Способ очистки подложек Советский патент 1982 года по МПК G03C5/00 

3 9 пленкообразующего лака, высушивания его и последующего отрывания образовавшейся пленки, в качестве подложки используют эмульсионный слой фотоматериала, перед операцией нанесения .лака желатиновый эмульсионный слой фотоматериала раздубливают, в каче- стве пленкообразующего лака используют лак на основе перхлорвиниловой смолы, а отрывание высушенной пленки лака производят при смачивании границы раздела пленки лака и желатинового эмульсионного слоя этиловым спиртом. Перед нанесением лака .фотоматериал (фотопластина) должна быть определенным образом подготовлена, чтобы обеспечить возможность удаления не только загрязнений, лежащих на поверхности, но .и загрязнений, внедрен ных в поверхность . Это достигается предварительным раздубливанием эмульсионного светочувствительного ; слоя при обработке в течение 10-15 ми в растворе уксусной кислоты. Высушенная пленка лака недостаточно хорошо отделяется от поверхности эмульсионного слоя. Чтобы облегчить ее отделение, процесс проводят при постоянном смачивании этиловым спир. том границы раздела лаковой пленки и светочувствительного слоя. . Пример 1 . Высо,коразрешающие галогенидосеребряные желатиновые эмульсионные фотопластины типа Koda HRP из партии, прошедшей срок хране ния 3 года (гарантийный срок хранени 1 год) и забракованной из-за повышен ной загрязненности поверхности фотопластин, выдерживают в 2 Й-ном раство ре уксусной кислоты в течение 15 мин при комнатной температуре, споласкивают в этиловом спирте и покрывают пленкой стандартного лака ХСЛ, Гост 7313-55, вес.%: Перхлорвиниловая смола . 20 Смесь растворителей бутилацетат (12):ацетонч (26):толуол (62) До 100 Высушенную (не менее 1 ч при комнатН9Й температуре) пленку лака удаляют путем отрывания с одного края при смачивании границы раздела пленка эмульсионный слой этиловым спиртом. Выход годных контрольных фотошаблоно интегральной схемы увеличен с 176 до ,8. Пример 2. Аналогичным образом лаком состава, вес.: Перхлорвиниловая смола 30 Трикрезилфосфат (смачиватель)2 Трихлорэтилен (растворитель) До 100 обрабатывают галогенидосеребряные желатиновые эмульсионные фотопластины Millmask, Agia- evaert. При удалении (отрываний) пленки лака границу раздела смачивают этиловым спиртом. Выход годных фотошаблонов увеичен в 1,5-2,0 раза. Повышение степени очистки позволяет значительно увеличить коэффициент использования фотопластин (так как в силу специфики технологии изготовления фотопластин около 901 всех механических загрязнений эмульсионного слоя находится на поверхности или частично внедрены в нее), который в случае изготовления прецизионных фотошаблонов не превышает 0,3 (исключительно из-за дефектности, вызываемой механическими загрязнениями))увеличить время жизни готовых фотошаблонов и обеспечить возможность их частичной реставрации, использовать при изготовлении фотошаблонов как фотопластин, забракованных по механическим загрязнениям, так и фотопластин, загрязнившихся в процессе сверхдопускаемого гарантией срока. Все вышесказанное приобретает особое значение в связи с дефицитом и высокой стоимостью специальныхвысокоразрешающих фотоматериалов для изготовления фотошаблонов. Предлагаемый способ очистки (и консервации) поверхности фотопластин и фотошаблонов может быть использован как при производстве и хранении фотопластин, так и при изготовлении и использовании фотошаблонов. Формула изобретения Способ очистки подложек от поверхностных загрязнений путем нанесения на поверхность подложки пленкообразующего лака, высушивания его и последующего отрывания образовавшейся пленки, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных изделий при изготовлении фотошаблонов на галогенидсеребряных желатиновых фотоматериалах, в качестве подложки используют эмульсионный слой

фотоматериала, перед операцией нане- 1. Александрова Ю. А. и др. . сения лака желатиновый эмульсионныйИспользование проявления с обраслой фотоматериала раздубливают, вщением при изготовлении прецизикачестве пленкообразующего лака ис-онных фотошаблонов. Электронная пользуют лак на основе перхлорвинило- 5техника, 1971, сер. 14, вып. 1, вой смолы, а отрывание высушеннойс. 121, пленки лака производят при смачивании

границы раздела пленки лака и желатино- 2. Технология тонких пленок. Под вого эмульсионного слоя этиловым спиртом,ред. Майселла Л. и Глэнга Р. М., CoИсточники информации, 10ветское радио, 1977, с. (протопринятые во внимание при экспертизетип).