от нее, а перемещаются вдоль указанной границы под действием магнитного поля тока, протекающего по спиралям анода, приводя к разрушению изолятора.

чем сокращается срок службы .испарителя.

Цель изобретения - увеличение срока службы испарит,еля за счет уменьшения степени разрушения изолятора путем увода катодных пятен дуги от границы раздела изолятор-катод.

Указанная цель достигается тем, что в электродуговом испарителе ме10таллов, содержащем к.атод, анод в виде спирали, охватывающей катод, поджигающий электрод с изолятором, размещенным между поджигающим электродом и катодом, спираль аноДа вы15полнена конической, больший диаметр которой расположен в плоскости размещения поджигающего электрода..

На чертеже схематично показан

20 электродуговой испаритель.

Испаритель состоит из распыляе.мого катода 1, анода, выполненного в виде спирали 2, охватывающей катод, поджигающего электрода 3 с 25 лзолятором 4, размещенным между

поджигающим электродом 3 и катодом 1. Спираль анода 2 выполнена конической, причем больший диаметр конуса расположен в плоскости разме30щения поджигаюгцего электрода 3.