Способ высоковакуумной откачки газа от атмосферного давления Советский патент 1962 года по МПК F04B37/14 F04F11/00 

Известные способы высоковакуумной откачки газа из камер, имеющих атмосферное давление, системой насосных агрегатов предусматривают применение в системе откачивающих агрегатов форвакуумных насосов. Применение для указанной цели форвакуумных насосов приводит к загрязнению вакуума, усложняет эксплуатацию системы, в которой часть насосов находится в рабочем состоянии, а другая часть получает обезгаживание при |Помощи нагрева.

Описываемый способ не имеет указанного недостатка и обеспечивает высокий вакуум без его загрязнения. Это достигается тем, что непрерывную откачку газа осуществляют однотипными сорбционными цеолитовыми насосами.

На фиг. 1 показана примерная схема откачивающей системы с цеолитовыми насосами; на фиг- 2 - камера насоса в разрезе (общий вид).

В откачивающую систему включаются однотипные цеолитовые насосы в количестве четырех пар. Первая пара насосов / и 2 осуществляет функции форвакуумных насосных агрегатов и производит откачку от атмосферного давления до давления мм рт. ст. Вторая пара насосов 3 к 4 осуществляет функции высоковакуумных насосных агрегатов и производит откачку от давления до давления 10-5-10- мм рт. ст. Третья пара насосов 5 и б осуществляет функции сверхвакуумных насосных агрегатов и производит откачку от давления до давления 10-®-Ю- мм рт. ст.Четвертая пара насосов 7 и S является резервной и включается в работу в период отключения какой-либо пары на обезгаживание.

Камера насоса (фиг. 2) представляет собой цилиндрический сосуд 9, выполненный из нержавеющей хромо икелевой стали. Внутри сосуда установлен стальной сетчатый цилиндр 10. Внещняя поверхность цилин№ 145689-2дрического сосуда покрыта обмоткой 11 электронагрева, а в зазор между сетчатым цилиндром и сосудом уложены таблетки 12 цеолита. Цилиндрический сосуд с обмоткой, сетчатым цилиндром и цеолитовыми таблетками вставляется в сосуд Дюара 13, заливаемый для охлаждения жидким азотом.

Цеолит во всех насосах соединен с атмосферой и одновременно прокаливается в течение 48 час при температуре 350-600°. Цосле перекрытия выхлопных вентилей 14 (фиг. 1) производится последовательное охлаждение цеолита жидким азотом и откачка среды из объема 15.

После откачки объема 15 при температуре 15-18° до давления мм рт. ст. он обезгаживается нагреванием до 400°, затем откачивается до глубокого вакуумаВключение и выключение всех вакуумных вентилей может производиться автоматически через определенные промежутки времени или по достижении установленного вакуума.

Всесоюзный научно-исследовательский и конструкторский институт химического машиностроения в своем заключении отметил целесообразность применения 01писываемого способа как для лабораторных, так и для промышленных установок, особенно когда невозможно или нежелательно использование в системе откачки механических и струйных вакуу.мных насосов.

Предмет изобретения

Способ высоковакуумной откачки газа из камеры, имеюшей атмосферное давление, системой насосов, обеспечивающих последовательное повышение вакуума, в которых обезгаживание сорбента, при его восстановлении, осуществляется нагревом, отличающийся тем, что, с целью получения высокого вакуума без его загрязнения, непрерывную откачку газа осуществляют однотипными сорбционнымн цеолитовыми насосами.

ПС

штм