УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕГО СОВМЕЩЕНИЯ РИСУНКОВ ПОДЛОЖКИ С РИСУНКАМИ ФОТОШАБЛОНОВ Советский патент 1974 года по МПК H05K3/00 G03F9/00 

Изобретение относится к изготовлению ми:кромодулей для электронной промышленности.

Известно устройство для совмещения рисуеков подложки с рисунками фотошабло«ов, содержащее механиз м зажима подложки, установленный на одной iKapeTiKe вертикальных перемещений координатного столика, верхний ша-блонодержатель, жестко закрепленный на станине, нижний шаблонодержатель, укрепленный на другой каретке вертикальных перемещений, рычажный механизм фиксации с пневмоприводом и оптическую систему контроля совмещения рисунков.

Недостаток известного устройства - низка-я точность совмещения рисунков и возможность их относительного смещения при фиксации фотошаблонов и подложки при фотосъемке.

Цель изобретения - повышение точности совмещения рисунков фотошаблонов и подложки - достигается тем, что механиз м зажима подложки выполнен в виде плоских захватных пластин, консольно подвешенных на шарнирах Гука к одной каретке вертикальных перемещений координатного столика, а нижний шаблонодержатель выполнен в виде лолого сферического вкладыша, установленного в сферическом подпятни1ке, :ко«сольно прикреплеином к другой каретке вертикальных перемещений координатного столика, причем обе каретки уравновешены так, что центры тяжестей кареток и установленных на них деталей находятся на оси пнев.моцилиндров, и под действием сил давления воздуха находятся в состоянии безразличного равновесия в направлении своего перемещения.

На фиг. I изображено предлагаемое устройство, разрез; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - разрез по А - А на фиг. 1.

Устройство двустороннего совмещения рисунка подлол ки с рисунками фотошаблонов содержит верхний шаблонодержатель 1, координатный столик 2 с размещенными на нем

кареткой J вертикальных перемещений и пневмоцилиндром 4, нижний шаёлонодержатель 5, прикрепленный к каретке 3 вертикальных перемещений, координатный столик 6 с кареткой 7 верти кальных перемещений, на которой

консольно подвешен на шарнирах Гука держатель 8 подложек, BbinOvTHeHHbu в виде плоских зах:ватов, пневмоциляндр 9, механизм прижима фотошаблонов и подлож-ки, выполненный в виде пневморычажной системы, представляющей собой пневмоцилиндр 10, и двухпольный микроскоп 11 для контроля совмещения.

Верхний шаблонодержатель 1 представляет собой кронштейн, жестко закрепленный на

станине 12 и имеющий вакуумные канавки 13 для удержания фотошаблона.

Нижний шаблояодержатель 5 вьшолнен в виде полого сферического вкладыша 14, установленного в сферическом подпятнике 15, консольно закрепленном на каретке 3 вертикальных перемеш,ений координатного столика 2. Положение нижнего фотошаблона фиксируется вакуумом, создаваемым между сферическим лодпятниковд 15 и сферическим вкладышем 14.

Механизм фотошаблонов и подложки выполнен ,в виде пневморычажной системы, представляюшей собой пневмоцилиндр 10 с дем/пфирующим поршнем 16 и рычагом с роликами 17.

При работе устройства координатный столик 6 отводят в правое крайнее положение и загружают подложкой. фотошаблон устанавливают на вакуумные канавки 13 верхнего шаблонодержателя /, а нижний - на вакуумные канавки сферического вкладыша 14. В пнавмоцилиндры 4, 9 и 10 подают сжатый воздух для создания сил, обеспечивающих состояние безразличного равновесия ка-реток вертикальных перемещений и прижима фотошаблонов. Происходит выравнивание рабочих плоскостей фотошаблонов. Положение нижнего фотошаблона фиксируют вакууMOiM, создаваемым между сферическим вкладышем 14 и .подпятником 15.

В пневмоцилиндры 4, 9 н 10 подают атмосферное давление, и нижний шаблон опускается на 10-15 мкм. Производят совмещение рисунков шаблонов с помощью микроскопа 11 и координатного стола 2. Затем опускают нижний шаблонодержатель на 1,5-2 JHM. Координатный столик 6 перемещают в левое крайнее положение и вводят подложку в зазор между фотошаблонами. В пневмоднлиндры подают сжатый воздух, каретки вертикальных перемещений поднимаются вверх и прижимают фотО|Шаблоны к подложке, выравнивая их плоскости. После выравнивания плоскостей фотошаблонов и подложки в пневмоцилиндры 4, 9 и 10 подают атмосферное давление, каретки 3 и 7 опускаются, обеспечивая зазоры между плоскостями шаблонов и подложки по 10-15 мкм. С помощью микроскопа // и координатного столика 6 производят совмещение рисунков подложки и верхнего фотошаблона. После совмещения в пневмоцилиндры 4, 9 п 10 вновь подают сжатый воздух для обеспечения контакта нлоскостей фотошаблонов и подложки. После экспонирования в цилиндры подают атмосферное давление, создава я зазор мелоду подложкой и фотошаблонами, координатный столик 6 отводят в правое крайнее 1положение, вынимают подложку. Пикл повторяют.

Предмет изобретения

Устройство для двустороннего совмещения рисувков подложки с рисунками фотошаблонов, содержащее механизм зажима подложкн, установленный на одной каретке вертикальных перемещений координатного столика, верхний шаблонодержатель, жестко закрепленный на станине, нижний шаблонодержатель, укрепленный на другой каретке вертикальных перемещений, рычажный механизм фиксации с пневмошриБОДом и оптическую систему контроля совмещения рисунков, отличающееся тем, что, с целью повышения точности совмещения рисунков, механизм подложки консольно подвешен на шарнирах Гука к одной каретке вертикальных перемешений, а нижний шаблонодерл ;атель выполнен в виде полой сферической пятки и консольно прикреплен к другой каретке, при этом обе каретки вертикальных перемещений и рычаги механизма фиксаци.и установлены на штоках пневмоцилиндров привода. ФигЛ н

Фиг. Z